锌铝靶材（ZnAl）

产品简介（Introduction）

锌铝靶材（ZnAl）由锌（Zn）与铝（Al）组成，是一种轻量化、具有优良耐腐蚀性、易成膜且稳定性出色的功能合金靶材。Zn–Al 合金以其良好的界面结合力、高均匀性薄膜质量以及稳定的导电特性，在光电产业、保护涂层、透明导电膜以及结构调控薄膜中得到广泛应用。

锌赋予良好的成膜平整度与可调电学性能；铝则提供轻质结构、高热导率以及优异的抗氧化能力。两者结合使 ZnAl 靶材成为透明电子、薄膜传感器与功能层镀膜中的常用关键材料。

产品详情（Detailed Description）

锌铝靶材采用高纯锌与铝原料，经冷等静压（CIP）、真空烧结（Vacuum Sintering）或热压处理成型。材料致密性高、比组分均匀，适用于 DC/RF 磁控溅射系统。

典型规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 成分比例（Composition）：Zn90Al10、Zn80Al20、Zn70Al30、Zn50Al50 等比例可定制

• 直径（Diameter）：Ø25 – Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm

• 致密度（Density）：≥95%–98% TD

• 工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / 热压 / HIP

• 背板（Bonding）：可提供铜背板、钛背板或铟焊

材料特点与优势：

• 优异的耐腐蚀性能

• 高成膜均匀性、低颗粒

• 良好的界面附着力

• 轻质、导热能力强

• 适合透明电子与光电结构薄膜

• 化学稳定性高，可用于反应性溅射

应用领域（Applications）

锌铝靶材在光电子、保护涂层与结构工程薄膜中具有广泛使用价值：

1. 透明导电膜（Transparent Conductive Films）

• 轻量化透明电极

• 显示模组辅助电极

• 触控面板结构层

2. 防腐蚀与保护涂层（Corrosion-Resistant Coatings）

Zn–Al 以其优秀抗氧化能力常用于：

• 防腐金属层

• 表面保护层

• 湿气、高盐环境薄膜

3. 光电器件（Optoelectronics）

• 太阳能薄膜组件

• 光学结构层

• 功能性阻隔层

4. 电子与传感器薄膜（Electronic & Sensor Films）

• 功能模块结构层

• 粘附增强层

• 多层复合结构

兼容 DC/RF 磁控溅射、反应溅射（O₂、N₂）、共溅射。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

所有 ZnAl 靶材均采用：

• 真空密封包装

• 干燥剂防潮保护

• 防震泡沫包裹

• 出口级硬盒或木箱

• 批号标识可追踪管理

确保靶材在运输与储存过程中保持洁净、安全。

结论（Conclusion）

锌铝靶材（ZnAl）为轻量化、耐腐蚀与高成膜质量的优选合金靶材，广泛用于透明电子、光电功能薄膜及防护涂层领域。苏州科跃材料科技有限公司可提供多种配比、不同尺寸和背板设计的 ZnAl 靶材，以满足科研和工业客户的精密薄膜需求。

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