钴钛靶材（CoTi）

产品简介（Introduction）

钴钛靶材（CoTi）由钴（Co）与钛（Ti）组成，是一种兼具金属间化合物特性、耐腐蚀性、高硬度、轻质化与结构稳定性的功能性合金靶材。钴提供良好的机械强度、稳定磁性与耐腐蚀能力，而钛以其轻质、高比强度与优异的耐氧化性能闻名。CoTi 合金薄膜具备高附着力、耐磨性强、结构致密、应力低等优点，适用于先进薄膜技术、工程保护膜、磁性薄膜与半导体工艺。

CoTi 作为一种新型工程与光电功能材料，正广泛用于研究和工业化薄膜沉积过程中。

产品详情（Detailed Description）

钴钛靶材一般采用高纯 Co 与 Ti 通过粉末冶金工艺制造，包括混料、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP）。该工艺可实现 >95–99% TD 的高致密度，确保溅射过程稳定、膜层均匀且颗粒率低。

典型产品参数：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常见成分比例（Composition）：

  • Co80Ti20

  • Co70Ti30

  • Co60Ti40

  • Co/Ti 比例可根据需求定制

• 直径（Diameter）：Ø25 – 300 mm

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm（可做薄靶）

• 致密度（Density）：≥95–99% TD

• 制造工艺（Process）：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板（Bonding）：Cu / Ti 背板 或 In Bonding（铟焊）

材料特性：

• 高硬度与结构强度

• 轻量化（Ti 元素贡献）

• 优异耐腐蚀、耐氧化性能

• 可形成结构致密、颗粒低的金属膜

• 兼容 DC / RF 溅射，工艺稳定性强

• 膜层应力低，附着力佳

• 可用于反应性溅射（CoTi-O、CoTi-N 薄膜）

应用领域（Applications）

1. 工程保护膜（Engineering Protective Films）

• 耐磨损薄膜

• 结构强化膜

• 抗腐蚀金属膜

• 轻质工程涂层

CoTi 膜层具有优异的结构稳定性和机械强度，是工程保护膜的优选。

2. 半导体与电子薄膜（Semiconductor & Electronic Films）

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 扩散阻挡层

• 结构支撑层

• 电接触保护层

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 中间层（Interlayer）

• 结构保护层

• 耐腐蚀光学金属膜

4. 磁性薄膜（Magnetic Films）

• 弱磁性结构层

• 膜系调控层（用于自旋薄膜或传感器）

5. 科研与材料开发（R&D）

• 金属间化合物 CoTi 薄膜研究

• 轻质耐磨金属涂层开发

• CoTi-O / CoTi-N 功能薄膜探索

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封

• 干燥剂防潮

• 多层防震缓冲

• 出口级硬质包装

• 每片靶材附唯一批号与检验记录

结论（Conclusion）

钴钛靶材（CoTi）凭借轻量化、高强度、耐腐蚀与稳定成膜性能，在先进工程涂层、半导体工艺、光电薄膜和材料研究中具有重要价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度的 CoTi 靶材，并支持定制成分、尺寸与背板方案。

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