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镍铝靶材（NiAl）是一种由镍（Ni）与铝（Al）组成的金属间化合物靶材，以其优异的高温稳定性、抗氧化能力和强结合性而广泛应用于功能薄膜、电极层、耐磨镀膜和高温结构膜材料。NiAl 的高熔点、良好热导性以及可控制的薄膜微结构，使其在半导体、光学镀膜、陶瓷涂层及耐腐蚀薄膜制备中表现出优越性能。
Ni 与 Al 的金属间化合物结构稳定，溅射过程中成分不易偏析，适合制备均匀致密的金属及金属氧化物薄膜。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯高致密的 NiAl 靶材，采用真空熔炼合金化、粉末冶金、冷等静压（CIP）与热等静压（HIP）等工艺制备。靶材具有优异的结构均匀性，可适配 DC/RF 磁控溅射等多种沉积方式。
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
成分比例：常见 Ni:Al = 80:20、70:30、60:40（可定制配比）
尺寸：Ø25–Ø300 mm（可定制矩形靶、阶梯靶）
厚度：3–6 mm
密度：≥ 97–99% 理论密度（T.D.）
制造工艺：CIP + 热压 / HIP
背板（Bonding）：Cu / Ti / Mo，可铟焊（In Bonding）
高温稳定性好，适合耐热薄膜
结合力强，薄膜附着性佳
成分均匀，不易偏析
溅射速率稳定，使用寿命长
可用于金属膜、陶瓷膜与复合结构薄膜
镍铝靶材广泛用于高温、耐磨、结构与功能薄膜制备，包括：
耐磨涂层（Wear-Resistant Coatings）
金属间化合物薄膜
电极层 / 导电薄膜
阻挡层（Diffusion Barrier）
陶瓷增强薄膜（如 NiAl + Al₂O₃ 复合结构）
高温器件保护膜
航空、能源设备功能薄膜
NiAl 的金属间化合物特性使其在高温与腐蚀环境下表现优异，特别适用于工程材料镀膜。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度提升薄膜重复性 |
| Ni:Al 配比 | 可定制 | 影响硬度、导电性等 |
| 致密度 | ≥97–99% T.D. | 致密度越高薄膜缺陷越少 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 适配 PVD 设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按产线需求定制 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与机械稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| NiAl | 耐高温、硬度高、化学稳定 | 耐磨膜、结构膜 |
| NiCr | 电阻稳定、耐热性好 | 电阻膜、电热膜 |
| NiMo | 高耐腐蚀 | 保护膜、电极层 |
| Al Target | 轻质、反射率高 | 光学镀膜、反射膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiAl 靶材适用于哪些溅射方式？ | DC、RF、脉冲溅射均可。 |
| Ni:Al 比例是否可调整？ | 可按应用需求定制。 |
| NiAl 薄膜颜色如何？ | 一般呈银灰色或深金属色。 |
| 是否提供背板？ | 可提供 Cu/Ti/Mo 背板，支持铟焊。 |
| 是否附带检测报告？ | 每批均附 COA（成分、密度、外观）。 |
真空密封
内部防震保护
外层出口级木箱
每片靶材附唯一批号与检测报告
镍铝靶材（NiAl）是一种性能稳定、耐高温、硬度强、结构可靠的金属间化合物靶材，在耐磨、结构与功能薄膜制备中发挥关键作用。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、致密、可定制成分与尺寸的 NiAl 靶材，为科研与工业薄膜生产提供可靠材料支持。
如需报价，请联系：
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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