镍铁靶材(NiFe)

镍铁靶材(NiFe)

产品简介(Introduction)

镍铁靶材(NiFe)是一种典型的软磁合金溅射靶材,由镍(Ni)与铁(Fe)组成,常见成分包括 Ni80Fe20(即 Permalloy 80/20)及 Ni81Fe19 等。NiFe 以其优异的软磁性能、低矫顽力、高磁导率、低磁时滞及良好的成膜均匀性,成为磁性薄膜、磁记录、传感器、MRAM、微电子器件以及高频磁性器件中的核心材料。

由于 NiFe 的磁性稳定、损耗低,且在溅射过程中颗粒率小、附着力好,因此广泛用于科研与工业级磁性薄膜制备。


产品详情(Detailed Description)

镍铁靶材采用高纯金属 Ni/Fe 原料,通过真空熔炼、CIP 冷等静压、HIP 热等静压与高精度机械加工制备。材料组织均匀、致密度高、溅射过程中呈现稳定的软磁响应,适合多种磁性薄膜应用。

主要特性

  • 软磁性能优异:低矫顽力、高磁导率、低损耗

  • 成膜性能稳定:薄膜均匀性好、磁性能重复稳定

  • 应力低、附着性强

  • 磁滞损耗小,易磁化与去磁

  • 适用于 DC 与 RF 磁控溅射

常见成分(可定制)

  • Ni80Fe20(Permalloy 80)

  • Ni81Fe19

  • Ni77Fe23

  • 可根据磁导率、矫顽力、频率需求定制比例

可供规格

  • 直径:25–400 mm

  • 厚度:3–10 mm

  • 形状:圆靶、矩形靶

  • 背板结合:Cu / Ti / In-Bonding

  • 表面粗糙度:Ra < 0.8 µm(支持镜面抛光)


应用领域(Applications)

1. 磁记录与存储器件

  • 磁头薄膜

  • 磁阻元件(AMR / GMR / TMR)

  • MRAM 自旋电子薄膜

  • 磁域控制层

NiFe 的软磁性能使其成为磁记录领域的标准材料。


2. 磁性传感器(Magnetic Sensors)

  • 霍尔传感器

  • 电子罗盘

  • 高灵敏磁场检测器

  • 低频磁检测膜层


3. 微电子与射频器件

  • 高频磁性结构膜

  • 电路噪声抑制膜

  • 电磁屏蔽层

  • 高频铁磁薄膜


4. 软磁功能薄膜

  • 磁通导向膜

  • 自旋电子结构材料

  • 低损耗磁屏蔽膜

  • 纳米磁性多层膜


5. 科研开发

  • 磁性薄膜机理研究

  • 新型软磁材料探索

  • 高频磁响应模型设计

  • 多层自旋结构开发


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 技术说明
纯度 ≥99.9% 杂质低,磁性稳定
Ni/Fe 比例 可定制 决定磁导率与矫顽力
致密度 ≥98% 提升薄膜均匀性
直径 25–400 mm 适配多种腔体
厚度 3–10 mm 支持薄靶与厚靶
背板 Cu / Ti / In 强化散热与强度
表面粗糙度 Ra < 0.8 µm 可提供镜面抛光

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
NiFe 软磁性能最佳、低矫顽力 MRAM、GMR/TMR、磁头
Ni 比较硬磁,导电性好 MTJ、射频器件
CoFeB 磁性强、适合自旋电子器件 MTJ、磁性隧穿结构

常见问题(FAQ)

1. NiFe 的成分是否可根据磁性需求定制?
可以,常根据磁导率、矫顽力、频率来调整 Ni/Fe 比例。

2. 是否能做大尺寸靶材?
可提供 4″、6″、8″、12″ 圆靶以及大面积矩形靶。

3. 适合 DC 还是 RF 溅射?
两者皆可,磁控溅射表现稳定。

4. NiFe 薄膜的磁性均匀吗?
致密材料可实现良好的磁性均匀性与重复性。

5. 能否提供磁性测试数据?
可提供矫顽力、磁导率、MH 回线、表面粗糙度等报告。


包装与交付(Packaging)

  • 真空密封防氧化

  • 防静电袋

  • 防震泡棉

  • 出口级纸箱/木箱包装

  • 每个靶材附唯一批次号与追踪标签


结论(Conclusion)

镍铁靶材(NiFe)具有低损耗、高磁导率与优异软磁性能,是磁性薄膜、传感器、自旋电子器件和存储器研发中不可或缺的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、成分可调、尺寸可定制的 NiFe 靶材,适用于科研与工业规模生产。