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锰铂靶材（MnPt）是一种由锰（Mn）与铂（Pt）组成的高性能功能性金属间化合物靶材，以其优异的稳定性、抗腐蚀能力、强自旋轨道耦合特性以及抗磁（AFM）行为而闻名。由于 MnPt 材料在自旋电子学（Spintronics）、磁阻结构、隧道结以及高耐久电极中具有独特优势，它已成为高端磁性与电子薄膜研究的关键靶材。
MnPt 的薄膜具有良好的热稳定性、极低磁噪声、结构稳定性强，是磁性稳定层、高可靠微电子器件和新型功能薄膜的重要核心材料。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯 Mn 与 Pt 原料，通过真空熔炼、粉末冶金、CIP 成型、热压或热等静压（HIP）等工艺制备高致密 MnPt 靶材，确保合金结构均匀、薄膜一致性良好，适用于科研级与量产级应用。
纯度：99.9%（3N）– 99.99%（4N）
成分比例：Mn50Pt50（最常用，亦可定制 Mn-rich 或 Pt-rich）
尺寸范围：Ø25–Ø300 mm
厚度：2–6 mm
致密度：≥ 97–99% T.D.
工艺路线：粉末冶金 + CIP + 真空烧结 / HIP
背板（可选）：Cu / Ti / Mo 背板，可提供铟焊（In Bonding）
高热稳定性，不易退化
良好的抗腐蚀性能
稳定的抗磁特性，适合 AFM 薄膜结构
薄膜晶粒均匀，成膜稳定性高
与 Pt 相关磁性结构兼容性好（如 PtMn / IrMn / FePt 系）
锰铂靶材在高端电子与磁性薄膜中的应用尤为突出，包括：
自旋电子学（Spintronics）结构层
磁性稳定层（Pinned Layer）
AFM / FM 层交换耦合研究
隧道磁阻结构（TMR）
高耐久金属功能层
电极金属层 / 接触层
微电子互连结构薄膜
高端传感器薄膜结构
MnPt 是许多磁存储与磁逻辑器件关键结构的标准选材之一。
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分体系 | MnPt（可定制 Mn/Pt 比例） | 影响磁性与热稳定性 |
| 纯度 | 3N–4N | 高纯薄膜缺陷率低 |
| 致密度 | ≥ 97–99% T.D. | 薄膜均匀、无针孔 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 兼容主流溅射设备 |
| 厚度 | 2–6 mm | 可按寿命需求定制 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 常见应用 |
|---|---|---|
| MnPt | 抗磁性稳定、高耐久性 | 自旋电子学、AFM 层 |
| IrMn | 广泛用于自旋阀结构 | 交换偏置层 |
| PtMn | 稳定性好、热性能强 | MRAM / 磁传感器 |
| FePt | 强磁性，适合高密度记录 | 高性能存储薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MnPt 靶材适合哪些溅射方式？ | RF、DC、脉冲溅射均可。 |
| Mn:Pt 的比例可否定制？ | 可根据磁性、交换偏置需求调整。 |
| 薄膜通常呈现什么颜色？ | 深灰金属色或略带冷色调铂灰色。 |
| 是否会有偏析问题？ | 采用 HIP/CIP 工艺可有效避免偏析。 |
| 可提供背板吗？ | 可提供 In Bonding 的 Cu / Ti / Mo 背板。 |
| 是否附 COA？ | 是，所有靶材均附纯度、密度、外观检测报告。 |
单片独立真空密封
防震泡棉 + 出口级木箱
提供唯一批号与 COA 检测报告
锰铂靶材（MnPt）因其独特的抗磁特性、高稳定性与卓越的金属结构性能，是自旋电子学、磁性器件和功能薄膜的重要基础材料。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、可定制成分的 MnPt 靶材，适用于科研与工业级薄膜制备。
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属（3N~6N）、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案，服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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