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锡锌靶材(SnZn)由锡(Sn)与锌(Zn)组成,是一种低熔点、易成膜、具有优异润湿性与导电性的合金靶材。SnZn 合金薄膜具有良好的延展性、附着性和可焊性,是电子封装、透明导电膜、电极层以及功能性防护膜中常用的金属合金材料。
由于 Sn 和 Zn 的结合使得薄膜具备较好的界面润湿性和低温加工特性,SnZn 靶材特别适用于柔性电子、低温沉积工艺与对基底敏感的膜层应用。
锡锌靶材选用高纯锡粉与锌粉,通过冷等静压(CIP)成型,并采用真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺制备而成。材料均匀致密、颗粒率低,在磁控溅射过程中成膜速度快、表面平整性好。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
常见成分比例(Composition):
Sn90Zn10
Sn70Zn30
Sn60Zn40
(可根据客户要求定制)
直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm
致密度(Density):≥95%–98%
工艺路线(Process):CIP + 真空烧结 / HIP
背板(Bonding):可提供 Cu / Ti 背板或铟焊(In Bonding)
良好的润湿性与界面结合能力
优秀导电性
低温加工兼容性强
对柔性基底友好
成膜速度快、表面光滑
薄膜延展性优异,不易开裂
SnZn 靶材被广泛应用于电子封装、光电器件、透明功能膜以及各类低温沉积工艺中。
焊接层
可焊性增强膜
阻挡/缓冲层
用于:
显示屏
触控屏
柔性电子器件
电极层
反射层
结构辅助薄膜
防腐蚀层
低温结构膜
柔性结构膜
合金行为研究
多层金属叠层结构
低温溅射工艺优化
兼容 DC/RF 磁控溅射、共溅射、反应溅射。
| 参数 | 范围 / 数值 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 决定膜层洁净度与电学性能 |
| 成分比例 | Sn/Zn 可定制 | 控制焊性、导电性、结构特性 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 提升膜层均匀性与颗粒控制能力 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适用于科研与量产 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射寿命与沉积速率 |
| 背板 | Cu/Ti/In | 提升散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| SnZn | 低温友好、润湿性好 | 电极、封装、柔性电子 |
| Sn(锡靶材) | 低熔点、导电性好 | 电池、电极 |
| Zn(锌靶材) | 轻质、耐蚀性好 | 透明导电膜、光学膜 |
| InSn(ITO前驱) | 高透过率与导电性 | 显示器、触控膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SnZn 是否适合低温沉积? | 是,SnZn 靶材在低温下成膜稳定性极佳。 |
| 是否可以定制成分? | 可以按比例定制 Sn/Zn 各种配比。 |
| 是否适合柔性基底? | 适合,薄膜延展性好,不易产生裂纹。 |
| 会出现颗粒问题吗? | 高致密度工艺使颗粒率非常低。 |
| 是否推荐使用背板? | 大靶材建议使用 Ti 或 Cu 背板以提升散热。 |
真空密封包装
含干燥剂防潮保护
防震泡沫层固定
出口级硬箱或木箱
每片靶材附唯一批次号码(可追踪)
锡锌靶材(SnZn)因其低温友好性、优异润湿性、良好机械兼容性与电学特性,广泛应用于透明导电膜、柔性电子、封装与光电薄膜工程。苏州科跃材料科技有限公司提供各种配比、尺寸与背板选项,满足科研与工业客户的薄膜制备需求。
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