描述

锆钇靶材（ZrY）

产品简介（Introduction）

锆钇靶材（ZrY）由锆（Zr）与钇（Y）组成，是一种具有优异耐高温性能、良好化学稳定性、卓越机械强度与可调电学/离子导电特性的稀土改性难熔金属靶材。
Y 元素的引入可改善锆的微结构、提高稳定性与提升薄膜致密性，特别适用于制备高性能氧化锆薄膜、稳定化结构薄膜以及高温功能涂层。

ZrY 溅射靶材广泛应用于半导体、高温陶瓷薄膜、光学镀膜、固体氧化物燃料电池（SOFC）界面层及功能性氧化物研究领域。

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产品详情（Detailed Description）

ZrY 靶材采用高纯锆、钇原料，通过真空熔炼、粉末冶金（PM）、CIP/HIP 热等静压及精密机加工制造而成，具有：

材料优势

• 高纯度（≥99.9%），薄膜缺陷少

• 成分均匀，结构稳定，不偏析

• 高致密度（≥97%），溅射效率高

• 高温下保持优良力学与化学稳定性

• 钇的加入提升薄膜致密性与抗裂性

• 可用于氧化物薄膜、氮化物薄膜等 PVD 工艺

可定制成分

• Zr95Y5

• Zr90Y10

• Zr80Y20

• 可根据膜层特性需求定制 Zr/Y 比例

可供规格

• 直径：25 mm – 300 mm

• 厚度：3–6 mm（支持超薄）

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶、方靶、弧靶

• 背板：铜 (Cu)、钛 (Ti)、铟焊 (In Bonding)

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 µm（可提供精抛版）

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应用领域（Applications）

1. 高温与耐腐蚀薄膜

• 氧化锆（ZrO₂）结构层

• 氧化物绝缘膜

• 耐高温扩散阻挡膜

• 氧离子导电膜（SOFC 相关）

钇的加入可稳定氧化锆晶相，提高膜层耐温性能。

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2. 光学薄膜（Optical Coatings）

• 高折射率薄膜

• 反射膜、抗反射膜

• 中红外光学应用涂层

• 光学结构界面层

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3. 微电子与半导体

• 电介质层

• 绝缘层 / 缓冲层

• 功能性界面调控层

• 高温电极相关结构膜

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4. 先进陶瓷与功能材料研究

• 钇稳定氧化锆（YSZ）薄膜研究

• 结构工程薄膜

• 固体电解质材料开发

• 纳米结构/多层膜设计

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技术参数（Technical Parameters）

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相关材料对比（Comparison with Related Materials）

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常见问题（FAQ）

1. ZrY 靶材可用于 RF/DC 溅射吗？
可，适用于 RF、DC 与磁控溅射。

2. 钇含量越高，薄膜越好吗？
钇可稳定结构，但过高会影响导电性，应按应用定制。

3. 是否支持大尺寸（8–12 英寸）？
完全支持，含矩形靶和 Cu 背板版本。

4. ZrY 会氧化吗？
金属态可能氧化，但包装保护良好，且不影响溅射质量。

5. 是否可提供检测报告？
支持 ICP、密度、显微结构等报告。

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包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱/木箱包装

• 靶材均附唯一批次与可追踪标签

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结论（Conclusion）

锆钇靶材（ZrY）兼具稀土改性与难熔金属性能，在光学、半导体、高温薄膜、固体电解质以及先进材料研究中具有显著优势。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、定制化 ZrY 靶材，满足科研到量产的各种需求。