铬钴靶材（CrCo）

产品简介（Introduction）

铬钴靶材（CrCo）由铬（Cr）与钴（Co）组成，是一种兼具高耐腐蚀性、优异机械强度、良好稳定性和可调磁性的工程功能合金靶材。铬赋予薄膜强附着性与优异耐蚀能力，而钴提供较高磁性、强度和良好结构稳定性，使得 CrCo 薄膜在磁性器件、腐蚀保护层、结构增强层和半导体金属薄膜中具有广泛应用。

CrCo 靶材薄膜致密、均匀、抗应力能力强，是科研和工业镀膜系统中的关键材料之一。

产品详情（Detailed Description）

CrCo 靶材采用高纯 Cr、Co 金属粉末，通过混粉、球磨、冷等静压（CIP）、真空烧结或热等静压（HIP）制备，致密度可达 ≥95–99% TD，可确保薄膜沉积过程中的稳定性和极低颗粒率。

典型产品参数

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常见成分（Composition）：

  • Cr90Co10

  • Cr80Co20

  • Cr70Co30

  • Cr/Co 比例可按要求定制

• 直径（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm（可提供超薄靶材）

• 致密度（Density）：≥95–99% TD

• 制造工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可选 Cu / Ti / Al / Indium Bonding

材料特性

• 良好耐腐蚀性（Cr 的优势）

• 高机械强度、耐磨性好（Co 的特性）

• 可调磁性，适合磁性装置

• 膜层致密、均匀

• 电学稳定性佳

• 适用于 DC / RF 磁控溅射

• 可用于反应性溅射：CrCo-O / CrCo-N 等

应用领域（Applications）

1. 磁性薄膜与磁性器件（Magnetic Films & Devices）

• 软磁结构层

• 自旋电子学薄膜

• GMR/TMR 相关器件

• 磁传感器薄膜
  （Co 的磁性使 CrCo 在磁性领域尤其重要）

2. 半导体与微电子（Microelectronics）

• 粘附层

• 扩散阻挡层

• 多层结构中的金属功能层

• 高稳定性结构金属薄膜

3. 工程保护膜（Engineering Coatings）

• 耐腐蚀保护层

• 高强度结构层

• 柔性电子金属层

• 高温耐磨膜

4. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 金属结构中间层

• 耐蚀光学保护层

• 多层膜系的过渡层

5. 科研应用（R&D Applications）

• Cr–Co 合金间化合物研究

• CrCo-N / CrCo-O 功能薄膜开发

• 高强度耐蚀金属层研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封包装

• 干燥剂防潮

• 多层缓冲材料保护

• 出口级硬纸箱或木箱

• 每片靶材附唯一批号与检测报告

结论（Conclusion）

铬钴靶材（CrCo）凭借其优异的耐腐蚀性、可调磁性、高机械强度以及良好的成膜性能，被广泛应用于磁性结构层、半导体金属薄膜、工程保护膜和研究型金属功能薄膜。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制成分的 CrCo 靶材，满足科研及量产设备的多种需求。

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