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铟锑靶材(InSb)是一种由Ⅲ–Ⅴ族化合物半导体材料铟(In)与锑(Sb)组成的高纯化合物靶材,具有极高的电子迁移率、优异的红外响应特性和窄带隙结构。InSb 是中远红外探测器、霍尔效应器件、磁传感器和高速电子器件中最重要的核心材料之一。
在薄膜沉积领域,InSb 靶材可用于制备高均匀度、低缺陷密度的化合物半导体薄膜,广泛应用于红外光电器件、红外成像、高灵敏度传感器及先进半导体研究。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯铟与锑粉末,通过真空熔炼、热压烧结、CIP + HIP 等工艺制备高致密度 InSb 靶材。材料结构均匀稳定,适用于 RF、DC 及脉冲磁控溅射。
化学式:InSb
纯度:99.99%(4N)– 99.999%(5N)
密度:≥ 98–99.5% T.D.
尺寸:Ø25–Ø300 mm,可定制矩形靶
厚度:3–6 mm
工艺:真空熔炼 / CIP + 热压 / HIP
背板(Bonding):Cu / Mo / Ti,支持铟焊(In Bonding)
极高电子迁移率 → 适用于高速电子器件薄膜
窄带隙结构 → 优异红外探测性能
致密度高,薄膜均匀性好
成分稳定不偏析 → 适合 III-V 半导体研究
热稳定性好,可用于中高功率溅射工况
铟锑靶材常用于先进半导体与红外光电薄膜材料:
红外探测器薄膜(IR Detectors)
量子阱结构与光电器件薄膜
霍尔效应传感器(Hall Sensors)
磁阻传感器
高速电子器件(High-Mobility Devices)
薄膜红外成像器件
先进 III–V 半导体材料研究
InSb 的窄带隙与超高电子迁移率(可达 7.7×10⁴ cm²/V·s)使其成为高端传感与红外设备的核心材料。
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 化学式 | InSb | III–V 化合物半导体 |
| 纯度 | 4N–5N | 高纯度减少薄膜缺陷密度 |
| 致密度 | ≥ 98–99.5% T.D. | 提升薄膜附着力与均匀性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 支持科研与量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按工艺需求调整 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo/In 焊 | 改善散热、防止开裂 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| InSb | 极高迁移率、窄带隙、红外性能强 | 红外探测、高速电子器件 |
| InAs | 高迁移率、耐高温 | 红外探测、量子器件 |
| GaSb | 高红外吸收效率 | 红外光电元件 |
| InP | 高速电子、光通信核心材料 | 光通信、激光器 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| InSb 靶材可用于 DC 溅射吗? | 可以,但更推荐 RF 溅射以改善成膜质量。 |
| 是否可以定制 In:Sb 比例? | InSb 为化合物,化学计量保持 1:1,不建议更改。 |
| 适合红外器件吗? | 是的,InSb 是中波红外探测的核心材料。 |
| 是否支持背板焊接? | 可提供铟焊 Cu/Ti/Mo 背板。 |
| 是否提供 COA? | 提供纯度、密度、成分一致性等检测数据。 |
真空密封包装
防震泡棉保护靶材
出口木箱包装
每片均带唯一批号与检测报告(COA)
铟锑靶材(InSb)是红外探测、高速电子器件与 III-V 半导体研究中的关键材料,苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、多规格可定制的 InSb 靶材,满足科研机构与工业应用的严格需求。
如需报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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