铟锑靶材(InSb)

铟锑靶材(InSb)

产品简介(Introduction)

铟锑靶材(InSb)是一种由Ⅲ–Ⅴ族化合物半导体材料铟(In)与锑(Sb)组成的高纯化合物靶材,具有极高的电子迁移率、优异的红外响应特性和窄带隙结构。InSb 是中远红外探测器、霍尔效应器件、磁传感器和高速电子器件中最重要的核心材料之一。

在薄膜沉积领域,InSb 靶材可用于制备高均匀度、低缺陷密度的化合物半导体薄膜,广泛应用于红外光电器件、红外成像、高灵敏度传感器及先进半导体研究。


产品详情(Detailed Description)

苏州科跃材料科技有限公司采用高纯铟与锑粉末,通过真空熔炼、热压烧结、CIP + HIP 等工艺制备高致密度 InSb 靶材。材料结构均匀稳定,适用于 RF、DC 及脉冲磁控溅射。

典型规格:

  • 化学式:InSb

  • 纯度:99.99%(4N)– 99.999%(5N)

  • 密度:≥ 98–99.5% T.D.

  • 尺寸:Ø25–Ø300 mm,可定制矩形靶

  • 厚度:3–6 mm

  • 工艺:真空熔炼 / CIP + 热压 / HIP

  • 背板(Bonding):Cu / Mo / Ti,支持铟焊(In Bonding)

性能优势:

  • 极高电子迁移率 → 适用于高速电子器件薄膜

  • 窄带隙结构 → 优异红外探测性能

  • 致密度高,薄膜均匀性好

  • 成分稳定不偏析 → 适合 III-V 半导体研究

  • 热稳定性好,可用于中高功率溅射工况


应用领域(Applications)

铟锑靶材常用于先进半导体与红外光电薄膜材料:

  • 红外探测器薄膜(IR Detectors)

  • 量子阱结构与光电器件薄膜

  • 霍尔效应传感器(Hall Sensors)

  • 磁阻传感器

  • 高速电子器件(High-Mobility Devices)

  • 薄膜红外成像器件

  • 先进 III–V 半导体材料研究

InSb 的窄带隙与超高电子迁移率(可达 7.7×10⁴ cm²/V·s)使其成为高端传感与红外设备的核心材料。


技术参数(Technical Parameters)

参数 数值 / 范围 说明
化学式 InSb III–V 化合物半导体
纯度 4N–5N 高纯度减少薄膜缺陷密度
致密度 ≥ 98–99.5% T.D. 提升薄膜附着力与均匀性
尺寸 Ø25–Ø300 mm 支持科研与量产设备
厚度 3–6 mm 可按工艺需求调整
背板 Cu/Ti/Mo/In 焊 改善散热、防止开裂

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
InSb 极高迁移率、窄带隙、红外性能强 红外探测、高速电子器件
InAs 高迁移率、耐高温 红外探测、量子器件
GaSb 高红外吸收效率 红外光电元件
InP 高速电子、光通信核心材料 光通信、激光器

常见问题(FAQ)

问题 答案
InSb 靶材可用于 DC 溅射吗? 可以,但更推荐 RF 溅射以改善成膜质量。
是否可以定制 In:Sb 比例? InSb 为化合物,化学计量保持 1:1,不建议更改。
适合红外器件吗? 是的,InSb 是中波红外探测的核心材料。
是否支持背板焊接? 可提供铟焊 Cu/Ti/Mo 背板。
是否提供 COA? 提供纯度、密度、成分一致性等检测数据。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封包装

  • 防震泡棉保护靶材

  • 出口木箱包装

  • 每片均带唯一批号与检测报告(COA)


结论(Conclusion)

铟锑靶材(InSb)是红外探测、高速电子器件与 III-V 半导体研究中的关键材料,苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、多规格可定制的 InSb 靶材,满足科研机构与工业应用的严格需求。

如需报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com