铝锗靶材（AlGe）

产品简介（Introduction）

铝锗靶材（AlGe）由铝（Al）与锗（Ge）组成，是一种兼具优良导电性、出色热稳定性和可调光电性能的功能性溅射靶材。该材料在半导体、光电子、薄膜工程以及先进封装技术中具有广泛应用价值，尤其适用于轻质导电层、红外光学薄膜、界面调控层及电子结构功能膜。

铝提供轻量、导电与抗腐蚀特性；锗具有良好的半导体行为与红外光学性能。两者组合后形成的 AlGe 薄膜具有独特的电学及光学调控能力，在科研与产业端均具有较高关注度。

产品详情（Detailed Description）

AlGe 靶材采用高纯铝、锗原料，通过真空熔炼、粉末冶金（PM）、冷等静压（CIP）、热等静压（HIP）及精密机械加工制备，确保靶材具有：

• 成分均匀，无偏析

• 高致密度（≥97%），薄膜颗粒率低

• 氧、碳等杂质含量低，膜层质量更佳

• 优秀的溅射稳定性与表面光洁度

• 适合 RF 与 DC 磁控溅射

常见成分比例：

• Al90Ge10

• Al80Ge20

• Al70Ge30

• 可按光学/电学需求定制 Al/Ge 比例

常规规格：

• 纯度：99.5%–99.99%

• 直径：Φ25–Φ300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 靶材形状：圆形 / 矩形

• 背板结合方式：Cu / Ti / In 焊接

应用领域（Applications）

1. 光电子薄膜（Optoelectronics）

• 红外光学薄膜

• 调制型光学结构

• 光通讯器件界面层

Ge 的加入可增强光学吸收特性，使 AlGe 膜适合中红外功能薄膜需求。

2. 半导体器件

• 导电薄膜

• 欧姆接触层

• 缓冲层/界面层

• 先进封装中的功能层

AlGe 的可调电阻率使其成为多种集成电路结构中的功能候选材料。

3. 微电子结构膜

• 轻质量金属薄膜结构

• 低应力导电层

• 微机械 MEMS 器件功能膜

4. 科研与材料开发

• Al-Ge 固溶体结构研究

• 可调光电材料探索

• 纳米结构与异质结研究

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. AlGe 靶材适用什么溅射方式？
RF、DC、磁控溅射均可。

2. 是否支持大尺寸靶材？
可提供 4″、6″、8″、12″ 以及矩形靶材。

3. AlGe 膜层的典型特性是什么？
轻质、可调电阻率、良好附着力、优异光学特性。

4. 能否定制 Al/Ge 成分？
可以，根据电学/光学需求灵活调整比例。

5. 是否提供检测报告？
支持 ICP 成分分析、密度测试、粗糙度测试等。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 内部防震保护

• 出口级纸箱或木箱包装

• 每片靶材附唯一批号与质量标签

结论（Conclusion）

铝锗靶材（AlGe）是一种具备可调光电性能、优良导电性与良好结构稳定性的多功能靶材，适合应用于光电、半导体、薄膜工程与先进材料研究。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、成分可定制的 AlGe 靶材，满足科研与工业量产需求。

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