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铜镍蒸发材料通常采用高纯铜与高纯镍为原料,通过真空熔炼或合金化烧结工艺制备,确保合金成分均匀、组织致密、杂质含量严格受控。
纯度等级:常见为 99.9%(3N)–99.99%(4N),满足高质量薄膜沉积需求
合金比例:Cu/Ni 比例可按质量比或原子比定制,用于精确调节薄膜的电阻率、TCR 及耐蚀性能
电学稳定性:铜提供良好导电性,镍提升电阻稳定性与环境可靠性
蒸发稳定性:合金化结构有助于降低多组分蒸发过程中的成分波动
供货形态:颗粒、块状、片状或定制形态,适配钨舟、钼舟及电子束坩埚等多种蒸发源
合理的成分设计可获得致密、均匀、重复性良好的 CuNi 合金薄膜。
铜镍蒸发材料在多个薄膜沉积与功能材料领域中具有典型应用,包括:
精密电阻与功能电阻薄膜:稳定电阻膜、低噪声电阻层
电子与微电子器件:功能金属层、电极与互连薄膜
半导体薄膜沉积:过渡层、界面调控层
功能镀膜与表面工程:耐蚀、耐环境功能涂层
科研与实验室应用:合金薄膜、电学与环境稳定性研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 合金成分 | Cu–Ni(比例可定制) | 决定薄膜电阻率与稳定性 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 影响薄膜缺陷与可靠性 |
| 形态 | 颗粒 / 块状 / 片状 | 适配不同蒸发源 |
| 尺寸范围 | 1 – 10 mm(颗粒)或定制 | 影响蒸发速率与均匀性 |
| 蒸发方式 | 热蒸发 / 电子束蒸发 | 兼容主流真空系统 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 铜镍蒸发材料(CuNi) | 电阻稳定、耐蚀性好 | 精密电阻与功能薄膜 |
| 纯铜(Cu) | 导电性极佳 | 导电与互连薄膜 |
| 纯镍(Ni) | 成膜稳定 | 电极与结构薄膜 |
| 锰铜(MnCu) | 低 TCR | 高精度电阻膜 |
Q1:CuNi 蒸发材料适合哪种沉积方式?
A:适用于热蒸发和电子束蒸发工艺,广泛用于功能金属与电阻薄膜制备。
Q2:CuNi 薄膜的主要优势是什么?
A:电阻率稳定、成膜一致性好,并具有良好的耐腐蚀性能。
Q3:合金比例可以定制吗?
A:可以,根据目标电阻率、TCR 或应用环境定制 Cu/Ni 比例。
Q4:与纯铜薄膜相比有何不同?
A:CuNi 在牺牲部分导电性的同时,显著提升了电学与环境稳定性。
Q5:是否适合连续或批量蒸发?
A:适合,蒸发过程稳定,工艺重复性好。
Q6:膜层附着力表现如何?
A:对玻璃、硅及多种金属基底具有良好附着性能。
Q7:是否可用于多层或复合薄膜结构?
A:可以,常作为功能层或过渡层使用。
Q8:科研应用中常见用途有哪些?
A:合金电阻薄膜、电学稳定性及环境适应性研究。
所有铜镍蒸发材料在出厂前均经过成分、尺寸与外观检测,并贴附唯一可追溯标签。产品采用真空密封包装,结合防震缓冲材料与出口级包装方案,确保在运输与储存过程中保持高纯度与稳定性能。
铜镍蒸发材料(CuNi)凭借其成熟可靠的合金体系、稳定的电学性能以及良好的环境适应性,在精密电阻薄膜和功能金属薄膜领域中长期占据重要位置。对于需要电阻可控、工艺稳定与长期可靠性的真空蒸发应用,CuNi 是一种非常成熟且值得信赖的蒸发材料选择。
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