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铜锌靶材(CuZn),又称黄铜靶材,是由铜(Cu)与锌(Zn)组成的功能性合金靶材,具有优异的导电性、加工性、耐腐蚀性与稳定成膜性能。Cu 提供良好的导电能力与延展性,而 Zn 的加入可提升材料的强度、耐腐蚀能力和抗菌特性,使 CuZn 膜层在电子器件、光学镀膜、装饰膜、传感器与工程保护膜等领域具有广泛应用。
CuZn 靶材采用高纯铜粉与锌粉,通过精确配比、球磨混合、冷等静压(CIP)压制成型,再经真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺制备。制成的靶材致密度高、氧杂质含量低,薄膜沉积稳定、颗粒率低,适用于 DC 与 RF 磁控溅射。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
成分比例(Composition):
Cu70Zn30(常用黄铜)
Cu65Zn35
Cu60Zn40
可按需求定制任意 Cu/Zn 比例
直径(Diameter):Ø25–300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm(可提供薄靶材)
致密度(Density):≥95–99% TD
制造工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP
背板(Bonding):Cu、Ti 背板或铟焊(In Bonding)
薄膜稳定、导电性好,表面光洁
Zn 提高抗腐蚀性及耐磨性
膜层颜色可呈金黄色,适用于装饰与光学应用
易于沉积,成膜速度快、均匀性高
兼容 DC 与 RF 溅射设备
金黄色装饰膜
建筑、卫浴、电器外观涂层
耐磨金属外观膜
CuZn 的天然金黄色广泛用于高端外观镀膜。
反射层、中间层
建筑玻璃光学膜
多层光学结构的调节层
电极层
导电中间层
抗扩散结构层
声学薄膜
电磁传感薄膜
抗菌金属膜
Zn 的加入可提供一定抗菌性与化学稳定性。
抗腐蚀保护膜
抗磨损膜层
铜合金结构强化膜
| 参数 | 数值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 提升薄膜电性、光学性与稳定度 |
| 组成比例 | Cu/Zn 可定制 | 影响薄膜颜色、机械性能与电性 |
| 致密度 | ≥95–99% TD | 致密靶材降低颗粒并提高膜质量 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射寿命与沉积速率 |
| 背板 | Cu / Ti / In Bonding | 稳定散热、提高机械强度 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| CuZn(黄铜) | 黄金色、抗腐蚀、易加工 | 装饰膜、光学膜、电子膜 |
| Cu(铜) | 高导电性 | 导电层、电极 |
| Zn(锌) | 抗氧化、抗菌 | 合金强化、保护层 |
| CuNi | 电阻率稳定 | 电阻薄膜、传感器 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CuZn 会呈金黄色吗? | 是,常见 CuZn(如 70/30)呈自然金黄色。 |
| 是否适合 RF 溅射? | 完全适合,可用于 RF 与 DC。 |
| Cu/Zn 比例可以定制吗? | 可以,例如 Cu80Zn20、Cu65Zn35。 |
| 是否会有颗粒? | 高致密度烧结工艺可使颗粒率极低。 |
| 大尺寸靶材是否推荐背板? | 推荐使用铜或钛背板以提升散热能力。 |
真空密封包装
干燥剂防潮
防震泡棉保护
出口级纸箱 / 木箱
附唯一批号便于追踪
铜锌靶材(CuZn)具有优异的结构稳定性、耐腐蚀性、良好的沉积性能与美观金属色,是光学镀膜、装饰膜、电子薄膜与功能性工程膜的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供多成分比例、不同尺寸与背板选项的 CuZn 靶材,满足科研与量产需求。
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