描述
铜银靶材(CuAg)
产品简介(Introduction)
铜银靶材(CuAg)是一种由铜(Cu)与银(Ag)组成的高导电合金靶材,结合了铜的良好力学性能与银的极高导电性。CuAg 薄膜具有优异的电导率、低电阻率、稳定的热扩散性能以及良好的耐腐蚀性,因此常用于先进电子器件、电极薄膜、互连材料、高导电涂层以及显示技术等领域。
得益于 Ag 的加入,CuAg 靶材能在保持铜基优势的同时进一步降低薄膜电阻,是电子与光电领域常用的功能金属合金薄膜材料。
产品详情(Detailed Description)
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯铜和高纯银,通过真空熔炼、均质化处理、CIP 成型及热等静压(HIP)制备高致密 CuAg 靶材,确保化学成分均匀、导电性稳定、表面平整且具有良好的溅射沉积一致性。
典型参数:
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成分配比:Cu90Ag10、Cu80Ag20(可定制比例)
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纯度:99.9%(3N)–99.99%(4N)
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密度:≥ 98–99% 理论密度(T.D.)
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尺寸范围:直径 Ø25–Ø300 mm
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厚度范围:3–6 mm
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工艺路线:真空熔炼 + CIP 成型 + HIP 致密化
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可选背板:Cu / Ti / Mo(可铟焊)
性能特点:
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卓越导电性(优于纯 Cu 膜层)
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膜层电阻率降低,适合高电流传输
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热稳定性佳,适合高温电极结构
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成分均匀,溅射速率稳定
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表面光洁度高,适用于要求严苛的薄膜应用
应用领域(Applications)
铜银靶材广泛用于电子、光电与高导电薄膜制备,包括:
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导电薄膜 / 高导电涂层
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微电子互连材料(Interconnects)
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电极层(Electrode Layers)
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透明导电膜(部分体系可复合使用)
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触控显示(Touch Panel)金属层
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传感器电极
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电磁屏蔽膜(EMI Shielding)
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耐腐蚀功能膜
CuAg 的优异导电与稳定性,使其在电子器件与半导体结构中成为铜基金属膜的升级选择。
技术参数(Technical Parameters)
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分 | CuAg(可定制) | 更高 Ag → 更高导电性 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 减少薄膜杂质与缺陷 |
| 致密度 | ≥98–99% T.D. | 提高薄膜均匀性 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配主流溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按设备与寿命定制 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo | 增强散热与机械强度 |
相关材料对比(Comparison with Related Materials)
| 材料 | 主要优势 | 应用 |
|---|---|---|
| CuAg | 高导电性、稳定成膜 | 电极层、互连层 |
| CuAl | 高强度、耐腐蚀 | 半导体结构层 |
| CuCr | 高温稳定性好 | 抗氧化电极膜 |
| 纯 Cu | 电导率优 | 基础导电薄膜 |
常见问题(FAQ)
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CuAg 靶材适用于哪些溅射方式? | 可用于 DC、RF、脉冲溅射等多种 PVD 工艺。 |
| Cu:Ag 比例是否可定制? | 可以,根据导电性与机械需求调整。 |
| CuAg 薄膜的电阻是否比纯 Cu 更低? | 是的,Ag 的加入使整体电阻更低。 |
| 能否提供背板? | 可提供 Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊。 |
| 是否提供 COA? | 每批靶材均附纯度分析、尺寸检测、密度报告等。 |
包装与交付(Packaging)
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每片靶材真空密封
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内层防震泡棉保护
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外层出口级木箱
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附 COA 和唯一批号标签
结论(Conclusion)
铜银靶材(CuAg)凭借其卓越的导电性、稳定的结构性能与良好的薄膜表面品质,在先进电子材料、电极薄膜与微电子互连结构中应用广泛。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、规格齐全的 CuAg 靶材,适合科研与量产应用。
如需获取报价或更多技术参数,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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