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铋镧靶材(BiLa)是一种由铋(Bi)与镧(La)组成的二元合金或复合材料靶材,广泛用于光电薄膜、功能材料、氧化物电子学与新型储能材料研究中。相比单一元素靶材,Bi–La 体系在薄膜结构调控、成分设计、晶相稳定性以及高温性能方面拥有更高可调性,尤其适合科研院所、高校实验室与创新型材料开发企业使用。
在磁控溅射薄膜制备中,铋镧靶材具有化学稳定性优良、烧结致密度高、膜层均匀性出色的优势,能够满足对薄膜成分、表面质量和电学性能的严格要求。
铋镧靶材通常采用高纯金属粉末,经冷等静压(CIP)成型与真空烧结(Vacuum Sintering)或热压烧结(Hot Pressing)制备。材料结构致密且均匀,成分分布稳定,可有效避免薄膜成分偏析。
典型规格:
纯度(Purity):99.9%–99.99%
尺寸(Diameter):Ø25 mm – Ø300 mm,可定制 1″ / 2″ / 3″ 等常规尺寸
厚度(Thickness):3 mm – 6 mm
致密度(Density):≥95% 理论密度(TD)
成型工艺:CIP + Vacuum Sintering / Hot Pressing
背板可选:铜(Cu)、钛(Ti)、铟焊(In-Bonding)
这些制造工艺使得靶材具有:
更好的溅射稳定性
较低的 arcing 与颗粒(particles)生成率
优异的膜层附着力与均匀性
更长的使用寿命与高效的材料利用率
铋镧靶材在新型功能薄膜领域具有广泛应用,包括:
光电薄膜(Optoelectronic Films)
用于调控光透过率、折射率与吸收特性。
氧化物电子学(Oxide Electronics)
如透明导电薄膜、介电层、过渡层。
能源材料研究
可用于开发储能相关薄膜,如钙钛矿型或稀土复合氧化物体系。
磁性与多功能薄膜
用于研究磁响应、电磁耦合等现象。
科研实验室材料探索
适合结构相变、晶相调控、电学/光学性能分析等基础科学研究。
适配 RF / DC 磁控溅射、共溅射、反应溅射(O₂、N₂) 等沉积方式。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 提升薄膜质量、减少缺陷 |
| 直径 | Ø25–300 mm(可定制) | 适配各种溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响沉积速率与寿命 |
| 致密度 | ≥95% TD | 保证薄膜均匀与稳定溅射 |
| 背板 | Cu / Ti / In 焊 | 增强散热与机械稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 适用方向 |
|---|---|---|
| BiLa | 光学、电学性能可调,复合结构稳定 | 光电薄膜、功能材料 |
| Bi₂O₃ | 高折射率,高透光 | 光学镀膜、光电子器件 |
| La₂O₃ | 高介电常数、热稳定性好 | 介电层、电子封装 |
| BiFeO₃ | 多铁性研究 | 存储器与量子材料 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 适合 RF 还是 DC 溅射? | 二者均可,根据设备选择即可。 |
| 是否需要背板? | 建议使用 Ti 或 Cu 背板提高散热与平整度。 |
| 可以提供哪些定制服务? | 尺寸、厚度、纯度、背板及成分可全部定制。 |
| 是否支持共溅射? | 可以,可用于复合薄膜或梯度薄膜研究。 |
| 铋镧靶材容易氧化吗? | 靶材体相稳定,建议真空密封保存以降低表面氧化。 |
| 可否用于反应溅射? | 可在 O₂、N₂、Ar 混合气氛中稳定运行。 |
| 适配哪些基底? | 玻璃、Si、ITO、Al₂O₃、MgO 等均兼容。 |
| 是否会产生颗粒? | 采用高致密度烧结工艺,可有效降低颗粒生成。 |
| 是否能提供小尺寸样品? | 可提供 20–30 mm 小尺寸试用靶材。 |
所有铋镧靶材均经过严格检验,并采用:
真空密封包装
静电与防震保护
出口级泡沫与木箱双重包装
确保靶材在运输过程中保持洁净、无污染和完整性。
铋镧靶材(BiLa)作为一类功能性强的复合靶材,在光电、能量材料、氧化物电子学和科研探索中展现出高度价值。苏州科跃材料科技有限公司支持多规格定制,并提供稳定可靠的生产工艺,适用于科研和产业化薄膜制备需求。
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