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铅铂靶材(PbPt)由铅(Pb)与铂(Pt)组成,是一种具有优异电学特性、高化学稳定性与特殊薄膜结构调控能力的贵金属合金靶材。Pt 贡献高稳定性、强抗腐蚀性与良好成膜均匀性,而 Pb 的加入可有效调整薄膜的电阻率、晶粒结构与光学特性。
PbPt 靶材常用于薄膜电极、红外光学膜、阻挡层、功能叠层膜、传感器薄膜及科研领域,特别适合用于开发具有特殊电学或光学行为的新型功能薄膜结构。
高纯度(99.9%–99.99%),薄膜缺陷率低
高致密度(≥97%),溅射过程中颗粒率小
优异的化学稳定性(来自 Pt)
良好的可调电阻率(受 Pb 含量影响)
薄膜附着力好、结构均匀
适合 RF、DC 及磁控溅射
Pb10Pt90
Pb20Pt80
Pb30Pt70
Pb50Pt50
可根据薄膜电阻、光学吸收、稳定性需求定制 Pb 含量。
直径:25–300 mm
厚度:3–6 mm(支持更薄)
形状:圆靶、矩形靶
背板结合:铜(Cu)、钛(Ti)、铟焊(In Bonding)
表面粗糙度:Ra < 0.8 μm,可提供镜面级抛光
电极薄膜
阻挡层 / 粘附层
化学稳定保护膜
高温结构膜
多层光电功能膜
Pb 的加入可改善薄膜吸收特性与晶粒结构。
中红外吸收层
可见光/近红外调制薄膜
光学器件的金属功能层
光电转换结构膜
特殊电阻层
接触改性层
绝缘/金属界面调控层
感测器件的功能电极
Pb–Pt 合金结构研究
新型贵金属薄膜开发
光电/电阻调控材料
多层纳米结构膜沉积
| 参数 | 范围 / 典型值 | 技术说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度保证薄膜质量 |
| Pb/Pt 比例 | 可定制 | 决定薄膜电阻、稳定性 |
| 致密度 | ≥97% | 溅射稳定、低颗粒 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配主流 PVD 设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 支持长寿命靶材 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 加强散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| PbPt | 光学/电学可调,稳定性强 | 光学膜、电极、功能薄膜 |
| Pt | 高稳定性、耐腐蚀 | 结构层、电极层 |
| Pb | 调控晶粒、影响光学特性 | 功能薄膜、科研 |
| AuPt | 电学稳定、耐腐蚀 | 光电与电子设备 |
1. PbPt 是否适合高温溅射?
适合,Pt 的加入提升了高温稳定性。
2. Pb 会影响薄膜可靠性吗?
不会,合金化结构能保证薄膜均匀稳定。
3. 是否支持大尺寸靶材?
可提供 4″、6″、8″、12″ 全尺寸。
4. Pb 含量可定制吗?
可定制,可根据电阻或光学要求调整配比。
5. 是否可提供检测数据?
可提供 ICP、XRF、密度、粗糙度等报告。
真空密封防氧化
内层防震 + 防静电袋
出口级纸箱/木箱保护
成品附唯一批号便于追踪
铅铂靶材(PbPt)是一种兼具贵金属稳定性与功能调控能力的高端溅射材料,广泛用于光电、半导体、传感器以及科研领域。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、成分可定制的 PbPt 靶材,适用于严格薄膜质量需求的应用场景。
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