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铂锰靶材(PtMn)是一种由贵金属铂(Pt)与锰(Mn)组成的高性能磁性功能靶材,在自旋电子学、磁性隧道结(MTJ)、自旋阀结构、磁存储器(MRAM)以及高稳定性磁性薄膜中发挥核心作用。
作为反铁磁材料体系中最成熟、最稳定的材料之一,PtMn 以其优异的热稳定性、磁交换耦合能力和抗迁移性,被广泛用于高端磁性器件与先进电子结构。
其薄膜具有高均匀性、低颗粒率、可控应力与优异的界面稳定性,是科研和工业制造中的关键材料。
铂锰靶材采用高纯 Pt 与 Mn 原料,通过真空熔炼、粉末冶金、CIP、HIP、高温扩散合金化等工艺制备,保证成分均匀、结构致密,在高功率溅射中保持稳定性。
可提供规格:
纯度:99.9% – 99.99%
成分比:Pt₅₀Mn₅₀、Pt₄₀Mn₆₀、Pt₆₀Mn₄₀(完全可定制)
尺寸:Φ25–Φ300 mm
厚度:3–6 mm
致密度:≥97%
背板选择:铜背板(Cu)、钛背板(Ti)、铟焊(In Bonding)
材料性能优势:
优秀的反铁磁特性,适用于交换偏置结构
热稳定性极高,可耐受 250–350°C 的退火工艺
薄膜成分均匀、应力低
与 CoFe、NiFe、CoFeB 等磁性材料兼容性极佳
低颗粒溅射,适用于超薄磁性结构
适用于大规模磁存储器制造工艺
铂锰靶材在磁性器件和先进电子薄膜结构中具有不可替代的地位,典型应用包括:
磁性隧道结 MTJ(Magnetic Tunnel Junctions)
自旋阀(Spin Valve)结构
MRAM 自旋存储器(STT-MRAM / SOT-MRAM)
交换偏置层(Exchange Bias Layer)
磁性传感器、霍尔传感器、GMR / TMR 器件
自旋电子学(Spintronics)功能层
磁通稳定/磁场调节薄膜结构
科研实验中的多层磁性结构设计
PtMn 的稳定磁性与优异的热稳定性,使其成为工业量产 MRAM 的主力材料之一。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分比 | Pt₅₀Mn₅₀ / 可定制 | 决定交换偏置强度与磁性 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度提升薄膜质量 |
| 致密度 | ≥97% | 薄膜均匀性与重复性更佳 |
| 直径 | 25–300 mm | 兼容所有溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可定制高寿命版本 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 增强散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| PtMn | 反铁磁性稳定、耐高温 | MRAM、MTJ |
| IrMn | 广泛应用,性能成熟 | 磁传感器、GMR 器件 |
| FeMn | 成本低、磁性较弱 | 一般磁性结构 |
| PtFe | 高磁性、贵金属特性 | 磁功能薄膜 |
1. PtMn 的磁性主要特点是什么?
作为反铁磁材料,PtMn 具有高交换偏置能力,可稳定夹在其上的软磁层。
2. PtMn 在 MRAM 中的作用是什么?
用于固定层(Pinned Layer),保持极化方向不变,提高存储稳定性。
3. 成分比例可以定制吗?
可以,根据应用需求(如偏置强度、退火温度)定制 Pt/Mn 比例。
4. PtMn 能否承受高温退火?
非常耐高温,可在 250–350°C 条件下保持结构与磁性稳定。
5. 是否适用于薄膜叠层结构?
适用于超薄、多层磁性堆栈,与 CoFe、NiFe、CoFeB 高兼容。
6. 是否支持大尺寸靶材?
可提供 4″、6″、8″、12″ 标准直径。
7. 是否可提供检测报告?
出厂附 ICP 成分、纯度、密度、外观等检测数据。
真空密封
防震泡棉保护
出口级木箱 / 抗压纸箱
独立追溯编号
确保靶材在运输过程中的洁净与稳定。
铂锰靶材(PtMn)凭借其稳定的反铁磁性能、优异的热稳定性和出色的膜层控制能力,是 MRAM、磁性隧道结及自旋电子材料中的关键靶材。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、多规格的 PtMn 靶材,满足科研实验与工业化生产的需求。
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