铂钌靶材（PtRu）

产品简介（Introduction）

铂钌靶材（PtRu）由铂（Pt）与钌（Ru）组成，是一种具有超强化学稳定性、优异高温性能及可调电学特性的贵金属合金溅射靶材。Pt 拥有卓越的耐腐蚀性与稳定性，而 Ru 能有效提高薄膜硬度、改善催化性能并提升高温环境下的结构可靠性。

PtRu 薄膜广泛应用于半导体、传感器、燃料电池电极、催化膜层、耐腐蚀结构膜以及光电器件的关键部位，是高端电子制造和能源装置的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

材料优势

• 极高的化学惰性（Pt 提供）

• 优异的高温结构稳定性（Ru 强化）

• 可调电阻率、导电性能稳定

• 熔点高、耐腐蚀、耐酸碱

• 薄膜硬度高、附着力强、颗粒率低

• 适用于 DC、RF 及磁控溅射

典型配比（可定制）

• Pt90Ru10

• Pt80Ru20

• Pt70Ru30

• Pt50Ru50

• 特殊应用支持高 Ru 配比（催化方向）

可供规格

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm（可做更薄）

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶、矩形靶、阶梯靶

• 背板结合：Cu / Ti / In-Bonding

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 μm（支持镜面级抛光）

应用领域（Applications）

1. 半导体与微电子

PtRu 薄膜结构稳定、抗腐蚀性强，常用于：

• 高温电极

• 芯片接触层

• 金属扩散阻挡层

• 功率器件金属膜

• 抗腐蚀结构层

2. 燃料电池与能源材料（PEMFC / DMFC）

PtRu 是最经典的燃料电池催化体系之一：

• 阳极催化膜

• 甲醇燃料电池（DMFC）耐 CO 中毒电极

• 电化学反应薄膜
  Ru 能显著抑制 Pt 的 CO 中毒，提高催化效率。

3. 传感器薄膜（Sensors）

• 气体传感器

• 生物传感器

• 电化学检测膜

• 耐腐蚀贵金属电极

4. 光电器件与精密设备

• 高反射贵金属光学膜

• 激光器结构层

• 高耐久保护膜

• 多层贵金属结构膜

5. 科研与材料开发

• 催化机理研究

• 纳米贵金属材料开发

• 多层结构薄膜研究

• 高温合金薄膜探索

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. PtRu 可以用于高温电极吗？
可以，Pt 与 Ru 都具有极高的耐温性。

2. PtRu 与 Pt 哪个更适合催化应用？
PtRu 催化 CO 相关反应更优，是燃料电池的经典体系。

3. 是否可以生产 12 英寸靶材？
完全支持，也可定制矩形靶材。

4. Ru 含量越高薄膜越好吗？
需要根据应用确定，催化应用中高 Ru 更佳，电子薄膜中需平衡电阻。

5. 是否提供纯度检测？
支持 ICP、XRF、EDS、密度、表面质量检测。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 防静电袋

• 防震泡棉保护

• 出口级木箱/纸箱包装

• 附唯一批次编号与检测标签

结论（Conclusion）

铂钌靶材（PtRu）结合铂的长期稳定性与钌的高温强度和催化性能，是电子结构膜、电极薄膜、燃料电池催化膜及贵金属多层结构中的关键材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、致密、成分可定制的 PtRu 溅射靶材，满足科研到工业量产的多种需求。