描述

铁铬靶材（FeCr）

产品简介（Introduction）

铁铬靶材（FeCr）由铁（Fe）与铬（Cr）组成，是一种兼具高耐腐蚀性、良好机械强度、稳定成膜性能与优异耐高温能力的功能性合金靶材。Fe 提供良好的结构强度与磁性基础，Cr 则赋予强抗氧化能力和耐化学腐蚀特性，使 FeCr 成为电子薄膜、工程保护膜、耐腐蚀薄膜以及光学镀膜中常用的高可靠性材料。

FeCr 特别适用于要求高致密性、高均匀性、耐化学环境和结构强化的薄膜应用。

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产品详情（Detailed Description）

FeCr 靶材采用高纯铁粉与铬粉，通过精确称量、均匀混料、冷等静压（CIP）成型，再经真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）处理。该工艺可使靶材达到高致密度（≥95–98% TD）、组织均匀、杂质含量低，并确保薄膜沉积时颗粒率极低。

典型产品规格：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 常见成分比例（Composition）：

  • Fe90Cr10

  • Fe80Cr20

  • Fe70Cr30

  • 可定制任意 Fe/Cr 比例

• 直径（Diameter）：Ø25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm（可做薄靶）

• 致密度（Density）：≥95–98% TD

• 工艺路线（Process）：CIP + Vacuum Sintering / HIP

• 背板（Bonding）：Cu 背板、Ti 背板或铟焊（In Bonding）

材料特点：

• Cr 提供强抗腐蚀性与抗氧化能力

• Fe 提供良好机械强度与磁性控制能力

• 薄膜颗粒率极低，表面均匀致密

• 良好附着力，适用于多种基底

• 高温下稳定性优异

• 可用于反应性溅射（FeCr-O / FeCr-N 薄膜）

• 适合 DC / RF 磁控溅射

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应用领域（Applications）

1. 工程保护膜（Engineering Protective Coatings）

• 抗腐蚀保护膜

• 耐磨损金属膜

• 高温结构膜

• 工具涂层与机械强化膜

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2. 电极与金属化薄膜（Metallization & Conductive Films）

• 电极保护层

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 多层金属结构中间层

• 金属互连结构

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3. 光学薄膜（Optical Coatings）

• 反射膜

• 中间结构膜

• 保护性金属层

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4. 半导体与封装领域（Semiconductor & Packaging）

• MEMS 金属层

• 金属化过渡层

• 高温兼容薄膜结构

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5. 科研用途（R&D Applications）

用于开发：

• Fe-Cr 耐腐蚀薄膜

• FeCr 氧化物/氮化物功能膜

• 机械强化结构膜

• 高可靠性工程镀膜结构

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技术参数（Technical Parameters）

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材料对比（Comparison）

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常见问题（FAQ）

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包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 防震泡棉加固保护

• 干燥剂防潮

• 出口级纸箱 / 木箱

• 每片靶材附唯一批号可追溯

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结论（Conclusion）

铁铬靶材（FeCr）以其强抗腐蚀性、优异的机械性能、结构稳定性与高质量成膜能力，在工程保护膜、电子薄膜、光学结构层、半导体封装与功能膜开发中具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供各种 Fe/Cr 比例、尺寸及背板方案，满足从科研到量产不同领域的需求。

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