铁铝靶材（FeAl）

产品简介（Introduction）

铁铝靶材（FeAl）是一种由铁（Fe）与铝（Al）组成的金属间化合物合金靶材，常见相为 FeAl 或 Fe₃Al。该材料具有优异的抗氧化性能、耐腐蚀性、耐磨性和高温结构稳定性。在真空薄膜沉积领域，FeAl 靶材可形成致密、均匀且具有高附着力的功能膜层，广泛用于电子器件保护膜、耐腐蚀膜、耐磨膜、红外光学镀膜等领域。

FeAl 的内部金属间化合物结构使其同时兼具轻质、高强度与抗扩散特性，是多层膜结构中常用的中间层与防护层材料。

产品详情（Detailed Description）

铁铝靶材采用高纯度铁铝金属原料，通过电磁感应熔炼、真空烧结、热等静压（HIP）或粉末冶金（PM）工艺制备，以实现高致密度（95–99% TD）和稳定的金属间化合物相。表面采用精密机械加工以确保平整度与真空兼容性。

典型产品规格：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 成分（Composition）：

  • FeAl（约 50:50）

  • Fe₃Al 系列合金

  • 可根据需求定制 Fe/Al 比例

• 直径（Diameter）：25–300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm，可提供薄靶

• 致密度（Density）：≥95–99% TD

• 工艺（Process）：Vacuum Melting / PM / HIP / CNC machining

• 背板结合（Bonding）：Cu / Ti / 铟焊（In Bonding）

材料特性：

• 优异抗氧化性能：铝元素形成稳定 Al₂O₃ 膜，可在高温中保护薄膜结构

• 轻质高强度：较低密度，适合作为多层结构减重层

• 抗腐蚀性强：适用于酸性与氧化环境

• 耐磨性好：常用于表面强化膜

• 膜层附着力强、颗粒率低

• 可用于 DC / RF 磁控溅射

应用领域（Applications）

1. 工程保护膜（Engineering Protective Coatings）

• 耐腐蚀保护层

• 高温保护膜

• 机械耐磨层

• 食品/化工设备金属防护膜

铝的加入显著提升防腐与抗氧化性能，特别适合 harsh environment。

2. 半导体、电子封装与互连（Semiconductor & Packaging）

• 中间层（Barrier / Passivation）

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 抗扩散阻挡层（Diffusion Barrier）

FeAl 的金属间化合物结构可阻止 Cu、Ni 扩散，是稳定的阻挡层选择。

3. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 红外反射层

• 中间结构层

• 耐蚀保护层

FeAl 在红外波段具有优良反射和抗氧化能力。

4. 能源材料（Energy Materials）

• 高温耐氧化金属薄膜

• 氧化物层过渡金属底层

• 功能性外层保护膜

5. 科研实验（R&D）

用于开发：

• FeAl/Fe₃Al 功能涂层

• 金属间化合物薄膜

• 耐热抗腐蚀结构膜

• 工业增强膜层

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化包装

• 干燥剂吸湿保护

• 防震泡棉层保护

• 出口级纸箱 / 木箱

• 每片靶材附唯一批号与检测报告

结论（Conclusion）

铁铝靶材（FeAl）以其轻质、高强度、耐高温与抗氧化优势，在电子薄膜、工程保护膜、光学镀膜和多层金属结构中具有广泛应用潜力。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度的 FeAl 靶材，并支持定制成分和背板，是科研院所与工业用户的理想合作伙伴。

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