钼铬靶材(MoCr)

钼铬靶材(MoCr)

产品简介(Introduction)

钼铬靶材(MoCr)由钼(Mo)与铬(Cr)组成,是一种兼具高硬度、优异耐腐蚀性、高温稳定性与良好薄膜附着力的功能合金靶材。Mo 提供高熔点、高强度与卓越耐磨性,Cr 则增强抗氧化能力、耐腐蚀性能与结构稳定性,使 MoCr 成为工程保护膜、阻挡层、结构强化层与高温薄膜应用中的关键材料。

MoCr 是机械保护膜、耐腐蚀薄膜、半导体结构膜和光学金属膜中常用的高可靠性材料。


产品详情(Detailed Description)

MoCr 靶材采用高纯钼与铬原料,经过精确配比、均匀混合、冷等静压(CIP)成型,再通过真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)技术制备,以实现高致密度、高均匀性和低杂质含量。

典型规格参数:

  • 纯度(Purity):99.9%–99.95%

  • 成分比例(Composition)

    • Mo90Cr10

    • Mo80Cr20

    • Mo70Cr30

    • 支持定制任意 Mo/Cr 比例

  • 直径(Diameter):Ø25–300 mm

  • 厚度(Thickness):3–6 mm(支持薄靶)

  • 致密度(Density):≥95–98% TD

  • 制造工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP

  • 背板(Bonding):铜背板(Cu)、钛背板(Ti)、铟焊(In Bonding)

材料特点:

  • Mo 提供高硬度、高温性能

  • Cr 提升抗氧化、耐腐蚀能力

  • 薄膜致密、稳定性高

  • 膜层附着力强,颗粒率低

  • 可用于反应性溅射(MoCr-O、MoCr-N 薄膜)

  • 适用于 DC/RF 磁控溅射


应用领域(Applications)

1. 工程与保护薄膜(Engineering & Protective Coatings)

  • 耐磨涂层

  • 抗腐蚀结构膜

  • 高温机械保护膜

  • 工业工具表面强化层

MoCr 因 Mo 的高硬度与 Cr 的抗氧化性而在工程防护膜中非常常用。


2. 半导体金属化(Semiconductor Metallization)

  • 阻挡层(Barrier Layer)

  • 粘附层(Adhesion Layer)

  • 金属化高温保护层

  • 多层膜过渡结构


3. 光学镀膜(Optical Coatings)

  • 反射膜 / 吸收膜

  • 光学保护层

  • 多层金属结构中间层


4. 航空航天与高温设备(Aerospace & High-Temp Systems)

  • 高温互联结构膜

  • 抗腐蚀热保护膜

  • 高强度金属薄膜材料


5. 科研与新材料开发(R&D Applications)

  • Mo-Cr 固溶体薄膜

  • 耐腐蚀新型金属膜

  • 结构强化功能薄膜

  • MoCr 氧化物 / 氮化物研究薄膜


技术参数(Technical Parameters)

参数 数值 / 范围 说明
纯度 99.9–99.95% 影响薄膜纯净度与稳定性
成分比例 Mo/Cr 可定制 决定硬度与耐腐蚀性能
致密度 ≥95–98% TD 高致密度=低颗粒+高均匀性
厚度 3–6 mm 影响溅射寿命与速率
直径 Ø25–300 mm 支持科研到量产
背板 Ti / Cu / In 用于散热与保证平整度

材料对比(Comparison)

材料 特性 应用
MoCr 高强度 + 高温 + 耐腐蚀 保护膜、阻挡层、结构强化膜
Mo(钼) 超高温性能 高硬度薄膜
Cr(铬) 强抗氧化 防腐蚀涂层
MoTi 高硬度 + 强附着力 半导体粘附层、工程膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
MoCr 是否适合高温工况? 是,Mo 与 Cr 都具备优秀的高温稳定性。
支持定制比例吗? 任意 Mo/Cr 比例均可定制。
是否适合工程耐磨膜? 非常适合,可显著提升耐磨性与耐腐蚀性。
大尺寸靶材是否需要背板? 建议使用铜/钛背板以增强散热能力。
是否兼容 RF 溅射? 完全兼容,可用于 DC/RF 两种系统。

包装(Packaging)

  • 真空密封

  • 干燥剂防潮包装

  • 多层防震结构

  • 出口级硬箱 / 木箱

  • 靶材附唯一批号便于追踪


结论(Conclusion)

钼铬靶材(MoCr)具有高温强度、抗腐蚀性、低颗粒率及膜层附着力优异等特点,是工程保护膜、半导体阻挡层与结构强化薄膜中的关键材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供多个比例、尺寸与工艺路线的 MoCr 靶材,适用于科研和工业量产需求。

如需报价,请联系:
📩 sales@keyuematerials.com