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钼铬靶材(MoCr)由钼(Mo)与铬(Cr)组成,是一种兼具高硬度、优异耐腐蚀性、高温稳定性与良好薄膜附着力的功能合金靶材。Mo 提供高熔点、高强度与卓越耐磨性,Cr 则增强抗氧化能力、耐腐蚀性能与结构稳定性,使 MoCr 成为工程保护膜、阻挡层、结构强化层与高温薄膜应用中的关键材料。
MoCr 是机械保护膜、耐腐蚀薄膜、半导体结构膜和光学金属膜中常用的高可靠性材料。
MoCr 靶材采用高纯钼与铬原料,经过精确配比、均匀混合、冷等静压(CIP)成型,再通过真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)技术制备,以实现高致密度、高均匀性和低杂质含量。
纯度(Purity):99.9%–99.95%
成分比例(Composition):
Mo90Cr10
Mo80Cr20
Mo70Cr30
支持定制任意 Mo/Cr 比例
直径(Diameter):Ø25–300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm(支持薄靶)
致密度(Density):≥95–98% TD
制造工艺(Process):CIP + Vacuum Sintering / HIP
背板(Bonding):铜背板(Cu)、钛背板(Ti)、铟焊(In Bonding)
Mo 提供高硬度、高温性能
Cr 提升抗氧化、耐腐蚀能力
薄膜致密、稳定性高
膜层附着力强,颗粒率低
可用于反应性溅射(MoCr-O、MoCr-N 薄膜)
适用于 DC/RF 磁控溅射
耐磨涂层
抗腐蚀结构膜
高温机械保护膜
工业工具表面强化层
MoCr 因 Mo 的高硬度与 Cr 的抗氧化性而在工程防护膜中非常常用。
阻挡层(Barrier Layer)
粘附层(Adhesion Layer)
金属化高温保护层
多层膜过渡结构
反射膜 / 吸收膜
光学保护层
多层金属结构中间层
高温互联结构膜
抗腐蚀热保护膜
高强度金属薄膜材料
Mo-Cr 固溶体薄膜
耐腐蚀新型金属膜
结构强化功能薄膜
MoCr 氧化物 / 氮化物研究薄膜
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.95% | 影响薄膜纯净度与稳定性 |
| 成分比例 | Mo/Cr 可定制 | 决定硬度与耐腐蚀性能 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 高致密度=低颗粒+高均匀性 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与速率 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 支持科研到量产 |
| 背板 | Ti / Cu / In | 用于散热与保证平整度 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| MoCr | 高强度 + 高温 + 耐腐蚀 | 保护膜、阻挡层、结构强化膜 |
| Mo(钼) | 超高温性能 | 高硬度薄膜 |
| Cr(铬) | 强抗氧化 | 防腐蚀涂层 |
| MoTi | 高硬度 + 强附着力 | 半导体粘附层、工程膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| MoCr 是否适合高温工况? | 是,Mo 与 Cr 都具备优秀的高温稳定性。 |
| 支持定制比例吗? | 任意 Mo/Cr 比例均可定制。 |
| 是否适合工程耐磨膜? | 非常适合,可显著提升耐磨性与耐腐蚀性。 |
| 大尺寸靶材是否需要背板? | 建议使用铜/钛背板以增强散热能力。 |
| 是否兼容 RF 溅射? | 完全兼容,可用于 DC/RF 两种系统。 |
真空密封
干燥剂防潮包装
多层防震结构
出口级硬箱 / 木箱
靶材附唯一批号便于追踪
钼铬靶材(MoCr)具有高温强度、抗腐蚀性、低颗粒率及膜层附着力优异等特点,是工程保护膜、半导体阻挡层与结构强化薄膜中的关键材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供多个比例、尺寸与工艺路线的 MoCr 靶材,适用于科研和工业量产需求。
如需报价,请联系:
📩 sales@keyuematerials.com
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