钪铝靶材（ScAl）

产品简介（Introduction）

钪铝靶材（ScAl）由钪（Sc）与铝（Al）组成，是一种轻质、高强度、具有优异电学与光学调控能力的功能性合金靶材。ScAl 薄膜能够显著改善晶体质量、提高载流子迁移率，并在光学与结构膜应用中展现出卓越性能，因此在半导体、光电显示、射频器件与先进材料研究中广受关注。

Sc 的掺入使得薄膜具备更佳的结晶性与机械稳定性，而 Al 则赋予轻量化与优异的导热性。两者结合，使 ScAl 靶材成为高端薄膜制备的核心材料之一。

产品详情（Detailed Description）

ScAl 靶材通常采用高纯钪粉与铝粉，通过冷等静压（CIP）压制，再经真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）制备而成。该靶材具有高致密度、稳定溅射行为、低颗粒率和良好的膜厚均匀性。

典型产品参数：

• 纯度（Purity）：99.9%–99.99%

• 典型配比（Composition）：

  • Sc10Al90

  • Sc20Al80

  • Sc30Al70
    （可根据薄膜需求定制 Sc/Al 比例）

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm

• 致密度（Density）：≥95–98% TD

• 制造工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：可选 Ti / Cu 背板或铟焊（In Bonding）

材料特点：

• Sc 提升薄膜晶体结构与迁移率

• Al 提供高导热性与轻量化

• 成膜均匀、表面致密、缺陷率低

• 附着性强，兼容多种基底（Si、玻璃、ITO 等）

• 温度窗口宽，可用于低温和高温沉积

• 反应性溅射性能优良（ScAlOx、ScAlN 薄膜）

应用领域（Applications）

由于 ScAl 独特的晶体和电子结构调控能力，使其成为高端电子、光学和显示领域的重要材料。

1. 射频器件（RF Devices）

Sc 掺杂可显著提高声表面波（SAW）与体声波（BAW）器件的耦合系数。

• 滤波器电极层

• 声学器件结构膜

2. 半导体薄膜（Semiconductors）

• 高迁移率沟道薄膜

• 氮化物系外延缓冲层

• 高温电极材料

3. 显示技术（Displays）

• TFT/柔性显示的薄膜结构

• 光学调控层

• 多层复合金属过渡层

4. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 反射膜

• 调制层

• 光学结构膜

5. 功能薄膜与科研用途（Research Use）

• 新型金属间化合物薄膜研究

• ScAl 氧化物 / 氮化物功能薄膜

• 电子结构调控膜层

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂防潮

• 多层防震包装

• 出口级木箱/硬箱

• 每片靶材附唯一批号（可追踪）

结论（Conclusion）

钪铝靶材（ScAl）是射频器件、显示技术与先进薄膜结构中不可或缺的重要材料。其优异的晶体质量提升能力、机械稳定性和光电性能，使其在科研与工业应用中广泛使用。苏州科跃材料科技有限公司可定制不同成分、规格与背板结构，满足高端薄膜沉积需求。

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