碲化钼靶材(MoTe)

碲化钼靶材(MoTe)

产品简介(Introduction)

碲化钼(MoTe)是一类重要的过渡金属碲化物材料,属于二维层状半导体体系(Transition Metal Dichalcogenides, TMDCs)。MoTe 具有独特的电子结构、可调节的带隙、优异的光电性能和良好的薄膜沉积稳定性,是红外光探测、光电器件、可调谐开关器件及新型二维材料研究的重要薄膜材料。

在磁控溅射薄膜沉积领域,MoTe 靶材可形成成分均匀、致密度高的 Mo–Te 薄膜,适用于探索金属相与半导体相转变(1T′/2H 相)、制备红外响应薄膜、以及与 MoS₂、MoSe₂ 等材料形成异质结构。


产品详情(Detailed Description)

科跃材料提供的 MoTe 溅射靶材采用高纯金属钼与高纯碲在真空条件下进行固相反应,通过冷等静压(CIP)、热压(HP / HIP)、真空烧结等工艺精制而成。靶材具有良好的化学均匀性、较高致密度和稳定的溅射性能。

可提供规格:

  • 纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)

  • 尺寸范围:直径 25–300 mm;厚度 3–6 mm,可完全按图纸定制

  • 密度:≥ 95% 理论密度,提升薄膜致密度、膜层均匀性

  • 制造工艺:CIP、HP、HIP、真空固相反应、精细加工

  • 背板选择:铜(Cu)、钛(Ti)背板,支持铟焊/扩散焊工艺

  • 形状:圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶等定制结构

性能特点:

  • 具有优异的成分稳定性与电学一致性

  • 适用于制备 2D 层状结构薄膜

  • 溅射速率可控,适合科研和量产设备

  • 高致密度减少颗粒脱落与膜层缺陷


应用领域(Applications)

MoTe 靶材应用于多个高端薄膜技术领域,包括:

  • 二维材料研究(2D Materials):用于制备 MoTe₂、实现 1T′ / 2H 相转变研究

  • 红外探测器薄膜(Infrared Detectors)

  • 光电器件(Photodetectors / Photovoltaic Films)

  • 场效应晶体管(TFT / FET)

  • 异质结构薄膜(Heterostructures):与 MoS₂、WS₂、MoSe₂ 组合

  • 半导体与纳米材料研发

Mo–Te 薄膜具有可调节带隙、良好的载流子迁移率以及先进的光电转换能力,是前沿电子材料的重要研究对象。


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.999% 高纯度有助于降低薄膜缺陷密度,提高电学与光学性能
直径 25 – 300 mm 覆盖常用 PVD 溅射腔体尺寸
厚度 3 – 6 mm 决定溅射寿命与沉积稳定性
密度 ≥ 95% 理论密度 提高薄膜致密度、改善膜层均匀性
背板结合 Cu / Ti / Indium bonding 提升散热性能、防止靶材破裂
制备工艺 CIP / HP / HIP / 真空固相反应 提升材料均匀性、降低内应力

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
MoTe 带隙可调,适合 IR/2D 材料研究 红外光电、二维电子器件
MoS₂ 电子迁移率高,常用二维材料 FET、光电探测
MoSe₂ 光吸收能力强 光电探测、光催化
WTe₂ 拓扑材料研究热门 量子材料、传感器

常见问题(FAQ)

问题 答案
MoTe 适合哪种溅射方式? 支持 RF 与 DC 溅射,RF 可更好控制成分与能量。
是否易氧化?能否短时间拍照暴露? MoTe 相对稳定,可短时间暴露,但长期建议真空封装保存。
可用于二维材料薄膜吗? 是的,可通过溅射 + 退火制备 MoTe₂。
薄膜是否需要退火? 多数应用需要退火以改善晶体结构和相组成。
可以分段制作吗? 可提供分段靶、窄条靶等科研定制。
背板是否推荐? 大尺寸靶材建议使用铜背板以提升散热稳定性。
MoTe 与 MoS₂ 组合有什么用途? 可用于异质结构器件,实现不同能带结构的层叠设计。
粒子脱落风险大吗? 高致密度工艺可显著降低颗粒生成。
是否支持大批量生产? 可提供实验室级、小批量与量产级靶材。

包装与交付(Packaging)

每件 MoTe 靶材在出厂前均进行外观、尺寸、纯度、密度与成分检测,并附唯一追溯编号。
包装包括:

  • 真空密封防潮铝箔袋

  • 防震泡沫固定

  • 出口级木箱保护

确保靶材在长距离运输中保持洁净与完整。


结论(Conclusion)

碲化钼靶材(MoTe)凭借其可调变的电子结构、优异的光电特性和良好的薄膜制备性能,在二维材料、红外探测、光电器件以及前沿半导体技术中具有重要价值。科跃材料可根据不同科研或工业应用提供定制化 MoTe 靶材解决方案。

如需了解更多技术规格或索取报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com