碲化砷靶材(AsTe)

碲化砷靶材(AsTe)

产品简介(Introduction)

碲化砷(AsTe)是一种由砷(As)与碲(Te)组成的二元化合物材料,属于典型的 V–VI 族半导体体系。AsTe 具有独特的光电特性、可调的能带结构、较高的红外吸收能力,并在光电探测、红外成像、热电薄膜及新型功能材料领域具有重要研究价值。

碲化砷靶材(AsTe Sputtering Target)可通过磁控溅射沉积高纯度、致密且均匀的 AsTe 薄膜,广泛用于红外光电器件、功能薄膜工程、热电材料开发以及复杂多层薄膜结构中的关键功能层。


产品详情(Detailed Description)

AsTe 靶材通常采用以下高纯工艺制备:

  • 高纯元素直接合成(Direct Synthesis)

  • 真空密闭烧结(Vacuum Encapsulated Sintering)

  • 固相反应烧结(Solid-State Reaction)

  • 热压烧结(Hot Pressing, HP)

  • CIP + 高温致密化工艺

典型产品属性:

  • 纯度:99.9%–99.999%(3N–5N)

  • 化学计量比:As:Te = 1:1(可根据需求微调化学计量)

  • 外观:深灰色或黑色陶瓷质感

  • 致密度:≥95%–98% 理论密度

  • 晶体结构:随成分变化呈半导体型结构

  • 尺寸:直径 25–300 mm 或矩形靶

  • 厚度:3–6 mm

  • 背板结合(可选):Cu / Ti / In bonding

材料优势:

  • 成膜均匀性好

  • 高纯度降低缺陷与颗粒

  • 化学稳定性优于单质砷或碲

  • 适合高真空与常见溅射系统

  • 可用于中红外功能薄膜制备


应用领域(Applications)

● 红外光电探测(Infrared Photodetectors)

由于 AsTe 的独特光吸收特性与合适的带隙,可用于:

  • 中红外(MIR)探测薄膜

  • 热成像器件

  • 微光探测层

  • 光敏薄膜与光信号转换层

与 Te 系材料相比,AsTe 稳定性更高,薄膜均匀度更佳。

● 热电材料(Thermoelectric Thin Films)

AsTe 属于典型的 V–VI 热电系统,可应用于:

  • 热电发电薄膜

  • 低维热电结构

  • 温差能量采集器件

其载流子浓度和迁移率可通过工艺进一步调控。

● 功能复合薄膜(Functional Multilayer Films)

在复杂的多层结构中常作为:

  • 能带调控层

  • 光吸收增强层

  • 中间层与界面修饰层

  • 低维结构中的异质结材料

适用于先进光电与纳米器件研究。

● 材料科学与半导体研究(Research Applications)

AsTe 常用于:

  • V–VI 族半导体能带研究

  • 光吸收机制分析

  • 热电性能调控

  • 新型光子器件原型验证


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 99.9%–99.999% 杂质越少薄膜性能越稳定
成分 AsTe、AsₓTe₁₋ₓ(可定制) 可根据光电/热电需求调整
致密度 ≥95–98% TD 高致密减少颗粒、提高膜质量
直径 25–300 mm 兼容主流腔体和设备
厚度 3–6 mm 决定靶材寿命与沉积稳定性
背板 Cu / Ti / In 提高散热并减少应力开裂
溅射方式 RF,Pulsed DC 化合物靶材推荐 RF
工艺 HP / CIP / Vacuum Sintering 提高微观均匀性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
AsTe IR 吸收佳,热电性能稳定 红外探测、热电、光电薄膜
As₂Te₃ 典型热电材料 热电发电与能量采集
Bi₂Te₃ 高热电效率 热电器件主流材料
GeTe 相变功能强 相变存储、调控薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
AsTe 靶材适用于哪些溅射方式? RF、脉冲 DC,DC 需搭配中间层。
是否可提供不同 As/Te 比例? 可以,根据应用调节化学计量。
AsTe 薄膜是否适用于中红外器件? 是,具备优异红外响应。
靶材是否需要背板? 建议 Cu 或 Ti 背板以提升散热。
可否制作 PLD 靶材? 可以提供 PLD/MBE 版本。
靶材是否易氧化? 相比单质砷/碲更稳定,但仍建议真空储存。
是否支持大尺寸靶材? 支持 8–12 英寸工艺靶材。

包装与交付(Packaging)

  • 真空封装防氧化设计

  • 防静电袋洁净包装

  • 多层缓冲抗震保护

  • 出口级木箱固定

  • 附带纯度、密度、尺寸与成分检测报告

确保运输与长期储存中的稳定性与洁净度。


结论(Conclusion)

碲化砷靶材(AsTe)凭借其优异的红外光电性能、热电特性及稳定的化学结构,在红外探测、热电能源、光电功能薄膜及新型材料研究中具有重要意义。使用高纯度、高致密度的 AsTe 靶材,可大幅提升薄膜质量及器件性能,是科研和产业应用不可或缺的核心材料之一。

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