硼化钼铝靶材（MoAlB）

产品简介（Introduction）

硼化钼铝靶材（MoAlB）是一种由钼（Mo）、铝（Al）和硼（B）构成的三元层状陶瓷材料，属于新型 MAB（M–A–B）相家族。该材料兼具金属的导电性和陶瓷的耐高温、抗氧化及高强度特性，其薄膜在耐磨涂层、抗氧化涂层、微电子结构层以及高温环境的功能膜中表现出卓越稳定性。

MoAlB 靶材常用于磁控溅射（DC / RF）、高功率脉冲溅射（HiPIMS）及离子束沉积等工艺，是研究下一代高温结构膜与功能涂层的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

为了获得高致密度和理想晶相结构，MoAlB 靶材通常采用以下工艺制备：
● 高纯粉体固相烧结
● 放电等离子烧结（SPS）
● 热等静压（HIP）
● 热压烧结（HP）

靶材经精密加工处理后，可显著降低溅射颗粒、提升薄膜的结构完整性，并在高温条件下保持优异的化学稳定性。

● 典型规格参数

• 纯度（Purity）： 99% – 99.9%

• 成分（Composition）： Mo : Al : B（严格根据 MoAlB 相结构，可微调）

• 尺寸（Size）： Ø25–Ø300 mm 或根据设备定制

• 厚度（Thickness）： 2–6 mm（支持薄靶）

• 工艺（Process）： SPS / HP / HIP / CIP

• 背板结合（Bonding）： Cu / Ti / In 焊接背板

● 材料特性

• 高硬度与耐磨性

• 卓越的抗氧化性（> 1100°C）

• 良好的导电性能，优于传统陶瓷

• 高致密度结构确保膜层均匀

• 低颗粒溅射、高稳定性

应用领域（Applications）

1. 高温防护涂层（High-Temperature Protective Coatings）

MoAlB 在高温下具有极强抗氧化性与结构稳定性，可用于：

• 航空发动机部件防护膜

• 高温加热元件保护层

• 反应堆与能源装置结构膜

2. 耐磨与低摩擦涂层（Wear-Resistant and Low-Friction Films）

凭借良好硬度与摩擦特性，适用于：

• 刀具、模具耐磨涂层

• 高负载机械零部件表层强化

• 微机械系统（MEMS）耐久膜层

3. 微电子器件（Microelectronics）

MoAlB 具有金属性能，可作为：

• 电极材料

• 功能过渡层（Barrier / Buffer）

• 微电子封装保护膜

4. 能源材料（Energy-related Films）

尤其适用于极端温度环境：

• 燃料电池保护膜

• 高温传感器功能层

• 电热元件稳定膜层

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. MoAlB 靶材适合 RF 溅射吗？
   可以，DC、RF 与 HiPIMS 均兼容。

2. MoAlB 是否属于陶瓷？
   属于 MAB 相层状陶瓷材料，兼具陶瓷与金属部分特性。

3. 膜层是否可在高温环境使用？
   可长期耐受 900–1200°C，具有极强抗氧化能力。

4. 靶材是否可定制尺寸？
   可定制大尺寸圆靶、矩形靶、多边形靶等。

5. 背板是否必须？
   建议使用背板以提高热传导并降低应力开裂。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 氧气/水汽隔离包装

• 防震缓冲结构

• 出口级木箱

• 附 COA、尺寸检验、成分检测报告

结论（Conclusion）

硼化钼铝靶材（MoAlB）凭借其独特的高温稳定性、耐磨性与电学性能，是航空航天、微电子、高温防护及能源装置薄膜中的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密与高一致性的 MoAlB 溅射靶材，满足科研与工业应用需求。

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