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硫化镉锌(CdZnS)是一种由镉(Cd)、锌(Zn)与硫(S)组成的多元 II–VI 族半导体化合物。通过调节 Cd/Zn 比例,CdZnS 的带隙可在 CdS(~2.42 eV)与 ZnS(~3.6 eV)之间连续调控,具备优秀的光学透明性、良好的光吸收特性以及较高的电荷迁移率。
硫化镉锌靶材(CdZnS Sputtering Target)广泛用于光电薄膜、太阳能电池窗口层、透明导电薄膜、光探测器与纳米光电子器件,是光伏和光电行业的关键功能材料。
CdZnS 靶材一般采用以下工艺路线制备:
固相反应合成(Solid-State Reaction)
真空烧结(Vacuum Sintering)
热压烧结(HP)
CIP + 高温烧结工艺
典型材料参数:
纯度:99.99%(4N)
化学组成:CdₓZn₁₋ₓS(x 可调 0–1)
相结构:立方闪锌矿结构或六方纤锌矿结构(随组分变化)
致密度:≥ 95%–98% TD
尺寸规格:直径 25–300 mm,可提供矩形靶材
厚度范围:3–6 mm
背板结合:Cu / Ti / In bonding
材料优势:
可调带隙(2.4–3.6 eV)
高光透过率薄膜
稳定的成分重现性
高致密度减少颗粒污染
可用于高速溅射、长时间沉积
稳定的光电性能
CdZnS 是 CIGS、CdTe、CZTS 等薄膜太阳能电池的重要窗口层材料:
提高短路电流密度
降低界面复合
增强光吸收效率
优化能带对齐(band alignment)
比传统 CdS 具有更大带隙,透光性更佳。
CdZnS 薄膜可用于:
紫外-可见区光探测器
光敏元件
光开关器件
量子点复合薄膜
由于其高透光性,可用于:
透明电子器件
透明薄膜晶体管(TFT)
光波导与光学窗口材料
CdZnS 常用作:
量子点复合层
异质结缓冲层
带隙可调光子结构
适用于:
II–VI 半导体能带结构研究
界面工程与能带调控
光吸收/吸收边调控实验
| 参数 | 范围/典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 4N(99.99%) | 纯度越高,薄膜缺陷越少 |
| 组成 | CdₓZn₁₋ₓS,可定制 x=0–1 | 控制带隙与透光性 |
| 直径 | 25–300 mm | 兼容主流溅射系统 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定沉积寿命与稳定性 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 高致密度降低颗粒 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In bonding | 提升散热与稳定性 |
| 界面 | 陶瓷类靶材,抗裂性设计 | 避免高功率导致破裂 |
| 工艺 | HP / VS / CIP | 决定成分均匀性与结构稳定性 |
| 材料 | 优势 | 应用 |
|---|---|---|
| CdZnS | 可调带隙、高透光 | 太阳能电池窗口层、光电薄膜 |
| CdS | 工艺成熟、性价比高 | 传统光伏窗口层 |
| ZnS | 大带隙、高透明性 | 光学窗口、透明膜 |
| CdSe | 较小带隙 | 光探测器、量子点结构 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CdZnS 靶材适合哪些溅射方式? | RF、DC(带中间层)、脉冲 DC。 |
| 能调整 Cd/Zn 的比例吗? | 可以根据光伏研究需求定制 x 值。 |
| CdZnS 与 CdS 相比的优势? | 带隙更大、透光率更高,更适合作为窗口层。 |
| 是否支持大尺寸靶材? | 可提供最大 12 英寸靶材。 |
| 是否可用于量产产线? | 适合科研、中试和部分产业化产线。 |
| 薄膜颗粒率高吗? | 高致密靶材颗粒率极低,可用于洁净室工艺。 |
| CdZnS 是否含有有害元素? | 含 Cd,需按国际标准规范操作和废弃物管理。 |
| 可否提供 PLD 靶材? | 可以提供 PLD / MBE 专用靶材。 |
真空封装防氧化
防静电袋
多层防震结构
出口级木箱固定
每片靶材附检测报告(纯度、密度、尺寸)
确保运输、仓储过程中的安全与洁净。
硫化镉锌靶材(CdZnS)是光伏与光电子行业的重要 II–VI 族半导体薄膜材料,具有可调带隙、高透光性与优良光电性能。通过高纯度、高致密度靶材制备的 CdZnS 薄膜,在太阳能电池、光电探测器和透明电子器件中具备关键性作用,适用于科研与产业研发需求。
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