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硒化镓(GaSe)是一种典型的 III–VI 族层状半导体材料,具有可调带隙、高光吸收系数、优异的非线性光学特性以及良好的光电转换能力。GaSe 以其独特的层状结构(van der Waals layered structure)而闻名,适用于红外光电器件、二维材料研究、光学调制、非线性光学晶体及先进薄膜技术领域。
作为磁控溅射靶材,GaSe 能稳定沉积高致密度、成分均匀的 Ga–Se 薄膜,可用于构建高性能光电器件、多层异质结构薄膜以及新型二维材料体系。
科跃材料提供的 GaSe 溅射靶材采用高纯镓与高纯硒,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压烧结(HP/HIP)及精密机械加工制备而成。此工艺确保靶材具有优良的化学均匀性、高致密度和稳定的溅射性能。
可选规格:
纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)
尺寸范围:直径 Ø25–300 mm;厚度 3–6 mm,可定制
密度:≥ 95% 理论密度
制造工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、精密研磨
背板结合:铜(Cu)或钛(Ti)背板;可选择铟焊或扩散焊工艺
形状支持:圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶等
靶材优势:
层状材料稳定、溅射成分控制性好
高纯度降低薄膜缺陷、提升光电性能
致密度高,不易掉粉,膜层均匀性好
溅射适用性广,兼容 RF 与 DC 工艺
GaSe 靶材常用于制备以下先进薄膜与器件:
二维 GaSe 薄膜(2D Materials)
非线性光学薄膜(NLO Films)
光电探测器(Photodetectors)
红外光学器件(IR Optoelectronics)
光调制器、光电晶体管(Optoelectronic Transistors)
范德华异质结构(vdW Heterostructures):如 GaSe/MoS₂、GaSe/WS₂
功能半导体薄膜、光伏研究
GaSe 以其强非线性系数(第二谐波产生 SHG)被广泛用于光学芯片及量子通信器件研究。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.999% | 高纯度减少缺陷,提高光学透明性和电学性能 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配大部分溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射寿命与膜层稳定性 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 降低颗粒风险,提高薄膜致密性 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Indium bonding | 增强散热能力、防止靶材开裂 |
| 制备工艺 | CIP / HP / HIP / Solid-State Reaction | 提高成分均匀性和微结构稳定性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| GaSe | 强非线性光学特性、层状结构 | NLO 器件、2D 材料 |
| GaTe | 更强光电响应 | 光电探测、红外薄膜 |
| InSe | 高载流子迁移率 | 光电晶体管、柔性电子 |
| MoSe₂ | 适用于 FET 与光伏器件 | 2D 半导体薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| GaSe 靶材适合 RF 还是 DC? | 两者皆可,RF 适合对成分控制要求更高的应用。 |
| 能否用于二维材料研究? | 可以,通过溅射 + 退火可获得高质量 GaSe 层状薄膜。 |
| 靶材是否易氧化? | GaSe 稳定性较好,短时间暴露拍照无影响。 |
| 是否可提供定制尺寸? | 可以,支持圆靶、矩形靶、阶梯靶等定制需求。 |
| GaSe 薄膜是否需要退火? | 多数光电应用中,通过退火可提高晶体质量。 |
| 背板是否必要? | 大尺寸靶材建议加 Cu 背板提升散热。 |
| 是否支持小批量研发订单? | 支持实验级、小批量及量产供应。 |
| 可否用于异质结构薄膜? | 常与 MoS₂、WS₂ 等材料组合,用于构建光电器件。 |
每块 GaSe 溅射靶材均经过:
ICP 纯度测试
密度与孔隙率检测
XRD 相组成验证
尺寸与表面平整度检查
并以以下方式包装:
真空密封袋
防震缓冲材料
出口级木箱
确保运输过程中的安全与洁净度。
硒化镓靶材(GaSe)凭借其强非线性光学特性、优异的光电性能以及稳定的层状结构,已成为光电器件、二维材料研究及非线性光学芯片的重要靶材之一。高纯度、高致密度的 GaSe 靶材可显著提升薄膜质量,是科研机构与高端制造的可靠选择。
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