硒化镓靶材(GaSe)

硒化镓靶材(GaSe)

产品简介(Introduction)

硒化镓(GaSe)是一种典型的 III–VI 族层状半导体材料,具有可调带隙、高光吸收系数、优异的非线性光学特性以及良好的光电转换能力。GaSe 以其独特的层状结构(van der Waals layered structure)而闻名,适用于红外光电器件、二维材料研究、光学调制、非线性光学晶体及先进薄膜技术领域。

作为磁控溅射靶材,GaSe 能稳定沉积高致密度、成分均匀的 Ga–Se 薄膜,可用于构建高性能光电器件、多层异质结构薄膜以及新型二维材料体系。


产品详情(Detailed Description)

科跃材料提供的 GaSe 溅射靶材采用高纯镓与高纯硒,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压烧结(HP/HIP)及精密机械加工制备而成。此工艺确保靶材具有优良的化学均匀性、高致密度和稳定的溅射性能。

可选规格:

  • 纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)

  • 尺寸范围:直径 Ø25–300 mm;厚度 3–6 mm,可定制

  • 密度:≥ 95% 理论密度

  • 制造工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、精密研磨

  • 背板结合:铜(Cu)或钛(Ti)背板;可选择铟焊或扩散焊工艺

  • 形状支持:圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶等

靶材优势:

  • 层状材料稳定、溅射成分控制性好

  • 高纯度降低薄膜缺陷、提升光电性能

  • 致密度高,不易掉粉,膜层均匀性好

  • 溅射适用性广,兼容 RF 与 DC 工艺


应用领域(Applications)

GaSe 靶材常用于制备以下先进薄膜与器件:

  • 二维 GaSe 薄膜(2D Materials)

  • 非线性光学薄膜(NLO Films)

  • 光电探测器(Photodetectors)

  • 红外光学器件(IR Optoelectronics)

  • 光调制器、光电晶体管(Optoelectronic Transistors)

  • 范德华异质结构(vdW Heterostructures):如 GaSe/MoS₂、GaSe/WS₂

  • 功能半导体薄膜、光伏研究

GaSe 以其强非线性系数(第二谐波产生 SHG)被广泛用于光学芯片及量子通信器件研究。


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.999% 高纯度减少缺陷,提高光学透明性和电学性能
直径 Ø25–300 mm 适配大部分溅射设备
厚度 3–6 mm 决定溅射寿命与膜层稳定性
密度 ≥ 95% 理论密度 降低颗粒风险,提高薄膜致密性
背板结合 Cu / Ti / Indium bonding 增强散热能力、防止靶材开裂
制备工艺 CIP / HP / HIP / Solid-State Reaction 提高成分均匀性和微结构稳定性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
GaSe 强非线性光学特性、层状结构 NLO 器件、2D 材料
GaTe 更强光电响应 光电探测、红外薄膜
InSe 高载流子迁移率 光电晶体管、柔性电子
MoSe₂ 适用于 FET 与光伏器件 2D 半导体薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
GaSe 靶材适合 RF 还是 DC? 两者皆可,RF 适合对成分控制要求更高的应用。
能否用于二维材料研究? 可以,通过溅射 + 退火可获得高质量 GaSe 层状薄膜。
靶材是否易氧化? GaSe 稳定性较好,短时间暴露拍照无影响。
是否可提供定制尺寸? 可以,支持圆靶、矩形靶、阶梯靶等定制需求。
GaSe 薄膜是否需要退火? 多数光电应用中,通过退火可提高晶体质量。
背板是否必要? 大尺寸靶材建议加 Cu 背板提升散热。
是否支持小批量研发订单? 支持实验级、小批量及量产供应。
可否用于异质结构薄膜? 常与 MoS₂、WS₂ 等材料组合,用于构建光电器件。

包装与交付(Packaging)

每块 GaSe 溅射靶材均经过:

  • ICP 纯度测试

  • 密度与孔隙率检测

  • XRD 相组成验证

  • 尺寸与表面平整度检查

并以以下方式包装:

  • 真空密封袋

  • 防震缓冲材料

  • 出口级木箱

确保运输过程中的安全与洁净度。


结论(Conclusion)

硒化镓靶材(GaSe)凭借其强非线性光学特性、优异的光电性能以及稳定的层状结构,已成为光电器件、二维材料研究及非线性光学芯片的重要靶材之一。高纯度、高致密度的 GaSe 靶材可显著提升薄膜质量,是科研机构与高端制造的可靠选择。

如需了解更多技术规格或获取正式报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com