硒化铌靶材(NbSe)

硒化铌靶材(NbSe)

产品简介(Introduction)

硒化铌(NbSe)是一种具有层状晶体结构的过渡金属硒化物(TM Se 系列),兼具优异的电学性能、可调节带隙、强各向异性以及稳定的化学性质。NbSe 在二维材料研究、超导薄膜、电学存储、光电探测与半导体器件中具有重要地位,尤其在研究低维超导现象、范德华异质结构和新型量子材料领域应用广泛。

作为磁控溅射靶材,NbSe 可在 PVD 工艺中形成成分均匀、结构致密的 Nb–Se 薄膜;通过后处理还可获得 NbSe₂ 等高质量层状结构薄膜,适用于先进电子器件、光电器件和科研实验的薄膜制备。


产品详情(Detailed Description)

科跃材料提供的 NbSe 溅射靶材采用高纯铌与高纯硒原料,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压烧结(HP/HIP)及精密机械加工制备而成。靶材化学成分均匀、致密度高、溅射稳定性好。

规格可选:

  • 纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)

  • 尺寸范围:直径 Ø25–300 mm;厚度 3–6 mm;可完全按图纸定制

  • 密度:≥ 95% 理论密度,减少颗粒脱落、提升薄膜均匀性

  • 制造工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、高精度研磨

  • 背板选择:铜(Cu)、钛(Ti)背板;可提供铟焊或扩散焊

  • 形状:圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶等

靶材特点:

  • 高纯度、低氧含量,提升薄膜电学性能

  • 具有优良的热稳定性与化学稳定性

  • 可形成层状结构 NbSe₂ 薄膜,适用于 2D 材料研究

  • 溅射速率稳定,适用于科研和量产设备


应用领域(Applications)

NbSe 溅射靶材可用于制备以下类型的薄膜和器件:

  • 二维材料 NbSe₂ 薄膜(2D Materials)

  • 超导薄膜研究(Superconducting Films)

  • 光电探测器(Photodetectors)

  • 范德华异质结构(vdW Heterostructures)

  • 半导体功能薄膜

  • 非线性光学材料

  • 量子材料与量子器件研究

NbSe₂ 具有低维超导特性,是近年来量子材料与低温电子学研究的热点材料之一。


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.999% 高纯材料减少薄膜缺陷与杂质影响
直径 Ø25–300 mm 适配主流溅射腔体
厚度 3–6 mm 决定溅射效率与靶材寿命
密度 ≥ 95% 理论密度 提升薄膜的致密性与均匀性
背板 Cu / Ti / Indium bonding 改善散热能力与机械强度
制备工艺 CIP / HP / HIP / Solid-State Reaction 提升微结构均匀性与成膜一致性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
NbSe 稳定结构,可形成层状 NbSe₂ 超导薄膜、光电器件
NbSe₂ 低维超导材料、量子材料 量子器件、低温电子学
MoSe₂ 优良的光吸收性能 光电探测、FET
WS₂ 高迁移率与强光响应 2D 材料与光电应用

常见问题(FAQ)

问题 答案
NbSe 靶材适合 RF 还是 DC 溅射? 两者均可使用,RF 溅射更易控制成分。
能否用于二维 NbSe₂ 薄膜制备? 可以,通过溅射 + 退火可得到高质量层状结构薄膜。
靶材是否易氧化? NbSe 对氧敏感性中等,建议真空密封保存。
是否可以短时间暴露用于拍照? 可以,短时间暴露不会影响靶材性能。
可否提供定制尺寸? 是的,可按图纸定制圆靶、矩形靶或阶梯靶。
背板是否建议? 大尺寸靶材推荐使用 Cu 背板提升散热与稳定性。
薄膜是否需要退火? 多数 NbSe 系薄膜需退火以提升晶体结构与电性。
NbSe 是否适合做异质结构材料? 是,可与 MoS₂、WS₂ 等 2D 材料组合。
是否支持小批量科研订购? 支持,提供实验样品至批量生产供应。

包装与交付(Packaging)

所有 NbSe 溅射靶材出厂前均经过严格检测,包括:

  • ICP 纯度测试

  • 密度与孔隙率检测

  • 相组成分析(XRD)

  • 尺寸、平整度与外观检查

包装采用:

  • 真空密封袋

  • 防震泡沫

  • 出口级木箱

确保靶材在运输与储存中保持高度洁净和稳定。


结论(Conclusion)

硒化铌靶材(NbSe)以其优异的电学特性、层状结构和良好的薄膜沉积性能,在二维材料、超导薄膜、光电探测器和量子材料研究中发挥着越来越重要的作用。科跃材料提供高纯度、高致密度、可定制的 NbSe 靶材,是科研与产业客户的高可靠选择。

如需了解更多规格或获取报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com