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硒化铌(NbSe)是一种具有层状晶体结构的过渡金属硒化物(TM Se 系列),兼具优异的电学性能、可调节带隙、强各向异性以及稳定的化学性质。NbSe 在二维材料研究、超导薄膜、电学存储、光电探测与半导体器件中具有重要地位,尤其在研究低维超导现象、范德华异质结构和新型量子材料领域应用广泛。
作为磁控溅射靶材,NbSe 可在 PVD 工艺中形成成分均匀、结构致密的 Nb–Se 薄膜;通过后处理还可获得 NbSe₂ 等高质量层状结构薄膜,适用于先进电子器件、光电器件和科研实验的薄膜制备。
科跃材料提供的 NbSe 溅射靶材采用高纯铌与高纯硒原料,通过真空固相反应、冷等静压(CIP)、热压烧结(HP/HIP)及精密机械加工制备而成。靶材化学成分均匀、致密度高、溅射稳定性好。
规格可选:
纯度:99.9% – 99.999%(3N–5N)
尺寸范围:直径 Ø25–300 mm;厚度 3–6 mm;可完全按图纸定制
密度:≥ 95% 理论密度,减少颗粒脱落、提升薄膜均匀性
制造工艺:CIP、HP/HIP、真空固相反应、高精度研磨
背板选择:铜(Cu)、钛(Ti)背板;可提供铟焊或扩散焊
形状:圆靶、矩形靶、阶梯靶、多段靶等
靶材特点:
高纯度、低氧含量,提升薄膜电学性能
具有优良的热稳定性与化学稳定性
可形成层状结构 NbSe₂ 薄膜,适用于 2D 材料研究
溅射速率稳定,适用于科研和量产设备
NbSe 溅射靶材可用于制备以下类型的薄膜和器件:
二维材料 NbSe₂ 薄膜(2D Materials)
超导薄膜研究(Superconducting Films)
光电探测器(Photodetectors)
范德华异质结构(vdW Heterostructures)
半导体功能薄膜
非线性光学材料
量子材料与量子器件研究
NbSe₂ 具有低维超导特性,是近年来量子材料与低温电子学研究的热点材料之一。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.999% | 高纯材料减少薄膜缺陷与杂质影响 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配主流溅射腔体 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射效率与靶材寿命 |
| 密度 | ≥ 95% 理论密度 | 提升薄膜的致密性与均匀性 |
| 背板 | Cu / Ti / Indium bonding | 改善散热能力与机械强度 |
| 制备工艺 | CIP / HP / HIP / Solid-State Reaction | 提升微结构均匀性与成膜一致性 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| NbSe | 稳定结构,可形成层状 NbSe₂ | 超导薄膜、光电器件 |
| NbSe₂ | 低维超导材料、量子材料 | 量子器件、低温电子学 |
| MoSe₂ | 优良的光吸收性能 | 光电探测、FET |
| WS₂ | 高迁移率与强光响应 | 2D 材料与光电应用 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NbSe 靶材适合 RF 还是 DC 溅射? | 两者均可使用,RF 溅射更易控制成分。 |
| 能否用于二维 NbSe₂ 薄膜制备? | 可以,通过溅射 + 退火可得到高质量层状结构薄膜。 |
| 靶材是否易氧化? | NbSe 对氧敏感性中等,建议真空密封保存。 |
| 是否可以短时间暴露用于拍照? | 可以,短时间暴露不会影响靶材性能。 |
| 可否提供定制尺寸? | 是的,可按图纸定制圆靶、矩形靶或阶梯靶。 |
| 背板是否建议? | 大尺寸靶材推荐使用 Cu 背板提升散热与稳定性。 |
| 薄膜是否需要退火? | 多数 NbSe 系薄膜需退火以提升晶体结构与电性。 |
| NbSe 是否适合做异质结构材料? | 是,可与 MoS₂、WS₂ 等 2D 材料组合。 |
| 是否支持小批量科研订购? | 支持,提供实验样品至批量生产供应。 |
所有 NbSe 溅射靶材出厂前均经过严格检测,包括:
ICP 纯度测试
密度与孔隙率检测
相组成分析(XRD)
尺寸、平整度与外观检查
包装采用:
真空密封袋
防震泡沫
出口级木箱
确保靶材在运输与储存中保持高度洁净和稳定。
硒化铌靶材(NbSe)以其优异的电学特性、层状结构和良好的薄膜沉积性能,在二维材料、超导薄膜、光电探测器和量子材料研究中发挥着越来越重要的作用。科跃材料提供高纯度、高致密度、可定制的 NbSe 靶材,是科研与产业客户的高可靠选择。
如需了解更多规格或获取报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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