描述
砷化镉靶材(CdAs)
产品简介(Introduction)
砷化镉(CdAs)是一类由镉(Cd)与砷(As)构成的 II–V 族化合物材料,具有窄带隙半导体特性、优良的光吸收能力、较高的载流子迁移率以及良好的化学稳定性。Cd-As 系列材料在红外探测、光电转换、薄膜光子结构以及功能半导体研究中具有重要意义。
砷化镉靶材(CdAs Sputtering Target)适用于磁控溅射制备 CdAs 功能薄膜,可实现成分均匀、膜层致密、界面清洁的高性能薄膜制备,是科研机构、光电材料实验室及半导体企业的重要材料选择。
产品详情(Detailed Description)
CdAs 靶材通常采用以下制造工艺:
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Cd 与 As 元素直接合成(Sealed Ampoule Direct Synthesis)
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固相反应与稳定烧结(Solid-State Reaction)
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真空热压烧结(Vacuum Hot Pressing, HP)
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CIP 等静压成型 + 高温致密化工艺
典型产品参数:
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纯度:99.9%–99.999%(3N–5N)
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化学计量比:Cd:As = 1:1(可提供偏 As / 偏 Cd)
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外观:深灰—黑灰色陶瓷质外观
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致密度:≥95–98% 理论密度(TD)
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尺寸:直径 25–300 mm,矩形靶可定制
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厚度:3–6 mm
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背板结合(可选):Cu / Ti / Mo / Indium Bonding
材料特点:
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高纯低氧,适用于高端薄膜制备
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成分均匀性优良,溅射稳定
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界面平滑、颗粒率低
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可用于 UHV、MBE、RF Sputter 等多种系统
应用领域(Applications)
● 红外探测薄膜(Infrared Detection Films)
Cd-As 系列属于窄带隙 IR 半导体,可用于:
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SWIR / MWIR 方向的红外敏感薄膜
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红外增强吸收层
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光热响应材料
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热成像器件前置薄膜
可作为 InAs、CdTe 等材料的搭配层。
● 光电薄膜器件(Optoelectronic Devices)
CdAs 薄膜可用于:
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光电探测器
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光敏转换层
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薄膜光学结构
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多层光子器件叠层
其带隙可通过化学计量微调。
● 半导体功能薄膜(Semiconducting Functional Thin Films)
CdAs 适合作为:
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异质结调控层
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功能界面材料
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电子/光学性能调控薄膜
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非线性光学材料研究层
用于 III–V、II–VI 材料体系的创新结构。
● 量子材料(Quantum Materials)
由于特殊电子结构,CdAs 在以下方向具有潜力:
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新型窄带隙体系理论验证
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拓扑材料研究
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低维量子结构
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高迁移率薄膜器件原型设计
技术参数(Technical Parameters)
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 3N–5N | 高纯度减少杂质缺陷 |
| 化学成分 | CdAs(可偏 Cd / 偏 As) | 支持配比定制 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 高致密降低颗粒率 |
| 尺寸 | 25–300 mm | 通用溅射尺寸 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定靶寿命 |
| 背板结合 | Cu / Ti / Mo / In | 提升散热与稳定性 |
| 溅射方式 | RF / Pulsed DC | 化合物靶材推荐 RF |
| 制造工艺 | HP / CIP / Vacuum Sintering | 确保微结构均匀一致 |
相关材料对比(Comparison with Related Materials)
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| CdAs | 窄带隙、光吸收强 | 红外、光电薄膜 |
| CdTe | 光伏核心材料 | 光伏、光电探测 |
| InAs | 高迁移率、窄带隙 | 红外/量子器件 |
| CdSe | 半导体光电材料 | 加工性好、光学用途广 |
常见问题(FAQ)
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| CdAs 靶材适合哪些溅射方式? | RF、Pulsed DC,推荐 RF 保持成分稳定。 |
| 可否定制偏化学计量? | 支持偏 Cd 或偏 As 配比。 |
| CdAs 是否属于红外材料? | 是,适用于 SWIR / MWIR 应用。 |
| 是否可提供大尺寸靶材? | 最多可提供 12 英寸。 |
| 需要背板吗? | Cu/Ti 背板可显著减少热裂风险。 |
| 可否作为 PLD 靶材? | 可提供 PLD/MBE 专用 CdAs 靶材。 |
| CdAs 是否易氧化? | 比单质 Cd 稳定,但仍需真空密封保存。 |
包装与交付(Packaging)
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真空密封防氧化
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防静电双层包装
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多层缓冲防震
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出口标准木箱保护
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附带纯度/成分/XRD/密度等检测报告
确保靶材在运输与储存期间保持高洁净度。
结论(Conclusion)
砷化镉靶材(CdAs)凭借其窄带隙光电特性、高纯度、良好成膜性能及电子结构优势,是红外探测、光电研究、功能薄膜与量子材料研究中的关键材料。使用高致密、高纯靶材能显著提升薄膜质量,是科研与产业应用的理想选择。
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📩 sales@keyuematerials.com
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