氧化钛蒸发材料(TiO₂)

氧化钛蒸发材料(Titanium Dioxide Evaporation Material,TiO₂)是一种高折射率、优异化学稳定性与良好介电性能的功能氧化物蒸发材料,在光学镀膜、半导体器件、光电子与能源材料领域中被广泛采用。TiO₂ 薄膜以其出色的光学调控能力和长期稳定性,成为多层光学膜系与功能薄膜中的核心材料之一。

在真空蒸发与 PVD 工艺中,高纯 TiO₂ 能够实现稳定、可重复的沉积行为,适合对膜层致密度、折射率一致性及可靠性要求较高的应用场景。

产品详情(Detailed Description)

氧化钛蒸发材料选用高纯 TiO₂ 原料,经精确成形与高温烧结制备,确保材料致密、化学计量稳定,并适用于高真空与高能束流沉积环境。

  • 化学组成:TiO₂(常见晶型:金红石 / 锐钛矿)

  • 纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)

  • 材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸

  • 制造工艺:高纯粉体 → 成形 → 高温烧结

  • 表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发

高质量 TiO₂ 蒸发材料可有效:

  • 提升薄膜致密度与折射率一致性;

  • 改善膜层附着力与光学稳定性;

  • 降低蒸发过程中的成分与相态波动;

  • 延长蒸发源与设备使用寿命。

应用领域(Applications)

  • 光学镀膜:高折射率层、增透膜、反射膜

  • 半导体与电子器件:介电层、缓冲层、界面工程

  • 光电子与显示技术:功能光学与保护薄膜

  • 能源与环境材料:光催化与相关功能薄膜

  • 科研实验:薄膜结构、相变与光学性能研究

技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
化学组成 TiO₂ 决定光学与介电性能
纯度 99.9% – 99.99% 降低杂质吸收与缺陷
形态 块状 / 颗粒 / 定制 适配不同蒸发源
熔点 ~1843 °C 适合高温蒸发
适用工艺 电子束蒸发 / 高温热蒸发 光学薄膜常用
包装方式 真空密封 防止吸湿与污染

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
氧化钛(TiO₂) 高折射率 光学功能薄膜
氧化锆(ZrO₂) 高温稳定 光学与防护层
氧化钽(Ta₂O₅) 低吸收 高端光学膜系
氧化铝(Al₂O₃) 工艺成熟 通用保护涂层

常见问题(FAQ — 聚焦应用)

Q1:TiO₂ 蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:推荐电子束蒸发,也可在高温条件下进行热蒸发。

Q2:TiO₂ 薄膜的光学性能如何?
A:折射率高、吸收低,适合多层光学膜设计。

Q3:TiO₂ 薄膜是否耐高温?
A:是的,具有良好的热稳定性与化学惰性。

Q4:TiO₂ 是否容易产生氧亏缺?
A:在低氧条件下可能出现,建议优化氧分压与沉积参数。

Q5:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。

Q6:TiO₂ 与 Ta₂O₅ 相比如何选择?
A:TiO₂ 折射率更高,Ta₂O₅ 吸收更低,取决于膜系设计。

Q7:是否适合科研级应用?
A:非常适合,是光学薄膜研究的经典材料。

Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封保存,避免吸湿与污染。

Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。

Q10:可否提供不同晶型 TiO₂?
A:可提供金红石或锐钛矿型 TiO₂ 蒸发材料。

包装与交付(Packaging)

所有氧化钛蒸发材料(TiO₂)在出厂前均经过严格质量检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料洁净度与性能稳定。

结论(Conclusion)

氧化钛蒸发材料(TiO₂)凭借其高折射率、优异的化学稳定性与成熟的工艺适配性,在光学镀膜、半导体与功能薄膜领域中具有长期可靠的应用价值。对于追求高一致性、高性能与高可靠性的薄膜沉积需求,TiO₂ 是一种成熟、稳健且应用广泛的氧化物蒸发材料选择。

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