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氧化钛蒸发材料选用高纯 TiO₂ 原料,经精确成形与高温烧结制备,确保材料致密、化学计量稳定,并适用于高真空与高能束流沉积环境。
化学组成:TiO₂(常见晶型:金红石 / 锐钛矿)
纯度范围:99.9% – 99.99%(3N–4N)
材料形态:块状、颗粒状、定制尺寸
制造工艺:高纯粉体 → 成形 → 高温烧结
表面状态:致密、低吸附,适合高真空蒸发
高质量 TiO₂ 蒸发材料可有效:
提升薄膜致密度与折射率一致性;
改善膜层附着力与光学稳定性;
降低蒸发过程中的成分与相态波动;
延长蒸发源与设备使用寿命。
光学镀膜:高折射率层、增透膜、反射膜
半导体与电子器件:介电层、缓冲层、界面工程
光电子与显示技术:功能光学与保护薄膜
能源与环境材料:光催化与相关功能薄膜
科研实验:薄膜结构、相变与光学性能研究
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 化学组成 | TiO₂ | 决定光学与介电性能 |
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 降低杂质吸收与缺陷 |
| 形态 | 块状 / 颗粒 / 定制 | 适配不同蒸发源 |
| 熔点 | ~1843 °C | 适合高温蒸发 |
| 适用工艺 | 电子束蒸发 / 高温热蒸发 | 光学薄膜常用 |
| 包装方式 | 真空密封 | 防止吸湿与污染 |
| 材料 | 主要优势 | 典型应用 |
|---|---|---|
| 氧化钛(TiO₂) | 高折射率 | 光学功能薄膜 |
| 氧化锆(ZrO₂) | 高温稳定 | 光学与防护层 |
| 氧化钽(Ta₂O₅) | 低吸收 | 高端光学膜系 |
| 氧化铝(Al₂O₃) | 工艺成熟 | 通用保护涂层 |
Q1:TiO₂ 蒸发材料适合哪种蒸发方式?
A:推荐电子束蒸发,也可在高温条件下进行热蒸发。
Q2:TiO₂ 薄膜的光学性能如何?
A:折射率高、吸收低,适合多层光学膜设计。
Q3:TiO₂ 薄膜是否耐高温?
A:是的,具有良好的热稳定性与化学惰性。
Q4:TiO₂ 是否容易产生氧亏缺?
A:在低氧条件下可能出现,建议优化氧分压与沉积参数。
Q5:颗粒尺寸会影响蒸发稳定性吗?
A:会,均匀颗粒有助于稳定蒸发速率与膜厚控制。
Q6:TiO₂ 与 Ta₂O₅ 相比如何选择?
A:TiO₂ 折射率更高,Ta₂O₅ 吸收更低,取决于膜系设计。
Q7:是否适合科研级应用?
A:非常适合,是光学薄膜研究的经典材料。
Q8:材料如何储存?
A:建议真空密封保存,避免吸湿与污染。
Q9:是否支持定制规格?
A:支持,可根据蒸发设备与工艺需求定制。
Q10:可否提供不同晶型 TiO₂?
A:可提供金红石或锐钛矿型 TiO₂ 蒸发材料。
所有氧化钛蒸发材料(TiO₂)在出厂前均经过严格质量检测,并建立完整批次追溯体系。产品采用真空密封、防震缓冲及出口级包装,确保运输与储存过程中材料洁净度与性能稳定。
氧化钛蒸发材料(TiO₂)凭借其高折射率、优异的化学稳定性与成熟的工艺适配性,在光学镀膜、半导体与功能薄膜领域中具有长期可靠的应用价值。对于追求高一致性、高性能与高可靠性的薄膜沉积需求,TiO₂ 是一种成熟、稳健且应用广泛的氧化物蒸发材料选择。
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