钇铜靶材（YCu）

产品简介（Introduction）

钇铜靶材（YCu）由钇（Y）与铜（Cu）组成，是一种兼具稀土元素特性与高导电金属特性的功能型溅射靶材。
Y 元素可改善薄膜结构稳定性、提高附着力与抗氧化性，而 Cu 则提供优异导电性与导热能力。两者结合后的 YCu 薄膜在电学、光学和机械性能方面具有良好的综合表现，是先进电子器件、光电薄膜以及特殊功能材料研究中的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

YCu 靶材采用高纯钇、铜原料制备，经真空熔炼、粉末冶金（PM）、CIP、HIP 和精密机械加工生产，确保靶材性能稳定、成膜质量优良。

材料优势：

• 高纯度（≥99.9%）可减少薄膜缺陷

• 高致密度（≥97%），溅射颗粒率低

• 成分均匀，无偏析

• 界面结合能力强

• 良好的热稳定性与化学惰性

• 支持高功率磁控溅射

可定制成分：

• Y90Cu10

• Y80Cu20

• Y70Cu30

• 或根据膜层需求提供任意配比

可供规格：

• 直径：25–300 mm

• 厚度：3–6 mm

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶 / 方靶

• 背板结合：Cu / Ti / In 焊接

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 μm（可提供精抛版本）

应用领域（Applications）

1. 光电薄膜（Optoelectronic Films）

• 光电探测器结构层

• 透明导电薄膜（适合复合结构）

• 可调光学反射层

• 低应力光学界面膜

2. 半导体与微电子制造

• 功能导电层

• 过渡层 / 粘附层

• 微纳结构金属化层

• 先进封装中的界面改善材料

稀土钇的加入可改善铜的扩散问题，提高薄膜长期可靠性。

3. 功能涂层与材料研究

• 稀土金属掺杂研究

• 晶格调控与微结构优化

• 纳米功能材料开发

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. YCu 靶材适合什么溅射方式？
RF、DC 与磁控溅射均可。

2. 薄膜稳定性好吗？
钇的加入能显著提升 Cu 薄膜的高温与抗扩散性能。

3. 是否支持大尺寸靶材？
可提供 4″、6″、8″、12″ 圆靶与矩形靶。

4. 能否制作含钇较高的成分？
可以，最高可达 Y-rich 配比。

5. 是否能提供检测报告？
支持 ICP、XRF、密度、尺寸、表面粗糙度检测。

包装与交付（Packaging）

• 双层真空密封

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱/木箱

• 每件靶材附批次编号与检测标签

结论（Conclusion）

钇铜靶材（YCu）兼具稀土钇的结构调控能力与铜的优异导电性能，可用于光电、微电子、功能涂层与科研领域。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度的定制化 YCu 溅射靶材，适合科研与批量生产。