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镍铟靶材(NiIn)由镍(Ni)与铟(In)组成,是一种具有良好导电性、优异成膜附着性以及可调电学性能的功能性金属合金靶材。Ni 提供机械强度、磁性与化学稳定性,而 In 赋予低熔点、优良润湿性与良好导电性,使 NiIn 薄膜能在电子封装、接触层、电极层与功能叠层膜结构中发挥重要作用。
NiIn 特别适用于低温沉积工艺、界面润湿层、电极黏附层、缓冲层以及某些透明导电膜结构,是光电与微电子行业中新兴的多功能薄膜材料。
电学性能稳定
In 的加入使薄膜更具导电性,同时可根据比例调节电阻率。
优异的附着力
Ni 改善薄膜与玻璃、Si、陶瓷、金属等基底之间的界面结合。
极佳的润湿性(来自 In)
在多层薄膜中提升金属–基底界面质量。
机械性能良好
Ni 的存在提高膜层硬度与抗磨损性能。
沉积温度窗口大
可用于低至中温的磁控溅射工艺。
颗粒率低,薄膜均匀性优秀
适用于高平整度薄膜结构。
Ni80In20
Ni70In30
Ni60In40
Ni50In50(高润湿应用)
可按薄膜导电性、润湿性与磁性需求定制成分。
直径:25–200 mm
厚度:2–6 mm
纯度:99.9%–99.99%
形状:圆靶 / 方靶 / 大面积靶
背板:Cu / Ti / Mo / In bonding
表面粗糙度:Ra < 0.8 µm(可镜面级抛光)
NiIn 薄膜可用于:
金属电极结构
半导体接触层
互连电极
功能电学层
适合作为:
光电探测器金属层
透明导电膜叠层组分(如 ITO/Ag/NiIn 结构)
柔性光电薄膜中的中介层
用作:
金属润湿层
低温可焊性金属化层
扩散阻挡结构层
得益于镍成分,可用于:
磁性功能薄膜的界面层
多层磁性膜结构调控
软磁层过渡膜
广泛用于:
低温沉积机理研究
金属间薄膜结构开发
功能电学层性能调控实验
| 参数 | 典型值 / 范围 | 技术说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯材料保证薄膜性能稳定 |
| Ni/In 比例 | 可定制 | 调整电阻率、润湿性、磁性 |
| 致密度 | ≥97%–98% | 溅射过程更稳定,颗粒少 |
| 直径 | 25–200 mm | 适配常见镀膜腔体 |
| 厚度 | 2–6 mm | 主流靶材标准厚度 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 加强散热、提升使用寿命 |
| 粗糙度 | Ra < 0.8 µm | 保证膜层均匀性 |
| 材料 | 优势 | 应用场景 |
|---|---|---|
| NiIn | 润湿性强、电学可控、附着好 | 薄膜电极、中间层、封装 |
| NiCu | 高导电、成本较低 | 电极与磁性薄膜 |
| NiAg | 高导电、抗腐蚀 | 光电反射膜、电极 |
| InSn | 良好低温焊性 | 透明导电膜、封装 |
NiIn 薄膜的电阻率可以调节吗?
可以,通过改变合金比例实现不同电阻率。
NiIn 靶材是否适用于 RF 溅射?
是,适合 DC / RF / 磁控溅射。
是否适用于低温沉积?
In 的存在使 NiIn 非常适合低温工艺。
能否定制大面积靶材?
可提供 4″、6″、8″+ 的非标尺寸。
可提供成分分析报告吗?
可提供 ICP、XRF、SEM、密度、粗糙度等。
真空密封防氧化
防静电袋
泡棉缓冲防震
出口级包装箱
每块靶材附唯一批次号
镍铟靶材(NiIn)结合了 Ni 的机械强度与 In 的优良润湿与导电性能,是光电器件、电极薄膜、封装金属化层与功能性叠层膜结构中的重要选择。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、成分可调的 NiIn 靶材,适用于科研需求与量产业用途。
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