钒钛靶材（VTi）

产品简介（Introduction）

钒钛靶材（VTi）由钒（V）与钛（Ti）两种轻质难熔金属组成，是一种兼具高温稳定性、轻量化、耐腐蚀和优良机械性能的功能合金靶材。VTi 合金以其低密度、高强度、优异抗氧化能力与良好薄膜附着性，被广泛用于半导体工艺、高性能保护膜、光电功能膜以及先进结构薄膜制造。

钒提供良好的延展性与导电性，而钛提供高强度、耐腐蚀性与结构稳定性，使 VTi 靶材在金属工程膜与多层复合薄膜中具有不可替代的作用。

产品详情（Detailed Description）

钒钛靶材通常通过高纯钒、钛金属粉末经冷等静压（CIP）成型，并在真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）条件下烧结致密。材料结构均匀致密，颗粒率低，适合高功率磁控溅射。

典型规格与工艺：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 成分比例（Composition）：V50Ti50、V60Ti40、V70Ti30 等常见比例，可定制

• 直径（Diameter）：Ø25 – Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3 – 6 mm

• 致密度（Density）：≥95%–98% 理论密度（TD）

• 工艺路线（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：Cu / Ti 背板或铟焊（可选）

材料优势：

• 轻量化 + 高机械强度

• 抗氧化能力强，适用于反应性溅射

• 成膜均匀，颗粒率低

• 出色的粘附性与界面控制能力

• 高温工况下结构与电性稳定

应用领域（Applications）

钒钛靶材广泛应用于高端薄膜工程，包括：

1. 半导体薄膜（Semiconductor Thin Films）

• 缓冲层与过渡层

• 金属复合膜结构

• MEMS 金属层

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 抗反射膜

• 机械强化膜

• 光学保护层

3. 高温与耐腐蚀涂层（High-Temperature & Corrosion-Resistant Films）

适用于：

• 化工设备表面防护

• 高温组件

• 等离子环境薄膜

4. 功能性工程膜（Engineering Thin Films）

• 高韧性金属层

• 多层结构膜（如 Ti/V/Ti 三层复合）

• 摩擦学与耐磨薄膜

5. 材料科学研究（Research Applications）

• 新型轻量化结构材料

• 合金相稳定性研究

• 金属氧化物与氮化物薄膜基础结构层

兼容 DC/RF 磁控溅射、反应溅射（Ar/O₂/N₂）、共溅射 工艺。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂与防震泡沫保护

• 出口级硬箱 / 木箱包装

• 批次编号完整可追踪

确保靶材安全洁净抵达客户。

结论（Conclusion）

钒钛靶材（VTi）兼具轻质、高强度、耐腐蚀与良好成膜性能，是半导体、光电工程、高温薄膜及耐磨膜的重要材料之一。苏州科跃材料科技有限公司可提供不同配比、规格与背板结构的 VTi 靶材，以满足科研与产业客户的多样化需求。

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