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氧化钇稳定氧化锆（YSZ）衬底因其卓越的机械与化学稳定性而广泛应用于高温超导薄膜领域。YSZ 具备高硬度、高强度、优异韧性及耐磨性，在陶瓷、耐火材料、航空航天、电子及光学等行业中均有重要应用。其优异的物理化学性能使其成为能源存储、传感技术及其他先进薄膜应用的理想材料。
| 性能参数 | 数值 |
|---|---|
| 材料 | YSZ（氧化钇稳定氧化锆） |
| 晶体结构 | 立方晶系 |
| 晶格常数 (Å) | a = 5.147 |
| 生长方法 | 电弧熔炼法 |
| 莫氏硬度 | 8 – 8.5 |
| 熔点 | 2700℃ |
| 纯度 | 99.99% |
| 密度 (g/cm³) | 6.0 |
| 热膨胀系数 | 10.3 × 10⁻⁶ /℃ |
| 介电常数 | ε = 27 |
| 规格 | 参数 |
|---|---|
| 尺寸 | 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 1″、直径 2″ |
| 厚度 | 0.5 mm、1.0 mm |
| 抛光 | 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP) |
| 晶向 | <001> |
| 定向精度 | ±0.5° |
| 边缘倒角 | 2°（可选 1°） |
| 晶体角度 | 可按需提供特殊尺寸与晶向 |
| 表面粗糙度 (Ra) | ≤ 5 Å（5 μm × 5 μm） |
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