LSAT 衬底(镧锶铝钽氧化物)

苏州科跃 LSAT 衬底(镧锶铝钽氧化物)

LSAT(Lanthanum Strontium Aluminum Tantalum Oxide,镧锶铝钽氧化物)衬底以其独特的晶体结构和优异的热稳定性而闻名,广泛应用于高性能电子器件的薄膜沉积。LSAT 晶体在温度变化下无相变特性,非常适合高温超导薄膜及其他先进材料的制备。其晶格结构与 YBCO 相似,但热膨胀系数更低,在较低温度下进行薄膜沉积时可有效降低热应力。

LSAT 衬底主要物理性能

性能参数 数值
材料 (La, Sr)(Al, Ta)O₃ (LSAT)
晶体结构 立方晶系
晶格常数 (Å) a = 3.868
生长方法 提拉法(Czochralski)
莫氏硬度 6.5
熔点 1840℃
密度 (g/cm³) 6.74
热膨胀系数 10 × 10⁻⁶ /℃
介电常数 ε = 22
外观 无色至浅棕色(取决于退火条件)

LSAT 衬底规格

规格 参数
尺寸 10 × 3 mm、10 × 5 mm、10 × 10 mm、15 × 15 mm、20 × 20 mm、直径 15 mm、直径 20 mm、直径 1″、直径 2″
厚度 0.5 mm、1.0 mm
抛光 单面抛光 (SSP) 或双面抛光 (DSP)
晶向 <100>、<110>、<111>
定向精度 ±0.5°
边缘倒角 2°(可选 1°)
晶体角度 可按需提供特殊尺寸与晶向
表面粗糙度 (Ra) ≤ 5 Å(5 μm × 5 μm)

包装细节

苏州科跃在 Class 100 洁净袋或晶圆盒中封装 LSAT 衬底,并在 Class 1000 洁净室内完成包装,确保产品在运输与存储中的洁净度与完整性。

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