磷化镓晶圆

产品简介(Introduction)

磷化镓晶圆(GaP)是一种重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,具有约 2.26 eV 的宽带隙特性和良好的热稳定性,在光电子器件、LED 发光结构及外延衬底领域具有广泛应用。其晶体结构稳定、机械强度较高,相较于部分Ⅲ-Ⅴ材料更易加工与处理。

GaP 兼具优良的光学透明性与电学可调性,适用于外延生长、高精度薄膜沉积及微纳加工工艺,是科研与产业化制造中常用的功能性半导体衬底材料。


产品详情(Detailed Description)

材料特性

  • 材料类型:Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体

  • 晶体结构:闪锌矿结构

  • 带隙:约 2.26 eV(室温,间接带隙)

  • 颜色:橙红至深绿色透明晶体

常规规格

  • 直径:2″ / 3″ / 4″(可定制)

  • 厚度:350 – 600 µm

  • 取向:<100> / <111>

  • 掺杂类型:N 型(Si / S)或 P 型(Zn)

  • 电阻率:按掺杂浓度定制

  • 表面状态:单面抛光(SSP)/ 双面抛光(DSP)

制造工艺

  • 晶体生长:LEC 或 VGF 方法

  • 表面处理:化学机械抛光(CMP)

  • 表面粗糙度:Ra < 1 nm(DSP 级)

性能优势

  • 高晶体完整性,有利于高质量外延沉积

  • 热稳定性良好,适配高温 MOCVD / MBE 工艺

  • 低缺陷密度,提升器件良率

  • 优良的光学与电学可调性


应用领域(Applications)

1. LED 与发光器件

  • 绿光 LED

  • 橙光 LED

  • 指示与显示光源

GaP 早期广泛用于可见光 LED 结构,目前仍在特定波段器件中发挥作用。

2. 外延衬底

  • InGaP 外延

  • GaAsP 外延

  • 多结太阳能电池外延结构

其晶格匹配优势使其成为多层结构生长的理想衬底。

3. 光电子器件

  • 光电探测器

  • 波导结构

  • 光学集成芯片

4. 半导体研究与功能薄膜沉积

  • 电极层沉积基底

  • 光学功能层沉积

  • 高精度微纳加工研究


技术参数(Technical Parameters)

参数 典型值 / 范围 重要性说明
直径 2″ – 4″ 适配主流外延设备
厚度 350 – 600 µm 提供机械稳定性
表面粗糙度 Ra < 1 nm 提升外延质量
掺杂类型 N 型 / P 型 控制导电性能
位错密度 <10⁴ cm⁻² 降低器件缺陷率

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 主要优势 典型应用
磷化镓(GaP) 宽带隙、热稳定性好 LED、光电器件
砷化镓(GaAs) 直接带隙、高迁移率 激光器、高速器件
磷化铟(InP) 光通信优势明显 光纤通信器件

常见问题(FAQ)

1. 磷化镓是否为直接带隙材料?
GaP 为间接带隙材料,但通过合金调控可优化发光性能。

2. 是否适合 MOCVD 外延生长?
是的,DSP 级表面适合高质量外延沉积。

3. 可以定制掺杂类型与浓度吗?
可根据器件需求进行定制。

4. 是否支持双面抛光?
支持 SSP 与 DSP 两种表面规格。

5. 适用于高温工艺吗?
GaP 具有良好的热稳定性,适配高温工艺环境。

6. 是否提供小尺寸切割样品?
支持科研级定制切片。

7. 表面是否提供清洗处理?
可提供超声清洗与洁净包装。

8. 可否提供电学与表面检测报告?
可提供电阻率、厚度及表面质量检测数据。

9. 是否兼容硅基外延结构?
可用于特定异质外延研究。

10. 运输如何保证安全?
采用洁净晶圆盒及真空封装,防震保护。


包装与交付(Packaging)

所有磷化镓晶圆在出厂前均经过厚度、电阻率及外观检测,并附带唯一追溯编号。采用洁净晶圆盒、真空密封及出口级防震包装,确保运输过程中的完整性与洁净度。


结论(Conclusion)

磷化镓晶圆凭借其稳定的晶体结构、优良的热学与光学性能,在 LED、光电子与外延衬底领域发挥重要作用。其高质量抛光表面与低缺陷密度,为高端器件制造与科研实验提供可靠基础材料。

如需了解更多技术参数或获取报价,请联系:
sales@keyuematerials.com