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镨铈靶材(PrCe)由镨(Pr)与铈(Ce)两种轻稀土元素组成,是一种具有优异光学、电学和化学稳定性的多元稀土金属靶材。由于 Pr 和 Ce 均具有独特的氧化还原特性、能量跃迁行为与高化学活性,其形成的 PrCe 合金靶材在光学镀膜、催化薄膜、功能氧化物研究、传感器材料以及稀土薄膜工程中具有重要价值。
稀土元素之间的固溶结构使 PrCe 具有良好的加工性、较高的稳定性与溅射均匀性,是科研机构与薄膜材料研发中常见的复合稀土靶材之一。
稀土光学特性突出
Pr 和 Ce 均具独特的光谱吸收/发射行为,可用于调控薄膜光学常数。
溅射稳定性好、低颗粒
稀土金属的固溶结构改善粉化问题,使薄膜更致密均匀。
氧化物兼容性强
PrCe 在氧分压条件下可稳定形成功能氧化物薄膜。
电学性能可调
可用于多层结构中电学特性调控。
适合 DC / RF / 磁控溅射
Pr70Ce30
Pr60Ce40
Pr50Ce50
可根据光学、催化、电学应用方向定制比例。
直径:25–200 mm
厚度:2–6 mm
纯度:99.9%(3N)–99.99%(4N)
形状:圆靶 / 方靶 / 特殊形状可定制
背板结合:Cu / Ti / Mo / In bonding
表面粗糙度:Ra < 0.8 µm(可做抛光处理)
Pr 和 Ce 具有独特光学吸收特性,可用于:
光学窗口膜
滤光膜
功能干涉膜
光谱调控薄膜
PrCe 可用于制备:
稀土氧化物功能薄膜
催化活性薄膜
高介电常数氧化物
多层结构界面层
气体传感层(如氧传感)
多层电极结构
薄膜电阻与介质调控
PrCe 常用于:
稀土能带结构研究
氧化还原行为调控
稀土薄膜稳定性研究
光、电、催化多功能材料开发
| 参数 | 范围 / 典型值 | 技术说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯度减少薄膜缺陷 |
| 成分比例 | 可定制 | 影响薄膜光学、电学行为 |
| 致密度 | ≥97% | 提高溅射稳定性 |
| 直径 | 25–200 mm | 兼容各类溅射腔体 |
| 厚度 | 2–6 mm | 支持常规厚度需求 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 增强散热与结构强度 |
| 粗糙度 | Ra < 0.8 µm | 保证薄膜均匀性 |
| 材料 | 特点 | 常见应用 |
|---|---|---|
| PrCe | 稀土光学特性强、氧化物兼容性好 | 光学膜、功能薄膜 |
| PrOₓ | 高稳定氧化物 | 催化、传感与光学 |
| CeO₂ | 氧存储能力强 | 催化、透明陶瓷 |
| NdCe | 稀土复合电学特性 | 功能薄膜研究 |
1. PrCe 是否容易氧化?
是稀土材料,但靶材已真空包装;薄膜可在受控氧分压条件下稳定生成所需结构。
2. 是否支持大尺寸溅射靶材?
可提供 4″、6″、8″+。
3. 成分比例是否可定制?
完全可以,根据光学、电学或催化需求调整。
4. 是否适用于 RF 溅射?
适用,稀土材料通常推荐 RF。
5. 是否提供 XRF / ICP 成分报告?
可提供全套分析报告。
真空密封
防静电袋保护
防震泡棉固定
出口级木箱/纸箱
唯一批次编号可追溯
镨铈靶材(PrCe)是一种兼具光学、电学与化学特性优势的稀土合金靶材,在光学薄膜、催化结构、氧化物电子学以及科研薄膜材料开发中具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制成分的 PrCe 靶材,适用于科研实验与工业薄膜生产。
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