镧靶材(La)

镧靶材(La Sputtering Target)

产品简介

镧(Lanthanum, La)是一种银白色稀土金属,具有优良的延展性、电导性及化学活性。作为稀土元素族中的重要成员,镧靶材在电子、光电、能源与催化等领域具有广泛应用。其制备的薄膜常用于高介电常数材料、掺杂氧化物、透明导电膜和储能器件中,是高性能薄膜制备中不可或缺的稀土金属靶材之一。

产品详情

苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度镧靶材(纯度99.9%–99.99%),采用真空熔炼与热等静压(HIP)工艺制造,组织致密、晶粒细小、杂质含量低。
靶材可提供圆形、矩形及异形规格,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
根据客户需求,可提供铜(Cu)、钛(Ti)或铟焊(In Bonded)背板结合,以提高散热与机械稳定性。

技术特点

  • 高纯度(3N–4N),减少薄膜缺陷与杂质污染;

  • 致密均匀结构,溅射速率与膜层厚度稳定;

  • 优异的导电性与热稳定性;

  • 可用于复合靶设计(La-Sr、La-Al、La-Ni等);

  • 支持多种规格定制。

应用领域

  • 半导体与电子器件:用于高介电常数膜(La₂O₃)、电极层与阻挡层;

  • 光学镀膜:用于光学滤光膜与高折射率膜层;

  • 能源材料:用于燃料电池电极与储能薄膜;

  • 稀土功能膜:用于LaAlO₃、LaNiO₃、LaMnO₃等功能氧化物薄膜制备;

  • 科研实验:用于稀土掺杂薄膜与高介电材料研究。

技术参数

参数 典型值 / 范围 重要性说明
纯度 99.9% – 99.99% 高纯度减少薄膜杂质与缺陷
直径 25 – 300 mm(可定制) 适配主流溅射设备
厚度 3 – 6 mm 影响膜层沉积速率与均匀性
密度 ≥ 6.15 g/cm³ 致密性高,溅射稳定性好
背板结合 Cu / Ti / In 焊 提升散热与机械强度
制备工艺 真空熔炼 + HIP 组织均匀、性能稳定、寿命长

常见问题(FAQ)

问题 答案
镧靶材可用于哪些溅射系统? 可用于直流与射频磁控溅射系统。
镧靶材沉积的薄膜性能如何? 具有高介电常数、良好光学透明性与稳定性。
是否可与其他材料共溅射? 可以,与Sr、Mn、Ni、Al等共溅射制备功能氧化膜。
是否易氧化? 镧易氧化,应在真空或惰性气氛中储存与使用。
是否支持背板焊接? 可提供Cu、Ti或In焊结合以提升散热性能。
是否适用于光电与能源领域? 是的,常用于LaNiO₃、LaAlO₃及燃料电池薄膜。
可否定制规格? 可提供Ø25–Ø300 mm及矩形靶材。
包装方式? 采用真空密封、防震、防潮包装,确保洁净运输。

结论

镧靶材凭借其优异的稀土电学与光学特性,在高介电常数材料、功能氧化物及能源薄膜领域中占据重要地位。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度、高致密度镧靶材及背板焊接服务,确保薄膜制备的稳定性与高性能表现,广泛应用于科研与高端制造。

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📧 sales@keyuematerials.com