镧锶靶材（LaSr）

产品简介（Introduction）

镧锶靶材（LaSr）由镧（La）和锶（Sr）两种稀土元素组成，是制备钙钛矿结构薄膜、功能氧化物材料、高介电薄膜、光电薄膜以及多层异质结结构的重要前驱金属化靶材。La 与 Sr 作为 ABO₃ 型钙钛矿结构的典型 A 位元素，具备优异的电学调控能力、能带调控能力与化学稳定性，使 LaSr 在科研和电子材料开发领域具有广泛需求。

LaSr 靶材常用于沉积 La₁₋ₓSrₓBO₃ 系材料（如 LSMO、LSCO 等），是氧化物电子学、磁性薄膜和导电氧化物的关键基础材料之一。

产品详情（Detailed Description）

材料优势

• 钙钛矿结构兼容性强
  La 与 Sr 能稳定构筑 ABO₃ 结构，是多种功能氧化物薄膜的基础。

• 电学与能带可调性高
  Sr 掺杂可控制薄膜导电性、载流子浓度与能带结构。

• 薄膜溅射稳定性好
  高致密度靶材减少颗粒，并提高膜层均匀性。

• 适合氧化气氛沉积
  可在 Ar/O₂ 复合气氛中稳定形成 La–Sr–O 功能薄膜。

• 支持 DC、RF、磁控溅射

常见成分（可定制）

• La70Sr30

• La60Sr40

• La50Sr50

也可根据目标氧化物结构（如 La₁₋ₓSrₓMnO₃、La₁₋ₓSrₓCoO₃ 等）定制比例。

可供规格

• 直径：25–200 mm

• 厚度：2–6 mm

• 纯度：99.9%–99.99%

• 形状：圆靶 / 方靶 / 矩形靶

• 背板：Cu / Ti / Mo / In bonding

• 表面粗糙度：Ra < 0.8 µm（可镜面抛光）

应用领域（Applications）

1. 钙钛矿结构薄膜（Perovskite Oxides）

LaSr 是制备多种钙钛矿氧化物的基础靶材，如：

• La₁₋ₓSrₓMnO₃ (LSMO)

• La₁₋ₓSrₓCoO₃ (LSCO)

• La₁₋ₓSrₓCrO₃
  用于磁性薄膜、导电薄膜、电极层和光电结构。

2. 导电氧化物薄膜（Conductive Oxides）

La–Sr 系材料具备可调导电性，应用于：

• 氧化物电极层

• 功能电极

• 高温导电薄膜

• 电阻调控材料

3. 介电与铁电材料（Dielectric & Ferroelectric Films）

可用于：

• 高介电常数薄膜

• 铁电层衬底或缓冲层

• 多层介电结构

4. 光电材料（Optoelectronic Materials）

适用于：

• 光学调控薄膜

• 层状光电结构

• 多层光电异质结

• 智能氧化物薄膜

5. 传感器材料（Sensors）

LaSr 可构成：

• 气体传感层

• 热敏材料

• 电阻感测薄膜

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. LaSr 是否容易氧化？
   属于稀土材料，易与空气反应，因此靶材采用真空密封保护。

2. 是否适用于 RF 溅射？
   是，稀土材料一般推荐 RF 或磁控溅射。

3. 能否定制成分比例？
   完全可按目标薄膜体系（如 LSMO）定制。

4. LaSr 是否适用于氧化物薄膜沉积？
   非常适合，可在氧分压控制下形成稳定 La–Sr–O 薄膜。

5. 是否可提供成分分析？
   支持 ICP、XRF、密度、粗糙度等完整报告。

包装与交付（Packaging）

• 真空密封 + 防静电袋

• 防震泡棉保护

• 出口级纸箱/木箱

• 附唯一批号及检测报告

结论（Conclusion）

镧锶靶材（LaSr）是钙钛矿功能氧化物材料研究与电子薄膜制备中的核心稀土靶材之一，适用于能源、光电、传感器和高介电材料的开发。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、成分可定制的 LaSr 靶材，满足科研级薄膜沉积与工业化溅射需求。