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镍镓靶材(NiGa)是一种由镍(Ni)与镓(Ga)组成的金属间化合物靶材,兼具镍的机械强度与镓的独特金属特性,在电子薄膜、功能材料、金属阻挡层及高温结构膜中表现优异。NiGa 合金薄膜具有稳定的电学性能、良好的耐腐蚀性以及较高的热稳定性,是新型电子器件与功能薄膜研究中的重要材料。
NiGa 在磁性薄膜、金属功能层及薄膜合金设计中具有可调性能,被广泛用于科研与工业薄膜制备领域。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯镍与镓原料,通过粉末冶金、CIP 成型、真空热压(HP)与 HIP 致密化工艺制备高致密 NiGa 靶材。靶材成分均匀、纯度高、溅射稳定性佳。
纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)
成分配比:Ni50Ga50、Ni60Ga40(支持定制任意比例)
尺寸范围:Ø25–Ø300 mm,可制备矩形靶
厚度:3–6 mm
密度:≥ 97–99% 理论密度(T.D.)
制造工艺:粉末冶金 + CIP + HP/HIP
背板(Bonding):Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊(In Bonding)
高致密度、薄膜一致性好
成分稳定,不易偏析
良好导电性与结构稳定性
可用于功能合金薄膜设计
适用于高温薄膜沉积与复杂结构涂层
镍镓靶材常用于电子器件、磁性薄膜及复合功能材料制备:
金属功能薄膜(Metallic Functional Films)
阻挡层(Barrier Layers)
电极金属层(Electrode Layers)
磁性薄膜、多层结构膜
微电子互连材料
材料研究与复合金属薄膜开发
NiGa 在设计可控磁性与功能性薄膜方面具有较高价值。
| 参数 | 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 成分比例 | NiGa(可定制) | 调控电学/磁性性能 |
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 高纯薄膜稳定性更好 |
| 致密度 | ≥97–99% T.D. | 提高成膜致密度 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 支持科研与量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按寿命需求定制 |
| 背板 | Cu/Ti/Mo/In | 增强散热和机械强度 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| NiGa | 稳定性高、功能性可调 | 电子薄膜、磁性结构层 |
| NiAl | 高温性能稳定 | 耐磨膜、结构膜 |
| NiMnGa | 具有磁致伸缩效应 | 智能材料薄膜 |
| NiCr | 耐腐蚀、可控电阻 | 电阻膜、加热膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiGa 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、DC、脉冲溅射均可。 |
| Ni:Ga 比例能否定制? | 可以按应用需求定制。 |
| NiGa 薄膜呈现什么颜色? | 通常呈银灰色或深灰金属色。 |
| 是否提供背板? | 可提供 Cu/Ti/Mo 背板与铟焊。 |
| 是否附 COA? | 每批提供纯度、密度、外观等检测报告。 |
靶材真空密封
防震保护泡棉
出口级木箱
附唯一批号与 COA 检测报告
镍镓靶材(NiGa)以其稳定的电学性能、可调结构特性和良好的薄膜成形能力,在电子薄膜、磁性结构和功能材料研究中具有重要价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密、可定制规格的 NiGa 靶材,适用于先进薄膜制备需求。
如需报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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