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镍铬靶材(NiCr)由镍(Ni)与铬(Cr)合成,是一种在电子、电阻薄膜、光学镀膜及高温保护层中广泛应用的功能合金靶材。Ni 提供优异的延展性、导电性与耐腐蚀性,而 Cr 赋予材料高温稳定性、耐氧化性与结构强度,使 NiCr 薄膜在高温、高应力以及腐蚀性环境中仍能保持长期稳定。
NiCr 靶材最常见的工业级配比为 Ni80Cr20,也称为“镍铬电阻合金靶材”,是电阻薄膜与加热膜制备中的标准材料。
NiCr 靶材采用高纯 Ni、Cr 金属粉,通过混料、冷等静压(CIP)成形,再经真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺实现高致密度(≥95–98% TD)。靶材微结构均匀、力学性能稳定、颗粒率低,可适应高功率 DC/RF 磁控溅射。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
常用成分比例(Composition):
Ni80Cr20(行业通用电阻膜标准)
Ni60Cr40
Ni90Cr10(可定制)
直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm
密度(Density):≥95–98% 理论密度
制造工艺(Process):CIP + 真空烧结 / HIP
背板(Bonding):Ti / Cu 背板、铟焊(In Bonding)
稳定电阻率、温度系数(TCR)可控
高温耐腐蚀性强
成膜平滑、结构致密、颗粒率低
可用于多种基底(金属、陶瓷、玻璃)
适用于 DC / RF / 共溅射
NiCr 靶材在电子、电阻膜、高温保护层等领域具有广泛应用。
加热元件
精密电阻器
可调电阻薄膜
厚膜/薄膜电阻网络
Ni80Cr20 是全球最常见的电阻薄膜材料。
粘附层
屏蔽层
界面层(NiCr/Cr 打底层)
导电结构膜
红外吸收层
金属反射膜
结构增强层
NiCr 可作为多层膜系中的关键过渡层,提高膜系附着力与稳定性。
防氧化保护膜
高温耐蚀膜
工程结构膜
用于:
NiCr 电阻行为研究
NiCr 氧化物/氮化物功能膜
电子与光学多层膜结构设计
| 参数 | 范围 / 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 提升电阻膜稳定性 |
| 成分比例 | Ni/Cr 可定制 | 决定 TCR、电阻率等性能 |
| 密度 | ≥95–98% TD | 膜层均匀性、低颗粒率 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响靶材寿命与沉积速率 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 适配主流溅射系统 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 保障散热与结构平整度 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NiCr | 稳定电阻率、耐高温 | 电阻薄膜、加热元件、光学膜 |
| Cr | 超耐腐蚀、强附着性 | 粘附层、耐蚀膜 |
| Ni | 良好延展性、导电性 | 电极层、金属过渡层 |
| NiFe | 软磁材料 | 磁电子薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiCr 最常见比例是什么? | Ni80Cr20 是全球标准。 |
| NiCr 薄膜电阻是否稳定? | 非常稳定,常用于精密电阻薄膜。 |
| 是否可用于加热元件? | 是,NiCr 是加热膜的核心材料之一。 |
| 大尺寸靶材需要背板吗? | 建议使用 Ti 或 Cu 背板提高散热能力。 |
| NiCr 可用于反应性溅射吗? | 可形成 NiCrOx / NiCrNx 功能膜层。 |
真空密封
防震泡棉
加厚外箱或木箱
内附批号和检测记录
适用于国际运输
镍铬靶材(NiCr)以其稳定电阻率、优良耐高温抗腐蚀性及成膜一致性,在电子、电阻薄膜与光学膜领域具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供不同 Ni/Cr 比例、多种尺寸与背板配置的 NiCr 靶材,为科研和量产客户提供高质量薄膜材料解决方案。
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