镍铬靶材(NiCr)

镍铬靶材(NiCr)

产品简介(Introduction)

镍铬靶材(NiCr)由镍(Ni)与铬(Cr)合成,是一种在电子、电阻薄膜、光学镀膜及高温保护层中广泛应用的功能合金靶材。Ni 提供优异的延展性、导电性与耐腐蚀性,而 Cr 赋予材料高温稳定性、耐氧化性与结构强度,使 NiCr 薄膜在高温、高应力以及腐蚀性环境中仍能保持长期稳定。

NiCr 靶材最常见的工业级配比为 Ni80Cr20,也称为“镍铬电阻合金靶材”,是电阻薄膜与加热膜制备中的标准材料。


产品详情(Detailed Description)

NiCr 靶材采用高纯 Ni、Cr 金属粉,通过混料、冷等静压(CIP)成形,再经真空烧结(Vacuum Sintering)或热等静压(HIP)工艺实现高致密度(≥95–98% TD)。靶材微结构均匀、力学性能稳定、颗粒率低,可适应高功率 DC/RF 磁控溅射。

典型材料参数:

  • 纯度(Purity):99.9%–99.99%

  • 常用成分比例(Composition)

    • Ni80Cr20(行业通用电阻膜标准)

    • Ni60Cr40

    • Ni90Cr10(可定制)

  • 直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm

  • 厚度(Thickness):3–6 mm

  • 密度(Density):≥95–98% 理论密度

  • 制造工艺(Process):CIP + 真空烧结 / HIP

  • 背板(Bonding):Ti / Cu 背板、铟焊(In Bonding)

材料特点:

  • 稳定电阻率、温度系数(TCR)可控

  • 高温耐腐蚀性强

  • 成膜平滑、结构致密、颗粒率低

  • 可用于多种基底(金属、陶瓷、玻璃)

  • 适用于 DC / RF / 共溅射


应用领域(Applications)

NiCr 靶材在电子、电阻膜、高温保护层等领域具有广泛应用。

1. 电阻薄膜(Resistive Thin Films)

  • 加热元件

  • 精密电阻器

  • 可调电阻薄膜

  • 厚膜/薄膜电阻网络

Ni80Cr20 是全球最常见的电阻薄膜材料。


2. 半导体与电子封装(Semiconductors & Packaging)

  • 粘附层

  • 屏蔽层

  • 界面层(NiCr/Cr 打底层)

  • 导电结构膜


3. 光学镀膜(Optical Coatings)

  • 红外吸收层

  • 金属反射膜

  • 结构增强层

NiCr 可作为多层膜系中的关键过渡层,提高膜系附着力与稳定性。


4. 耐腐蚀与耐热薄膜(Protective Coatings)

  • 防氧化保护膜

  • 高温耐蚀膜

  • 工程结构膜


5. 科研材料开发(Research Applications)

用于:

  • NiCr 电阻行为研究

  • NiCr 氧化物/氮化物功能膜

  • 电子与光学多层膜结构设计


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 数值 说明
纯度 99.9–99.99% 提升电阻膜稳定性
成分比例 Ni/Cr 可定制 决定 TCR、电阻率等性能
密度 ≥95–98% TD 膜层均匀性、低颗粒率
厚度 3–6 mm 影响靶材寿命与沉积速率
直径 Ø25–300 mm 适配主流溅射系统
背板 Cu / Ti / In 保障散热与结构平整度

材料对比(Comparison)

材料 特性 应用
NiCr 稳定电阻率、耐高温 电阻薄膜、加热元件、光学膜
Cr 超耐腐蚀、强附着性 粘附层、耐蚀膜
Ni 良好延展性、导电性 电极层、金属过渡层
NiFe 软磁材料 磁电子薄膜

常见问题(FAQ)

问题 答案
NiCr 最常见比例是什么? Ni80Cr20 是全球标准。
NiCr 薄膜电阻是否稳定? 非常稳定,常用于精密电阻薄膜。
是否可用于加热元件? 是,NiCr 是加热膜的核心材料之一。
大尺寸靶材需要背板吗? 建议使用 Ti 或 Cu 背板提高散热能力。
NiCr 可用于反应性溅射吗? 可形成 NiCrOx / NiCrNx 功能膜层。

包装(Packaging)

  • 真空密封

  • 防震泡棉

  • 加厚外箱或木箱

  • 内附批号和检测记录

  • 适用于国际运输


结论(Conclusion)

镍铬靶材(NiCr)以其稳定电阻率、优良耐高温抗腐蚀性及成膜一致性,在电子、电阻薄膜与光学膜领域具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司可提供不同 Ni/Cr 比例、多种尺寸与背板配置的 NiCr 靶材,为科研和量产客户提供高质量薄膜材料解决方案。

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📩 sales@keyuematerials.com