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镍铜靶材(NiCu)由镍(Ni)与铜(Cu)组成,是一种具备高导电性、优异耐腐蚀性、稳定磁性与良好延展性的金属合金靶材。Ni 提供结构稳定性与耐腐蚀性,而 Cu 提供优异导电性与热导率,使 NiCu 薄膜在电极层、磁性薄膜、结构过渡层和光学金属层中表现出色。
NiCu 合金在薄膜中呈稳定固溶体结构,具有一致性好、成膜平整、应力低等特性,被广泛用于电子、通信、光学及科学研究领域。
NiCu 靶材以高纯镍粉与铜粉为基础,通过冷等静压(CIP)压制成形,并采用真空烧结(Vacuum Sintering)或者热等静压(HIP)工艺提升材料致密度。NiCu 靶材具有机械稳定性强、均匀性好、低颗粒率等特点,适用于高功率 DC/RF 磁控溅射。
纯度(Purity):99.9%–99.99%
常见成分比例(Composition):
Ni90Cu10
Ni80Cu20
Ni70Cu30
Ni60Cu40
(可根据客户实际需求定制 Ni/Cu 比例)
直径(Diameter):Ø25–Ø300 mm
厚度(Thickness):3–6 mm
致密度(Density):≥95–98% TD
制造工艺(Process):CIP + 真空烧结 / HIP
背板(Bonding):可提供 Cu / Ti 背板或铟焊(In Bonding)
导电性高、热导率好
良好的延展性,不易开裂
成膜均匀,颗粒率低
优异的耐腐蚀性
膜层应力低、附着力强
可用于反应性溅射(氧化、氮化 NiCu 薄膜)
NiCu 靶材因其电学、磁学、机械特性兼优,是众多应用中的核心材料。
粘附层 / 衬底过渡层
导电金属层
金属化工艺的中间层
屏蔽层与抗蚀结构层
磁性调节层
MRAM 结构
磁记录材料
自旋电子相关薄膜
NiCu 能有效调控磁性薄膜的磁化强度与交换作用。
多层反射膜
金属基础层
光学保护层
耐湿、耐盐雾结构膜
金属设备表面保护层
化工环境结构膜
金属固溶体合金研究
Ni-Cu 氧化物 / 氮化物功能膜
多层金属结构膜设计
兼容 DC/RF 磁控溅射、反应性溅射、共溅射 工艺。
| 参数 | 数值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9–99.99% | 高纯度提升薄膜电学与结构稳定性 |
| 成分比例 | Ni/Cu 可定制 | 调整电导率、磁性、硬度 |
| 致密度 | ≥95–98% TD | 决定成膜颗粒率与均匀度 |
| 厚度 | 3–6 mm | 影响溅射寿命与速率 |
| 直径 | Ø25–300 mm | 支持实验到量产设备 |
| 背板 | Cu / Ti / In | 提高散热与结构强度 |
| 材料 | 特性 | 应用 |
|---|---|---|
| NiCu | 高导电 + 稳定结构 | 电极、阻挡层、磁性膜 |
| Ni(镍) | 强延展性、导电稳定 | 电极与粘附层 |
| Cu(铜) | 极高导电性 | 导电、散热结构膜 |
| NiCr | 更强耐腐蚀 | 加热元件、电阻膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiCu 是否适合高导电薄膜? | 是,Cu 成分显著提升导电性。 |
| 可否定制不同 Ni/Cu 比例? | 可按任何比例定制。 |
| NiCu 会不会脆? | 不会,Ni 提供良好延展性。 |
| 是否适合反应性溅射? | 是,可形成氧化/氮化 NiCu。 |
| 是否需要背板? | 大靶材建议 Cu/Ti 背板以提升散热。 |
真空密封
干燥剂防潮
多层防震包装
出口级木箱或硬箱
每批次附唯一编号可追踪
镍铜靶材(NiCu)兼具导电性、机械稳定性、耐腐蚀性与优良磁性调控能力,是电极层、结构膜、磁性器件和光学薄膜的重要材料。
苏州科跃材料科技有限公司可提供不同 Ni/Cu 比例、各种尺寸及背板结构的 NiCu 靶材,满足从研发到量产的薄膜应用需求。
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