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镍钼靶材(NiMo)是一种由镍(Ni)与钼(Mo)组成的高性能金属合金靶材,具有优异的机械强度、耐腐蚀性、导电性与热稳定性。NiMo 合金在强酸、高温、高湿度的苛刻环境中表现稳定,是电子薄膜、电极层、阻挡层、耐腐蚀膜以及结构保护膜的重要材料之一。
由于 Mo 的加入显著提升了镍的耐腐蚀性和硬度,NiMo 靶材在半导体、真空镀膜、化工、能源设备和功能薄膜研究中拥有广泛应用。
苏州科跃材料科技有限公司采用高纯镍与钼原料,通过真空熔炼、粉末冶金、冷等静压(CIP)与热等静压(HIP)等工艺制备 NiMo 靶材,靶材成分均匀、致密度高,适配 RF、DC、脉冲溅射等多种薄膜沉积设备。
纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)
成分配比:常见如 Ni90Mo10、Ni80Mo20、Ni70Mo30(支持定制)
尺寸:Ø25–Ø300 mm,可定制方片靶、矩形靶、阶梯靶
厚度:3–6 mm(可按设备要求定制)
密度:≥ 97–99% 理论密度(T.D.)
工艺:CIP 成型 + 热压 / HIP 致密化
背板(Bonding):可选 Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊(In Bonding)
高耐腐蚀性能(适用于酸、盐雾、高湿环境)
电学性能稳定,适用于金属电极薄膜
成膜致密度高、附着力佳
热稳定性强,可用于高温沉积工况
成分均匀度高 → 适合精密电子薄膜
NiMo 靶材广泛用于功能性金属薄膜及保护膜领域,包括:
耐腐蚀保护膜
薄膜电极(Electrodes)
金属阻挡层(Barrier Layers)
高温结构保护膜
化工行业用耐腐蚀薄膜
微电子与半导体功能薄膜
精密电阻膜层
真空电镀、PVD 薄膜涂层
Mo 的加入可改善镍薄膜的硬度、结构稳定性与耐蚀性能,使 NiMo 成为耐久型金属薄膜的优选靶材。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 薄膜电学/结构性能更稳定 |
| Ni:Mo 配比 | 任意可定制 | 影响薄膜硬度、耐腐蚀性 |
| 致密度 | ≥97–99% T.D. | 提升薄膜一致性与附着力 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 支持科研至量产设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按寿命需求调整 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 增强散热与结构稳定性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| NiMo | 耐腐蚀强、硬度高、热稳定 | 电极层、阻挡层、耐蚀膜 |
| NiCr | 稳定电阻、高耐热 | 电阻膜、电热膜 |
| NiTi | 具有形状记忆性 | 功能薄膜器件 |
| Mo | 高熔点、耐腐蚀 | 隔离层、电极薄膜 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| NiMo 靶材适用于哪些溅射方式? | RF、DC、脉冲溅射均可。 |
| Ni:Mo 配比是否可定制? | 可以按客户要求调整成分比例。 |
| NiMo 薄膜耐腐蚀性如何? | 极强,尤其适用于酸性与湿热环境薄膜。 |
| 是否提供背板? | 可选 Cu/Ti/Mo 背板及铟焊工艺。 |
| 可否用于连续高温溅射? | 可以,材料具备优异热稳定性。 |
| 是否提供 COA? | 每批靶材均附密度、成分与外观检测报告。 |
真空密封包装
内部泡棉防震保护
外层出口级木箱
附唯一批号与检测报告(COA)
镍钼靶材(NiMo)凭借其优异的耐蚀性、稳定电学性能及高温可靠性,是电极薄膜、阻挡层和保护膜制备中的重要靶材。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制配比的 NiMo 靶材,为科研和工业应用提供可靠材料解决方案。
如需报价,请联系:
📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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