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镁(Magnesium, Mg)是一种轻质金属,具有优异的导热性、电导性和化学活性。其低密度和良好的成膜特性,使镁靶材在光学镀膜、电子器件、能源材料以及防护涂层领域具有广泛应用。镁靶材可用于制备MgO绝缘膜、Mg合金薄膜及高透光功能层,是薄膜制备与材料研究的重要基础材料之一。
苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度镁靶材(纯度99.9%–99.99%),采用真空熔炼及冷等静压(CIP)工艺制造,结构致密、晶粒细小,表面平整光洁,溅射性能稳定。
靶材可提供圆形、矩形及异形结构,适配直流(DC)与射频(RF)磁控溅射系统。
根据客户需求,可配备铜(Cu)或钛(Ti)背板结合,以增强散热性能与机械强度。
高纯度(3N–4N),杂质含量低;
低密度、高导电、导热性好;
成膜速率快,膜层均匀性优异;
易于合金化,可制备Mg-Al、Mg-Ca等复合靶;
可定制不同形状与尺寸。
光学镀膜:用于MgO、MgF₂透明保护膜与反射膜;
电子与半导体:用于绝缘层、钝化层及功能涂层;
能源材料:用于储氢材料与电极薄膜;
防护涂层:用于抗腐蚀、轻量化镀层结构;
科研实验:用于新型Mg基功能薄膜与合金研究。
| 参数 | 典型值 / 范围 | 重要性说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9% – 99.99% | 高纯度减少杂质与薄膜缺陷 |
| 直径 | 25 – 300 mm(可定制) | 适配主流溅射设备 |
| 厚度 | 3 – 6 mm | 影响沉积速率与膜层厚度 |
| 密度 | ≥ 1.74 g/cm³ | 致密结构,溅射均匀性好 |
| 背板结合 | Cu / Ti 焊 | 提升散热与结构稳定性 |
| 制备工艺 | 真空熔炼 + CIP | 致密均匀、表面光洁度高 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| 镁靶材可用于哪些系统? | 兼容DC与RF磁控溅射系统。 |
| 镁靶材沉积的薄膜有哪些特性? | 具有优异的透光性、附着力与绝缘性能。 |
| 是否容易氧化? | 镁易氧化,应在真空或惰性气氛中储存与操作。 |
| 是否可与其他材料共溅射? | 可以,与Al、Zn、Ti等共溅射制备功能复合膜。 |
| 是否提供背板焊接? | 可提供Cu或Ti焊结合,提升热导性能。 |
| 是否可定制尺寸? | 可提供Ø25–Ø300 mm及矩形、异形靶材。 |
| 是否适用于光学镀膜? | 是的,常用于透明MgO保护层与反射膜。 |
| 包装方式? | 采用真空密封、防震、防潮包装,确保洁净运输。 |
镁靶材以其轻质、高导电与优良光学性能,在光学、电子与能源领域中应用广泛。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯度镁靶材及专业背板结合方案,确保优异的溅射效率与膜层质量,为科研与工业客户提供高性能薄膜材料解决方案。
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📧 sales@keyuematerials.com
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苏州科跃材料科技有限公司是一家专注于高纯材料、薄膜沉积靶材、特种合金及磁性材料研发与生产的高新技术企业。我们提供从高纯金属(3N~6N)、溅射靶材、蒸发材料到特种合金、磁性组件及定制加工的一站式材料解决方案,服务于半导体、新能源、航空航天、科研院所等领域。
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