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锶铌靶材(SrNb)由锶(Sr)与铌(Nb)构成,是一种兼具稳定结构特性、优异电学调控能力和良好成膜性能的功能性金属间化合物靶材。由于 Sr 具有强离子性、可形成高电阻或介电性结构,而 Nb 提供金属导电性与稳定晶体结构,因此 SrNb 系薄膜兼具可调电阻率、薄膜稳定性及优良附着力。
SrNb 薄膜在氧化物电子学、新型阻变器件、铁电材料研究、多层介电结构、过渡金属氧化物调控等领域中逐渐成为重要材料,尤其受到薄膜研究机构与实验室的关注。
电学性能可调
Sr 的引入可提升薄膜电阻率,而 Nb 提供导电途径,使整个体系表现出可控的金属–绝缘状态。
薄膜稳定性好、结构均匀
热等静压(HIP)/ 冷等静压(CIP)工艺提高致密度,降低颗粒产生。
与氧类薄膜兼容性强
可与 SrTiO₃、Nb₂O₅、SrRuO₃ 等材料组合,制备多层结构。
低颗粒溅射表现
适用于高纯薄膜沉积要求的实验环境。
适配 RF / DC / 磁控溅射设备
Sr50Nb50
Sr40Nb60
Sr60Nb40
成分可根据电学性能、结构需求或科研方向定制。
直径:25–200 mm
厚度:2–6 mm
纯度:≥ 99.9% – 99.99%
形状:圆形靶 / 方形靶
背板可选:Cu / Ti / Mo / In bonding
表面粗糙度:Ra < 0.8 µm(支持精抛)
SrNb 用于调节氧化物多层薄膜的导电性、介电行为与界面特性,常见应用包括:
氧化物导电层
介电调控层
多层异质结构调控膜
Sr 与 Nb 的组合可形成可控缺陷结构,用于:
阻变薄膜
开关特性调控薄膜
高电阻/低电阻态控制研究
与 SrTiO₃、Nb₂O₅、SrVO₃ 等材料相容,可用于:
外延薄膜
功能性氧化物叠层
薄膜晶体工程实验
适用于科研用途的:
介电优化结构
光学调节层
金属–氧化物界面研究
| 参数 | 范围 / 典型值 | 技术说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 薄膜缺陷更少,稳定性更高 |
| 成分比例 | 可定制 | 影响薄膜导电性与结构性 |
| 致密度 | ≥ 97%–98% | 减少颗粒,提高成膜致密性 |
| 尺寸 | 25–200 mm | 支持大多数溅射腔体 |
| 厚度 | 2–6 mm | 常规薄膜沉积标准厚度 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 增强散热与靶材寿命 |
| 粗糙度 | Ra < 0.8 µm | 膜层更均匀 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| SrNb | 电学可调、与氧化物兼容性好 | 氧化物电子学、阻变器件 |
| SrTiO₃ | 高介电、可外延 | 外延基底、界面层 |
| Nb₂O₅ | 电阻可控、化学稳定性强 | 电介质、阻变材料 |
| SrRuO₃ | 稳定金属氧化物电极 | 外延薄膜电极层 |
SrNb 薄膜是否容易氧化?
在受控气氛下沉积稳定,适合氧分压可控的薄膜工艺。
适用于 RF 还是 DC?
两者均可,根据靶材电阻率可选择 RF 磁控溅射效果更佳。
是否支持成分定制?
可根据研究方向调整 Sr/Nb 比例。
能做大面积靶材吗?
可提供到 8″ 或更高尺寸。
能否用于外延薄膜沉积?
根据设备与工艺要求,适合外延生长研究。
真空密封(防潮、防氧化)
防静电袋保护
防震泡棉固定
出口级木箱/纸箱
每件均附唯一批次编号与检测报告(可选)
锶铌靶材(SrNb)因其结构可调性、电学性能灵活性与对氧化物体系的高兼容性,成为氧化物电子学与新型阻变器件的重要材料。苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度、可定制配比的 SrNb 溅射靶材,满足实验室研发与产业化需求。
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