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锶铋靶材(SrBi)是一种具有特殊电学与光学性能的碱土金属–重金属复合靶材,由锶(Sr)与铋(Bi)组成。该材料可形成具有优秀介电特性、铁电性或光电响应的薄膜结构,因此在电介质器件、铁电薄膜设计、光电功能层以及复杂氧化物薄膜研究中具有重要应用价值。
Sr 与 Bi 的协同作用可有效改变晶体结构、介电常数与电学性能,使其成为先进薄膜材料与科研开发中的常见靶材之一。
苏州科跃材料科技有限公司供应的锶铋靶材(SrBi),采用高纯氧化锶、氧化铋或金属锶、铋粉末进行精准配比,通过冷等静压(CIP)成型、热压烧结(Hot Pressing)或热等静压(HIP)致密化工艺生产。
靶材结构均匀、致密度高,可稳定应用于 RF、DC 以及脉冲溅射等 PVD 工艺。
纯度:99.9%(3N)– 99.99%(4N)
密度:≥ 97–99% 理论密度(T.D.)
尺寸:Ø25–Ø300 mm(可定制方靶、矩形靶、阶梯靶)
厚度:3–6 mm,可按需定制
配比:Sr:Bi 原子比、摩尔比可定制
工艺:CIP + 热压 / HIP
背板(Bonding):Cu / Ti / Mo 背板,支持铟焊(In Bonding)
稳定的介电性能
与 Bi 复合后增强薄膜致密性与电学均匀性
结构可控、成分均匀
表面平整光洁 → 提升膜层附着性与溅射稳定性
支持反应性溅射与多气氛沉积
锶铋靶材常用于以下薄膜与器件制备:
铁电薄膜(如 SrBi₂Ta₂O₉ 系 SBT 薄膜的基础组分)
高介电常数(High-k)薄膜
光电材料薄膜
氧化物半导体研究
非易失存储器(FeRAM)开发
先进功能氧化物设计(Sr–Bi–O / Sr–Bi–M–O 系薄膜)
透明功能膜 / 结构调控膜
特别是在 层状铁电材料(Aurivillius 结构) 相关研究中,SrBi 系材料是核心前驱靶材。
| 参数 | 范围 / 典型值 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 99.9%–99.99% | 杂质越低,薄膜介电损耗越小 |
| 致密度 | ≥97–99% T.D. | 提升薄膜一致性与结构稳定性 |
| 尺寸 | Ø25–Ø300 mm | 兼容各类溅射卡盘 |
| 厚度 | 3–6 mm | 可按设备寿命优化 |
| 背板 | Cu / Ti / Mo / In | 改善散热与机械强度 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| SrBi | 电学性能可调,属于 SBT 系核心材料 | 铁电薄膜、FeRAM |
| SrBi₂Ta₂O₉(SBT) | 典型铁电材料 | 非易失存储器 |
| BiFeO₃ | 强铁电 + 多铁性 | 磁电耦合薄膜 |
| SrTiO₃(STO) | 高介电常数 | 外延薄膜、衬底应用 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| SrBi 靶材可用于 RF 和 DC 溅射吗? | 是的,两种方式均兼容。 |
| Sr:Bi 比例可以定制吗? | 可以按科研需求自由调整。 |
| 适用于哪些介电薄膜? | 铁电 SBT 系、Sr–Bi–O、复合介电结构等。 |
| 是否支持背板? | 提供 Cu/Ti/Mo 背板与铟焊。 |
| 是否提供检测报告? | 每批靶材均附成分分析与密度报告。 |
真空密封防污染
防震泡棉保护
外层出口标准木箱
每片附唯一批号与 COA
锶铋靶材(SrBi)在铁电薄膜、高介电常数材料以及层状功能氧化物研究中具有极高价值,是科研机构与先进制造工艺的重要材料之一。苏州科跃材料科技有限公司提供高纯、高致密、可定制配比与尺寸的 SrBi 靶材,满足各种薄膜制备需求。
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