锰镓靶材（MnGa）

产品简介（Introduction）

锰镓靶材（MnGa）是一种兼具磁性特性、结构稳定性和优异薄膜质量的合金溅射靶材，在自旋电子学（Spintronics）、磁存储器、磁性薄膜、微型传感器等领域具有重要应用价值。
MnGa 薄膜具有高磁晶各向异性、高矫顽力、良好的热稳定性和可调的磁性参数，是新型磁存储与信息处理技术中广受关注的功能材料。

产品详情（Detailed Description）

MnGa 靶材通常采用高纯锰和高纯镓通过真空熔炼、粉末冶金、CIP、HIP、高温烧结等多种工艺制备。通过优化 Mn/Ga 的化学计量比，可降低靶材脆性、提高致密度、减少颗粒溅出，同时提升薄膜的磁性和结构完整性。

可提供典型参数：

• 纯度：99.9%–99.99%

• 成分比：Mn₆₅Ga₃₅、Mn₇₀Ga₃₀、Mn₇₅Ga₂₅（可定制）

• 直径：Φ25–Φ300 mm

• 厚度：3–6 mm（可定制）

• 致密度：≥ 97%

• 背板键合：铜背板（Cu）、钛背板（Ti）、铟焊（In Bonding）

材料与工艺特点：

• 高磁晶各向异性（适用于垂直磁化薄膜）

• 易获得高度有序的 L1₀ 或 D0₂₂ 结构

• 膜层矫顽力高、磁性能稳定

• 良好的耐腐蚀性与化学稳定性

• 高致密度可减少靶材炸点与颗粒

• 支持低温与高温沉积

应用领域（Applications）

锰镓靶材是新型磁性与自旋电子应用的重要靶材，可用于：

• 自旋电子器件（Spintronics）薄膜

• 磁隧道结（MTJ）

• 磁存储器 MRAM / SOT-MRAM

• 磁性传感器薄膜

• 永久磁体薄膜（高矫顽力）

• 微机电系统（MEMS）磁性组件

• 科研材料开发（磁性功能薄膜研究）

MnGa 的高稳定性与磁性能使其成为下一代磁存储和磁逻辑器件中极具潜力的薄膜材料。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison with Related Materials）

常见问题（FAQ）

1. MnGa 靶材常见成分有哪些？
Mn₆₅Ga₃₅、Mn₇₀Ga₃₀ 常用于高磁性能薄膜。

2. MnGa 是否适用于垂直磁化薄膜？
是的，L1₀-MnGa 具有强垂直磁各向异性。

3. MnGa 会在溅射中产生爆点吗？
高致密度、良好烧结工艺可有效降低颗粒与裂纹风险。

4. 是否适用于 RF 溅射？
适用于 RF 和 DC 磁控溅射。

5. 可否定制不同的 Mn/Ga 比例？
支持定制，根据磁性需求调整。

6. 膜层磁性是否稳定？
MnGa 在室温与高温下均具有优良磁稳定性。

7. 是否可大尺寸生产？
可支持 4″、6″、8″、12″ 级别靶材生产。

8. 是否提供检测报告？
提供纯度、密度、显微结构等质量检测。

包装与交付（Packaging）

所有 MnGa 靶材均采用：

• 真空密封包装

• 防震泡棉保护

• 出口级木箱 / 抗压纸箱

• 唯一追踪编号管理

确保长途运输中的稳定性与洁净度。

结论（Conclusion）

锰镓靶材（MnGa）凭借其卓越的磁性、高稳定性与出色的薄膜形成能力，在磁性薄膜、自旋电子学与磁存储技术领域发挥重要作用。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯、高致密度、多规格 MnGa 靶材，支持科研与产业化应用。

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