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锑化镓(GaSb)是一种典型的 III–V 族化合物半导体,具有窄带隙(约 0.72 eV)、高电子迁移率以及优异的红外光吸收能力,被广泛用于短波红外(SWIR)、中波红外(MWIR)、热成像、红外激光器和先进光电子器件。
锑化镓靶材(GaSb Sputtering Target)广泛用于磁控溅射制备高质量 GaSb 薄膜,是红外探测器、光通信、热电材料和新型半导体结构的重要材料来源。凭借其出色的光学与电子性能,GaSb 成为科研机构和半导体制造中不可替代的关键化合物。
GaSb 靶材多采用以下高纯工艺路线制备:
高纯元素合成(High Purity Direct Synthesis)
真空密闭烧结(Vacuum Encapsulated Sintering)
热压烧结(Hot Pressing, HP)
CIP + 高温致密化工艺(CIP + High-Temperature Densification)
典型靶材参数:
纯度:99.999%(5N)
化学计量比:Ga:Sb = 1:1(可提供轻微偏 Ga / 偏 Sb 配方)
晶体结构:立方闪锌矿结构
外观:灰黑色至深灰色高致密陶瓷质感
致密度:≥ 97%–99% 理论密度
尺寸:直径 25–300 mm 或矩形靶
厚度:3–6 mm
背板结合(可选):Cu / Ti / In bonding,用于提升散热与机械稳定性
材料优势:
极低氧/碳/金属杂质
高致密成型,低颗粒
稳定成膜速率与均匀性
支持高功率 RF/Pulsed DC 溅射
膜层晶体质量高,适合高端红外器件
GaSb 在短波至中波红外波段具备极高灵敏度,被用于:
SWIR / MWIR 探测器
热成像阵列
红外成像系统
航空航天探测设备
GaSb 提供优异的低噪声与高响应度特性。
可用于:
红外激光二极管(IR-LD)
光通信模块
长波长调制器
红外 LED
GaSb 是 2–5 μm 波段关键材料。
GaSb 具备独特能带结构,可用于:
载流子选择性接触层
热光伏(TPV)系统
热电转换薄膜(Thermoelectric Films)
具有高电导率与良好 Seebeck 系数。
可作为多层结构中的:
缓冲层
量子阱 / 量子点材料
GaSb/InAs 异质结构(零带隙材料体系)
广泛应用于量子器件与高速电子学。
适合:
III–V 族化合物半导体研究
能带调控与界面工程
中红外光电材料分析
先进器件原理验证
| 参数 | 典型值 / 范围 | 说明 |
|---|---|---|
| 纯度 | 5N(99.999%) | 半导体级要求,杂质极低 |
| 成分 | GaSb(可调 1:1 ± 轻微偏差) | 保证良好成膜性能 |
| 致密度 | 97–99% TD | 高致密减少颗粒 |
| 直径 | 25–300 mm | 适配多数溅射设备 |
| 厚度 | 3–6 mm | 决定溅射寿命 |
| 背板结合 | Cu / Ti / In | 提升散热与防裂性能 |
| 溅射方式 | RF、Pulsed DC | GaSb 为陶瓷类材料,推荐 RF |
| 工艺 | HP / CIP / Vacuum Sintering | 决定靶材微结构与均匀性 |
| 材料 | 特点 | 应用 |
|---|---|---|
| GaSb | 窄带隙、优异 IR 性能 | IR 探测、激光、红外成像 |
| InSb | 更窄带隙 | 超高灵敏度红外探测器 |
| GaAs | 宽带隙,成熟工艺 | 光通信、高速电子 |
| InAs | 高迁移率 | 量子器件、低噪声探测器 |
| 问题 | 答案 |
|---|---|
| GaSb 靶材适合哪些溅射方式? | RF、脉冲 DC,DC 推荐搭配中间层。 |
| 能否提供高纯(5N+)等级? | 可以支持 5N、5N5 等超高纯需求。 |
| GaSb 膜层适合哪些应用? | 红外探测、光通信、量子结构、高速电子器件。 |
| 可否提供大尺寸靶材? | 支持 8–12 英寸大尺寸。 |
| GaSb 是否容易裂? | 采用 HP/HIP 工艺并加背板可大幅提升稳定性。 |
| 是否可提供 PLD 靶材? | 可以提供 PLD / MBE 专用靶材。 |
采用真空密封铝塑复合袋
防静电包装
多层防震泡棉
出口级加固木箱
随货附带检测报告(纯度、密度、尺寸、成分)
保证运输过程中的安全性与材料洁净度。
锑化镓靶材(GaSb)凭借其优异的红外性能、高纯度可控性与稳定的成膜质量,是红外探测器、光通信器件、量子电子学和高端半导体领域的重要材料。通过高致密度、高纯度的 GaSb 靶材,可实现高性能红外薄膜,为科研与产业化应用带来卓越效果。
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