锑化锌靶材(ZnSb)

锑化锌靶材(ZnSb)

产品简介(Introduction)

锑化锌(ZnSb)是一种重要的 II–V 族化合物材料,具有优良的热电性能、适中的带隙(约 0.53 eV)、良好的化学稳定性以及适用于中温范围的热能转换特性。ZnSb 在热电发电、温差能量采集器件、红外材料及功能薄膜研究中受到高度关注。

锑化锌靶材(ZnSb Sputtering Target)主要用于磁控溅射沉积 ZnSb 薄膜,可获得成分均匀、表面平整且高致密度的薄膜结构,适用于科研机构、薄膜器件实验室及先进材料研发企业。


产品详情(Detailed Description)

ZnSb 靶材通常通过以下工艺制备:

  • Zn + Sb 高纯元素直接合成(Direct Synthesis)

  • 真空封管固相反应(Sealed Ampoule Reaction)

  • 热压烧结(Hot Pressing, HP)

  • 冷等静压(CIP)+ 高温致密化

典型参数:

  • 纯度:99.9%–99.999%(3N–5N)

  • 化学计量比:Zn:Sb = 1:1(可定制偏 Zn 或偏 Sb)

  • 颜色:灰黑、深灰色陶瓷质外观

  • 致密度:≥95–98% TD

  • 尺寸:25–300 mm(圆靶),可制矩形靶

  • 厚度:3–6 mm

  • 背板结合:Cu / Ti / Mo / Indium bonding(可选)

材料特点:

  • 低氧含量,高成膜一致性

  • 适合 RF / 脉冲 DC 溅射

  • 化学稳定性优于单质 Zn 或 Sb

  • 可实现致密、低缺陷薄膜

  • 支持高真空与超高真空系统


应用领域(Applications)

● 中温热电材料(Thermoelectric Materials) — 核心应用

ZnSb 是 200–400°C 区间的高效热电材料,用于:

  • 微型热电发电机(TEG)

  • 温差能量采集薄膜

  • 发电与制冷一体化器件

  • 多层热电结构集成

其低热导率与良好的载流子特性使 ZnSb 成为替代 Bi₂Te₃ 的重要候选材料。


● 功能薄膜材料(Functional Thin Films)

ZnSb 薄膜可作为:

  • 电学特性调控层

  • 界面工程层

  • 多层复合热电结构

  • 智能温控薄膜

适用于先进器件与能源研发。


● 红外材料(Infrared Materials)

ZnSb 具有良好的中红外吸收特性,可用于:

  • IR 探测器增强层

  • 红外吸收结构

  • 涂层与光子薄膜研究


● 材料科学与基础研究(Material Science Research)

ZnSb 常用于:

  • 热电性能参数调控(S、ZT、κ)

  • 掺杂(Zn-rich / Sb-rich)行为研究

  • 能带结构与晶体稳定性分析

  • 微结构调控实验


技术参数(Technical Parameters)

参数 范围 / 典型值 说明
纯度 3N–5N 适合科研与薄膜器件
成分 ZnSb(可偏 Zn/Sb) 可根据热电需求微调
致密度 ≥95–98% TD 有利于稳定溅射
尺寸 25–300 mm 适配常见腔体
厚度 3–6 mm 靶寿命与工艺平衡
背板 Cu / Ti / Mo / In 提升散热与机械强度
溅射方式 RF / Pulsed DC 化合物推荐 RF
制造工艺 HP / CIP / Vacuum Sintering 决定膜层均匀性

相关材料对比(Comparison with Related Materials)

材料 特点 应用
ZnSb 中温高效热电材料 TEG、能源采集
Bi₂Te₃ 室温高热电性能 热电发电、制冷
SnSe 极低热导率 热电研究热点
PbTe 重元素热电体系 高温热电器件

常见问题(FAQ)

问题 答案
ZnSb 靶材适用哪些溅射方式? RF、Pulsed DC,推荐 RF 稳定成分比。
可否制作不同计量? 可定制 Zn-rich 或 Sb-rich。
ZnSb 属于热电材料吗? 是,适用于 200–400°C 区间。
是否支持 12 英寸靶材? 可以。
需要背板吗? 建议 Cu/Ti 背板,减少热裂风险。
可否作 PLD 靶材? 可以提供 PLD/MBE 版本。
ZnSb 是否易氧化? 相比 Zn 单质稳定,但仍建议真空密封。

包装与交付(Packaging)

  • 真空密封

  • 防静电袋双重包装

  • 多层防震泡沫

  • 出口级木箱运输

  • 附带 ICP / XRD / 密度检测报告

保证材料在运输与储存过程中的洁净与稳定性。


结论(Conclusion)

锑化锌靶材(ZnSb)凭借其优秀的热电性能、可调电子结构及良好的薄膜成膜能力,是中温热电器件、能源采集结构与功能薄膜研究中的重要材料。高纯、高致密 ZnSb 靶材可显著提升薄膜质量,是科研与产业薄膜应用的理想选择。

如需更多技术信息或获取报价,请联系:
📩 sales@keyuematerials.com