锌铟靶材（ZnIn）

产品简介（Introduction）

锌铟靶材（ZnIn）由锌（Zn）与铟（In）组成，是光电薄膜、透明导电膜、显示行业及精密电子结构膜的重要合金靶材。Zn 提供良好的光学透过性与易成膜性，而 In 具有低电阻率、高光学透明度及出色的界面结合能力，使 ZnIn 薄膜在折射率调控、电学性能与结构稳定性方面表现优异。

ZnIn 靶材常用于高均匀性薄膜沉积，可作为 ITO 体系的替代或补强材料，并广泛应用于显示、光学镀膜、传感器、电池与科研功能薄膜领域。

产品详情（Detailed Description）

ZnIn 靶材采用高纯锌与铟原料，通过精确配比、球磨混合、冷等静压（CIP）成型，并在真空条件下烧结或热等静压（HIP）处理，以实现高致密度和低氧含量。靶材结构均匀、颗粒率低，适用于 DC / RF 磁控溅射以及反应性溅射。

典型产品规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 常用成分比例（Composition）：

  • Zn80In20

  • Zn70In30

  • Zn60In40

  • 可定制任意 Zn/In 比例

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm

• 厚度（Thickness）：3–6 mm（可按薄靶要求定制）

• 致密度（Density）：≥95–98% 相对致密度

• 制造工艺（Process）：CIP + 真空烧结 / HIP

• 背板（Bonding）：Cu / Ti 背板或铟焊（In Bonding）

材料特点：

• 高透光率及可调折射率

• 稳定电导率，适合透明电极薄膜

• 低颗粒率、高膜层致密性

• 化学稳定性优秀，抗氧化性好

• 成膜均匀性佳，对玻璃、ITO、金属等基底具有良好附着性

• 可用于反应性溅射（Zn-In-O / Zn-In-N 薄膜）

应用领域（Applications）

1. 透明导电薄膜（Transparent Conductive Films）

• 透明电极

• 显示器电极层（LCD / OLED / MicroLED）

• 触控面板（Touch Panel）

• 太阳能电池透明导电膜

ZnIn 是 ITO 的有效替代或补偿材料。

2. 光学镀膜（Optical Coatings）

• 抗反射膜

• 高透光多层膜结构

• 光学补偿层

• 反射 / 透射调控膜

3. 传感器与电子薄膜（Sensors & Electronics）

• 压阻薄膜

• 温度传感薄膜

• 电阻调节层

• 衬底过渡层

4. 能源材料（Energy Applications）

• 太阳能薄膜器件

• 半透明电极层

• 新型光伏结构材料

5. 科研与薄膜工程（R&D Applications）

用于开发：

• ZnInOx（ZIO）透明导电薄膜

• Zn-In 氧化物/氮化物功能膜

• 多层透明结构膜

• 可调光学常数的薄膜

技术参数（Technical Parameters）

材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

• 真空密封防氧化

• 干燥剂防潮保护

• 多层泡棉防震

• 出口级加固硬箱 / 木箱

• 每片附唯一批号便于追踪

结论（Conclusion）

锌铟靶材（ZnIn）在透明导电膜、显示器、电光结构膜和科研功能膜中具有重要价值，是高透光、高均匀性薄膜系统的关键材料。
苏州科跃材料科技有限公司可提供高纯度、高致密度并具有可定制 Zn/In 比例的 ZnIn 靶材，是科研机构与产业客户的可靠合作伙伴。

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