锆钨靶材（ZrW）

产品简介（Introduction）

锆钨靶材（ZrW）由锆（Zr）与钨（W）组成，是一种兼具高熔点、优异耐腐蚀性、强金属键合力与良好机械强度的难熔合金靶材。Zr–W 系合金在高温薄膜、耐蚀防护膜、阻挡层、功能结构膜及高硬度表面工程中具有显著优势，特别适用于严苛环境下的薄膜应用。

锆可提供优异的耐腐蚀性、化学稳定性与结构相容性，而钨则带来极高熔点、耐磨性和优异的高温力学特性，使 ZrW 合金靶材成为高性能薄膜工程中的重要材料。

产品详情（Detailed Description）

锆钨靶材通过高纯金属粉末，采用冷等静压（CIP）成型，并结合真空烧结（Vacuum Sintering）或热等静压（HIP）制造。靶材晶粒细密、成分分布均匀，机械强度高，可在高功率溅射条件下保持稳定。

典型规格：

• 纯度（Purity）：99.9% – 99.99%

• 成分比例（Composition）：Zr/W 可按需求定制（如 Zr70W30、Zr50W50 等）

• 直径（Diameter）：Ø25–Ø300 mm（含 1″ / 2″ / 3″ 常规尺寸）

• 厚度（Thickness）：3–6 mm

• 工艺路线：CIP + 真空烧结 / HIP

• 致密度（Density）：≥95–98% TD

• 背板（Bonding）：可选 Cu / Ti 背板或铟焊结构

核心性能优势：

• 极高耐高温能力（钨的高熔点 3410°C）

• 优秀的耐腐蚀性能（由 Zr 提供）

• 强韧合金结构，抗裂性优异

• 稳定溅射性能，低颗粒率

• 适合长时间连续溅射工况

应用领域（Applications）

ZrW 靶材凭借其耐高温、耐腐蚀与高机械强度特性，广泛用于：

1. 高温薄膜（High-Temperature Films）

• 高温防护层

• 耐热结构薄膜

• 航空发动机部件薄膜

2. 防护涂层（Protective Coatings）

• 耐腐蚀薄膜

• 抗冲蚀薄膜

• 结构强化膜

3. 半导体与微电子（Semiconductors）

• 阻挡层（Barrier Layer）

• 粘附层（Adhesion Layer）

• 过渡金属功能膜

4. 机械强化薄膜（Mechanical Films）

• 硬质膜

• 耐磨膜

• 高应力条件下的结构薄膜

5. 研发与新材料探索

• 合金相结构研究

• 高熔点薄膜材料开发

• 特殊环境应用薄膜

兼容 DC / RF 磁控溅射、反应溅射、共溅射 等多种沉积工艺。

技术参数（Technical Parameters）

相关材料对比（Comparison）

常见问题（FAQ）

包装（Packaging）

每片锆钨靶材均经过严格检验，并采用：

• 真空密封包装

• 多层防震泡沫保护

• 出口级硬纸箱或木箱运输

• 唯一批次编号标识

确保靶材于运输储存过程中的洁净与安全。

结论（Conclusion）

锆钨靶材（ZrW）是一类兼具高温强度、耐腐蚀性与优异溅射稳定性的难熔合金靶材，在高端制造、航空航天、微电子和防护涂层领域具有广泛应用价值。苏州科跃材料科技有限公司提供不同配比、尺寸及背板方案，可满足科研与工业薄膜制备的全方位需求。

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